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双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出
被引量:
2
1
作者
郭哲颖
段志辉
+5 位作者
张青川
伍小平
董凤良
潘亮
陈大鹏
王玮冰
《实验力学》
CSCD
北大核心
2005年第B12期4-10,共7页
针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热...
针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像。通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K。并对系统噪声进行了讨论。
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关键词
双材料微悬臂梁
非制冷红外成像
光学读出
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职称材料
题名
双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出
被引量:
2
1
作者
郭哲颖
段志辉
张青川
伍小平
董凤良
潘亮
陈大鹏
王玮冰
机构
中国科学技术大学、中科院材料力学行为和设计重点实验室
北京微电子中心
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2005年第B12期4-10,共7页
基金
本项目是在自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)的支持下完成的
文摘
针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统,提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术,并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热图像。通过对实验结果的分析和图像处理消除噪声技术,得到该系统在成像温度范围的噪声等效温度差(NETD)约为5K。并对系统噪声进行了讨论。
关键词
双材料微悬臂梁
非制冷红外成像
光学读出
Keywords
micro
-
bimaterial
cantilever
array
uncooled
infrared
Imaging,
optical
readout
分类号
TN216 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出
郭哲颖
段志辉
张青川
伍小平
董凤良
潘亮
陈大鹏
王玮冰
《实验力学》
CSCD
北大核心
2005
2
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