题名 基于微扫描镜的激光投影(英文)
被引量:7
1
作者
李昭
苑伟政
吴蒙
燕斌
乔大勇
刘耀波
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期1625-1629,共5页
基金
The Program for the New Century Excellent Talents in University,Ministry of Education of China(No.NCET-10-0075)
the National Natural Science Foundation of China(No.50805123
文摘
利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的光学扫描角度达±12°.由于每个镜子都沿各自轴以简谐规律扭转,扫描所得投影为李萨如图形.通过分析图形的形成原理并用Matlab仿真,选出了适用用于任意图案显示的扫描镜谐振频率组合(X轴2 400Hz,Y轴2 425Hz).该组合可以形成194×192个像素点,刷新频率为25Hz.在此基础上提出了一种通过调制激光开关来进行投影显示的方法.
关键词
微扫描镜
李萨如图
振动频率组合
激光投影
Keywords
micro scanning mirrors
Lissajous pattern
Combination of oscillation frequency
Laser projection
分类号
TP211.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]