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微米与纳米级加工技术
被引量：
4
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作者
朱荻
《航空制造技术》
北大核心
2002年第6期22-25,39,共5页
论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理。
关键词
微细加工
纳米加工
扫描探针技术
微细刻蚀
下载PDF
职称材料
题名
微米与纳米级加工技术
被引量：
4
1
作者
朱荻
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《航空制造技术》
北大核心
2002年第6期22-25,39,共5页
文摘
论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理。
关键词
微细加工
纳米加工
扫描探针技术
微细刻蚀
Keywords
micro
machining
nano
fabrication
precision
分类号
TH706 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
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作者
出处
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1
微米与纳米级加工技术
朱荻
《航空制造技术》
北大核心
2002
4
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