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微细电解铣削加工模型及实验研究 被引量：12
1
作者 刘勇 朱荻 +2 位作者 曾永彬 王少华 黄绍服 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1864-1871,共8页
对微细电解铣削加工技术进行了深入研究。将分层加工技术应用到微细电解加工过程中,显著改善了加工稳定性;建立了微细电解铣削加工的数学模型;基于电化学刻蚀原理,在线制得直径小至10μm的圆柱电极;分组实验并验证了加工模型中各参数如... 对微细电解铣削加工技术进行了深入研究。将分层加工技术应用到微细电解加工过程中,显著改善了加工稳定性;建立了微细电解铣削加工的数学模型;基于电化学刻蚀原理,在线制得直径小至10μm的圆柱电极;分组实验并验证了加工模型中各参数如:电极直径、加工电压、电解液浓度、铣削层厚度等对微细电解铣削加工精度的影响。通过优化加工参数,成功加工出了深三角结构和四棱台微型腔,形状精度高,加工稳定性好。 展开更多
关键词 微细电解铣削 电化学刻蚀 柱状电极 微三维结构 分层铣削
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三维微细电解铣削加工的实时控制与检测 被引量：10
2
作者 刘勇 曾永彬 +2 位作者 朱荻 黄绍服 王少华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1309-1318,共10页
为了实现三维微细电解铣削加工过程的实时监测,建立了基于Labwindows/CVI软件平台的控制与检测系统。对该系统所采用的三维轨迹生成及控制策略,数据采集及抗干扰算法,加工时间误差补偿算法等进行了研究。首先,根据微细电解铣削加工的特... 为了实现三维微细电解铣削加工过程的实时监测,建立了基于Labwindows/CVI软件平台的控制与检测系统。对该系统所采用的三维轨迹生成及控制策略,数据采集及抗干扰算法,加工时间误差补偿算法等进行了研究。首先,根据微细电解铣削加工的特点,分析了加工控制与检测系统的需求。接着,搭建了高精度的三维微细铣削加工实验硬件平台。然后,利用虚拟仪器平台建立了基于分层铣削加工方式的三维轨迹进给控制模块,并对刀具轨迹的优化进行了讨论。最后,介绍了数据采集及反馈控制模块以及实时控制的时间补偿函数。基于上述控制与检测系统,实验并成功加工出了单层尺寸为15μm×55μm×15μm的三层阶梯结构,结果表明,本系统可以满足微细电解铣削加工的高精度、快响应、稳定可靠等要求。 展开更多
关键词 微细电解铣削加工 LABWINDOWS/CVI 分层铣削 数据采集 反馈控制
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微细电解铣削加工技术研究进展及展望 被引量：2
3
作者 赵斐 牛屾 +2 位作者 王思儒 刘现春 宫三朋 《机床与液压》 北大核心 2023年第8期145-149,共5页
微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析... 微细电解铣削加工技术具有工具电极无损耗、加工柔性高、与工件材料硬度无关等特点,在金属微结构器件制造领域展现出极具诱惑力的应用前景。通过综合国内外文献资料,按照不同的电解液供给方式介绍微细电解铣削加工技术的研究进展,分析微细电解铣削加工相关技术研究中存在的不足,并展望该领域的未来发展趋势。 展开更多
关键词 微细电解铣削加工 工具电极 金属微结构器件
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金属微结构的电解铣削加工技术研究 被引量：3
4
作者 刘勇 黄绍服 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2014年第10期5-9,34,共6页
随着微机电系统的发展,微细加工技术成为了当今世界的研究热点。对微细电解铣削加工技术进行了深入研究,在难加工材料镍基高温合金上进行了一系列微细电解铣削加工工艺试验。首先,基于微细电解铣削加工原理,自行研制了一套高精度微细电... 随着微机电系统的发展,微细加工技术成为了当今世界的研究热点。对微细电解铣削加工技术进行了深入研究,在难加工材料镍基高温合金上进行了一系列微细电解铣削加工工艺试验。首先,基于微细电解铣削加工原理,自行研制了一套高精度微细电解铣削加工系统。其次,分组试验并分析了各主要参数,如铣削层厚度、加工电压、脉冲宽度、电极直径,以及电解液浓度等对形状精度和加工精度的影响规律。最后,通过优化加工参数,成功加工出了数个典型三维平面及曲面微结构,形状精度高,加工稳定性好,充分展现了微细电解铣削工艺在加工复杂金属微结构方面的巨大潜力。 展开更多
关键词 微细电解铣削 微电极 三维微结构
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微小结构高效电解铣削加工试验研究 被引量：2
5
作者 刘勇 曾永彬 《制造技术与机床》 北大核心 2014年第6期114-119,共6页
将高转速微电极应用到微细电解加工过程中,显著改善了加工效率和稳定性。首先通过有限元法对小加工间隙内的微流场进行了特性分析与模拟仿真,重点讨论了电极转速对间隙流场的改善作用;然后,通过分组试验分析了电极转速、脉冲宽度、电解... 将高转速微电极应用到微细电解加工过程中,显著改善了加工效率和稳定性。首先通过有限元法对小加工间隙内的微流场进行了特性分析与模拟仿真,重点讨论了电极转速对间隙流场的改善作用;然后,通过分组试验分析了电极转速、脉冲宽度、电解液浓度和进给速度等关键加工参数对加工质量的影响规律;最后,通过优化加工参数,成功加工出了特征尺寸数十微米的典型微小结构,稳定加工速度可达10μm/s,展现了微细电解高效铣削加工工艺在加工微小金属结构方面的巨大潜力。 展开更多
关键词 微细电解铣削 高效加工 高转速 进给速度 微小结构
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加工轨迹对薄壁件微结构电解铣削的影响 被引量：1
6
作者 艾海红 张长富 +3 位作者 闫正虎 蒋新广 程培勇 贠康 《制造技术与机床》 北大核心 2018年第11期128-132,共5页
为改善难加工材料弹性合金3J21薄壁件微结构的成形加工质量和效率,进行了加工轨迹对薄壁件微结构的电解铣削加工的影响研究。首先利用拷贝式电解加工方法在线制备了阶梯轴式微细工具阴极,然后利用5种不同加工轨迹进行了150μm"150... 为改善难加工材料弹性合金3J21薄壁件微结构的成形加工质量和效率,进行了加工轨迹对薄壁件微结构的电解铣削加工的影响研究。首先利用拷贝式电解加工方法在线制备了阶梯轴式微细工具阴极,然后利用5种不同加工轨迹进行了150μm"150μm微型方孔的微细电解铣削加工对比实验,并优选出了最佳的加工轨迹。研究结果表明,利用"行铣+环铣"的加工轨迹进行微细电解铣削加工时微型方孔的加工质量更好,加工效率较高。 展开更多
关键词 加工轨迹 微型方孔 微细电解铣削 加工质量
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弹性材料微小方孔的微细电解铣削加工技术研究 被引量：5
7
作者 张长富 孙立力 张振羽 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第3期101-104,共4页
高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加... 高强度、高硬度弹性材料3J21微小方孔是航空、仪器仪表、模具等行业中常用的结构且加工困难。分析了难加工金属材料微小结构常用的加工方法,阐述了微细电解铣削加工的原理和实验系统,在研究微细圆柱电极在线制备基础上,利用回形单一加工、折线粗加工结合回形精加工2种方案进行了难加工材料3J21微小方孔的微细电解分层铣削加工研究,加工得到具有较高精度的微小方孔。研究表明,直流电源折线粗加工结合纳秒脉冲电源回形精加工方法所加工的微小方孔菱角分明、结构规整,具有较高的加工精度和表面质量,且无加工变质层和残余应力,是实现高弹性材料3J21微小结构加工成形的一种理想方法。 展开更多
关键词 弹性材料 微细电解铣削加工 微小方孔 加工精度
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高弹性合金材料的微细电解铣削加工技术研究
8
作者 张长富 孙立力 +2 位作者 郑丕显 梁若云 贠康 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2018年第3期99-103,159,共6页
高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验... 高弹性合金材料微小型零/部件在航空航天、精密仪器等领域的使用越来越广泛。针对传统方法加工高弹性合金材料微小型零件比较困难的问题,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术对其进行了研究。介绍了微细电解铣削加工技术的原理和实验装置;研究了微细工具电极的在线制备方法和主要工艺参数对微细电解铣削加工精度的影响;并进行了两种典型微小结构的综合加工实例验证。研究表明,利用纳秒脉冲电源微细电解铣削加工技术可以加工出具有良好质量的高弹性材料微小结构。 展开更多
关键词 高弹性材料 微细电解铣削加工技术 微细工具电极 纳秒脉冲电源
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