期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
论微电子机械系统MEMS
1
作者
鄢云
《西安航空技术高等专科学校学报》
2004年第3期32-34,共3页
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;
关键词
微电子机械系统
集成
微传感器
微执行器
微结构器件
微系统
下载PDF
职称材料
原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展
被引量：
2
2
作者
李惠琴
陈晓勇
+6 位作者
王成
穆继亮
许卓
杨杰
丑修建
薛晨阳
刘俊
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期60-67,共8页
原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。...
原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理,介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展,涉及半导体微纳集成电路、微纳光学器件、微纳米生物医药等高新技术领域,对ALD技术当前存在的问题进行了分析,并展望了未来发展方向。
展开更多
关键词
原子层沉积
薄膜技术
高深宽比结构
纳米多孔结构
微纳结构器件
下载PDF
职称材料
微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究
3
作者
陈光红
吴清鑫
+1 位作者
于映
罗仲梓
《中国仪器仪表》
2007年第5期49-51,共3页
主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。
关键词
薄膜
力学性能
微旋转结构法
MEMS
下载PDF
职称材料
题名
论微电子机械系统MEMS
1
作者
鄢云
机构
西安航空技术高等专科学校科技处
出处
《西安航空技术高等专科学校学报》
2004年第3期32-34,共3页
文摘
简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;
关键词
微电子机械系统
集成
微传感器
微执行器
微结构器件
微系统
Keywords
MEMS
IC
Sensor
Actuator
micro
structure
device
micro
System
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展
被引量：
2
2
作者
李惠琴
陈晓勇
王成
穆继亮
许卓
杨杰
丑修建
薛晨阳
刘俊
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期60-67,共8页
基金
国家自然科学基金重点支持项目(91123036)
国家自然科学基金杰出青年基金(51225504)
国家自然科学基金(91123016)~~
文摘
原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理,介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展,涉及半导体微纳集成电路、微纳光学器件、微纳米生物医药等高新技术领域,对ALD技术当前存在的问题进行了分析,并展望了未来发展方向。
关键词
原子层沉积
薄膜技术
高深宽比结构
纳米多孔结构
微纳结构器件
Keywords
atomic
layer
deposition
thin-film
preparation
technology
high
aspect-ratio
structure
nano-porous
structure
micro
-nano
structure
device
s
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究
3
作者
陈光红
吴清鑫
于映
罗仲梓
机构
苏州市职业大学
福州大学
厦门大学萨本栋微机电研究中心
出处
《中国仪器仪表》
2007年第5期49-51,共3页
基金
国家基金青年基金(60301006)
福建省自然科学基金(A0310012)
国家留学基金项目资助
文摘
主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。
关键词
薄膜
力学性能
微旋转结构法
MEMS
Keywords
Thin
film
Mechanical
properties
micro
roatating
structure
MEMS
device
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
论微电子机械系统MEMS
鄢云
《西安航空技术高等专科学校学报》
2004
0
下载PDF
职称材料
2
原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展
李惠琴
陈晓勇
王成
穆继亮
许卓
杨杰
丑修建
薛晨阳
刘俊
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
下载PDF
职称材料
3
微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究
陈光红
吴清鑫
于映
罗仲梓
《中国仪器仪表》
2007
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
