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金属网栅结构参数设计与制作 被引量:23
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作者 冯晓国 方梁 孙连春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期59-64,共6页
研究了金属网栅结构参数对其光电特性的影响,并通过工艺实验结果测试,验证了分析计算成果.实验采用清洗、涂胶、光刻、显影、镀膜、去胶、电镀工艺流程,并用激光直写曝光代替掩模投影曝光.在MgF2基底上制作出线宽7 μm,周期400 μm的金... 研究了金属网栅结构参数对其光电特性的影响,并通过工艺实验结果测试,验证了分析计算成果.实验采用清洗、涂胶、光刻、显影、镀膜、去胶、电镀工艺流程,并用激光直写曝光代替掩模投影曝光.在MgF2基底上制作出线宽7 μm,周期400 μm的金属网栅,在3~5 μm波段上透过率大于75%(基底透过率为83%)、电磁屏蔽效率大于8 dB.结果表明:采用等效电路模型分析雷达波垂直入射时金属网栅屏蔽效率;用等效膜理论分析斜入射对屏蔽效率的影响是有效和简便的,通过遮拦比分析中心零级能量变化来说明金属网栅对红外透过的影响;金属网栅的光电特性的矛盾可以通过减小网栅线宽与周期的比值来解决,网栅周期与屏蔽波段密切相关,因此减小线宽对于满足其光电性能要求更为重要. 展开更多
关键词 电磁屏蔽 透明导电膜 金属网栅
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H13钢电弧沉积铝膜及强流脉冲电子束后处理的复合改性研究 被引量:12
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作者 邹建新 吴爱民 +2 位作者 刘振民 李茂原 董闯 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第2期91-95,共5页
本文介绍电弧沉积与强流脉冲电子束后处理相结合的表面复合处理工艺 ,并应用在H13钢的表面快速合金化。我们首先采用电弧离子镀的方法在H13钢表面沉积了约 10 μm厚的纯铝层 ,然后用强流脉冲电子束对铝膜进行后处理 ,Al在电子束瞬间加... 本文介绍电弧沉积与强流脉冲电子束后处理相结合的表面复合处理工艺 ,并应用在H13钢的表面快速合金化。我们首先采用电弧离子镀的方法在H13钢表面沉积了约 10 μm厚的纯铝层 ,然后用强流脉冲电子束对铝膜进行后处理 ,Al在电子束瞬间加热作用下 ,熔入基体表面中 ,实现了表面快速合金化。对处理前后的样品进行了氧化性能对比测试 ,结果表明 。 展开更多
关键词 电弧沉积 强流脉冲电子束后处理 表面复合处理工艺 H13钢 复合改性 表面合金化 抗氧化性能
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金属薄膜附着性的改进 被引量:14
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作者 滕林 杨邦朝 +1 位作者 崔红玲 杜晓松 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期41-44,共4页
根据薄膜附着机理,综述了影响金属薄膜附着性的因素。通过引入中间过渡层,减少应力来提高薄膜与衬底之间的结合强度,改善金属薄膜的性能。适当的热处理不仅能消除内应力,增强界面反应,而且对薄膜的性能有一定的影响。
关键词 金属薄膜 附着性 应力 中间过渡层 热处理
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316L 不锈钢表面电镀Rh膜的腐蚀行为及血液相容性研究 被引量:6
4
作者 刘敬肖 杨大智 +3 位作者 梁成浩 郭亮 孔力 蔡英骥 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 2001年第2期169-172,共4页
通过电镀 Rh对 316 L不锈钢进行表面改性 ,以提高不锈钢的抗腐蚀性和血液相容性。用 XPS对铑镀层的成分进行了表征 ,运用电化学方法研究了镀有 Rh和未进行表面处理的 316 L不锈钢在 Tyrode's生理溶液中的腐蚀行为 ;并通过溶血率测... 通过电镀 Rh对 316 L不锈钢进行表面改性 ,以提高不锈钢的抗腐蚀性和血液相容性。用 XPS对铑镀层的成分进行了表征 ,运用电化学方法研究了镀有 Rh和未进行表面处理的 316 L不锈钢在 Tyrode's生理溶液中的腐蚀行为 ;并通过溶血率测试对表面镀有 Rh的 316 L不锈钢初步进行了血液相容性评价。结果表明 :表面镀 Rh的不锈钢的抗体液腐蚀性提高 ,且溶血率下降 ,说明镀 Rh可以提高 316 展开更多
关键词 血管内支架 316L不锈钢 表面改性 电镀 血液相容性 Rh膜 抗腐蚀性 整形外科
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脂肪族氨基酸在水溶液中扩散系数的测定与关联 被引量:6
5
作者 赵长伟 马沛生 宋小溪 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1689-1695,共7页
用金属膜池法测定了 30℃下一些脂肪族氨基酸在水溶液中可溶解范围内微分扩散系数 ,采用KCl标定膜池常数 ,并用已有可靠扩散系数值的蔗糖水溶液验证了装置的可靠性 .给出了微分扩散系数与浓度及相应的密度和黏度关系式 .并考核和外推了... 用金属膜池法测定了 30℃下一些脂肪族氨基酸在水溶液中可溶解范围内微分扩散系数 ,采用KCl标定膜池常数 ,并用已有可靠扩散系数值的蔗糖水溶液验证了装置的可靠性 .给出了微分扩散系数与浓度及相应的密度和黏度关系式 .并考核和外推了一个半经验模型 ,关联和计算了本实验的数据 。 展开更多
关键词 液相扩散系数 金属膜池法 氨基酸
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A plating method for metal coating of fiber Bragg grating 被引量:8
6
作者 李玉龙 张华 +1 位作者 冯艳 彭刚 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第2期115-117,共3页
We present a method for metal coating optical fiber and in-fiber Bragg grating. The technology process which is based on electroless plating and electroplating method is described in detail. The fiber is firstly coate... We present a method for metal coating optical fiber and in-fiber Bragg grating. The technology process which is based on electroless plating and electroplating method is described in detail. The fiber is firstly coated with a thin copper or nickel plate with electroless plating method. Then, a thicker nickel plate is coated on the surface of the conductive layer. Under the optimum conditions, the surfaces of chemical plating and electroplating coatings are all smooth and compact. There is no visible defect found in the cross-section. Using this two-step metallization method, the in-fiber Bragg grating can be well protected and its thermal sensitivity can be enhanced. After the metallization process, the fiber sensor is successfully embedded in the 42CrMo steel by brazing method. Thus a smart metal structure is achieved. The embedding results show that the plating method for metallization protection of in-fiber Bragg grating is effective. 展开更多
关键词 Chromium alloys Electroless plating Fiber Bragg gratings Fiber optic components Fiber optic sensors metallic films metalLIZING metalS Nickel alloys Plates (structural components) Protective coatings Structural metals
原文传递
简谐温度边界条件下金属薄膜中的热响应 被引量:9
7
作者 王秋军 张元冲 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期731-735,共5页
从金属中电子 声子相互作用的抛物两步热传导模型出发 ,利用非经典的双相迟滞热传导方程 ,推导出了金属薄膜温度响应的拉普拉斯变换解 ,并利用黎曼和近似的方法得到了其拉普拉斯逆变换解 .通过对几种有代表性的温度响应算例进行分析 ,... 从金属中电子 声子相互作用的抛物两步热传导模型出发 ,利用非经典的双相迟滞热传导方程 ,推导出了金属薄膜温度响应的拉普拉斯变换解 ,并利用黎曼和近似的方法得到了其拉普拉斯逆变换解 .通过对几种有代表性的温度响应算例进行分析 ,讨论了在微时间和微空间尺度条件下金属薄膜的热响应特征 .计算表明 ,不同的特征参数B预示着不同的热响应温度和热传播速度 ,热传播速度随B的增大而加快 .当B大于等于 0、小于等于 0 .2 5时 ,热响应温度随B的增大而减小 ;当B大于 0 2 5时 ,热响应温度随B的增大而增加 . 展开更多
关键词 微尺度 热波 金属薄膜 热响应 简谐温度边界条件
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金刚石与其表面金属化层及胎体间的热应力分析 被引量:5
8
作者 李耕 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期209-214,共6页
利用简化模型 ,根据弹塑性力学推导出金刚石 -表面金属化层 -胎体间的热应力公式。对TiC、WC、Cr3 C2 、VC、NbC、TaC、Mo2 C、ZrC八种金属化层计算了热应力与金属化层层厚、工艺温度、金刚石粒度的关系 ,计算了热应力在金属化层中、TiC... 利用简化模型 ,根据弹塑性力学推导出金刚石 -表面金属化层 -胎体间的热应力公式。对TiC、WC、Cr3 C2 、VC、NbC、TaC、Mo2 C、ZrC八种金属化层计算了热应力与金属化层层厚、工艺温度、金刚石粒度的关系 ,计算了热应力在金属化层中、TiC/Cu -Sn10及WC/Cu -Sn10层中的变化。热应力分量σθ 的值比σr 高1~ 2个数量级 ,前者为几个 10 0 GPa ,且随参量的变化而略有变化 ,后者随参量的变化而显著变化。Cr3 C2 的热应力值最大 ,NbC最小。 展开更多
关键词 热应力 金刚石 金刚石表面金属化 胎体
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1064nm窄带干涉滤光片激光破坏研究 被引量:5
9
作者 胡海洋 范正修 罗福 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期829-834,共6页
干涉滤光片由于内部谐振场共振吸收特性 ,其激光破坏过程有别于全反膜而具有特殊的性质。本文从谐振场及温度场理论出发 ,计算得出了ZnS MgF2 为主材料的滤光片的谐振场及温度场分布规律。在此规律指导下 ,对相同膜系结构的一系列滤光... 干涉滤光片由于内部谐振场共振吸收特性 ,其激光破坏过程有别于全反膜而具有特殊的性质。本文从谐振场及温度场理论出发 ,计算得出了ZnS MgF2 为主材料的滤光片的谐振场及温度场分布规律。在此规律指导下 ,对相同膜系结构的一系列滤光片的激光破坏阈值、吸收及破坏形貌进行了测量与分析 ,结合实验结果对干涉滤光片独具特色的破坏发展过程作出了描述 。 展开更多
关键词 干涉滤光片 吸收 激光损伤阈值 表面热透镜技术
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ZnO薄膜硅微压电矢量水听器 被引量:5
10
作者 李俊红 魏建辉 +3 位作者 马军 任伟 刘梦伟 汪承灏 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期273-280,共8页
提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电... 提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器。测试结果表明:加速度灵敏度在20~1,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s^2)。经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上。 展开更多
关键词 矢量水听器 ZnO 压电加速度计 微压 压电薄膜 加速度灵敏度 近似解析 微电子机械系统 压阻式 标准加速度计
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皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证 被引量:6
11
作者 金方圆 陈波 +3 位作者 鄂书林 王海峰 李云鹏 邢妍 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期754-760,共7页
为研究Al膜受短脉冲激光作用时的能量传输过程,建立了一维半经典双温热传导模型。根据材料加工过程的熔化现象,对模型的相变区域进行有效设置。通过有限元法求解,得到晶格温度随时间分布的规律。根据自由电子气理论优化了模型,得到Al膜... 为研究Al膜受短脉冲激光作用时的能量传输过程,建立了一维半经典双温热传导模型。根据材料加工过程的熔化现象,对模型的相变区域进行有效设置。通过有限元法求解,得到晶格温度随时间分布的规律。根据自由电子气理论优化了模型,得到Al膜表面反射率和热吸收系数随时间的分布图。得到了激光辐照所产生热电场的分布规律,并分析了电子温度梯度对其影响。描绘出电子漂移运动速度的分布规律,证实激光作用产生的热电场是电子漂移运动的主导因素,发现最大漂移速度位置随时间的延长而加深。对激光作用后的晶格温度进行了区域性分析,定义了过热加热区,并得到激光烧蚀深度随时间的变化关系。实验结果表明,不同功率皮秒激光烧蚀Al膜的深度接近于理论计算结果。 展开更多
关键词 激光技术 半经典双温方程 有限元方法 自由电子气理论 热电场
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Sensitivity enhancement of surface plasmon resonance sensors through planar metallic film closely coupled to nanogratings 被引量:4
12
作者 杨晓燕 刘德明 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第10期563-565,共3页
We investigate the sensitivity enhancement of surface plasmon resonance (SPR) sensors through planar metallic film closely coupled to nanogratings. The effects of the thickness of metallic film and grating period on... We investigate the sensitivity enhancement of surface plasmon resonance (SPR) sensors through planar metallic film closely coupled to nanogratings. The effects of the thickness of metallic film and grating period on the refractive index sensitivity of the device are analyzed in detail. The refractive index sensitivity of nanograting-based SPR sensors is predicted to be about 540 nm per refractive index unit (RIU) using optimized structural parameters. Furthermore, the grating period can be used as a parameter to adjust the wavelength of resonance reflection. Our study on SPR sensors through planar metallic film closely coupled to nanogratings demonstrates the potential for significant improvement in refractive index sensitivity, since it shows much greater flexibility in terms of tuning the optical parameters of the device. 展开更多
关键词 Diffraction gratings metallic films Refractive index Sensitivity analysis Surface plasmon resonance
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Intrinsic ZnO films fabricated by DC sputtering from oxygen-deficient targets for Cu(In,Ga)Se_2 solar cell application 被引量:1
13
作者 杨重寅 万冬云 +1 位作者 汪宙 黄富强 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期86-89,共4页
Intrinsic zinc oxide films, normally deposited by radio frequency (RF) sputtering, are fabricated by direct current (DC) sputtering. The oxygen-deficient targets are prepared via a newly developed double crucible ... Intrinsic zinc oxide films, normally deposited by radio frequency (RF) sputtering, are fabricated by direct current (DC) sputtering. The oxygen-deficient targets are prepared via a newly developed double crucible method. The 800-nm-thick film obtaines significantly higher carrier mobility compareing with that of the 800-nm-thick ZnO film. This is achieved by the widely used RF sputtering, which favors the prevention of carrier recombination at the interfaces and reduction of the series resistance of solar cells. The optimal ZnO film is used in a Cu (ln, Ga) Se2 (CIGS) solar cell with a high efficiency of 11.57%. This letter demonstrates that the insulating ZnO films can be deposited by DC sputtering from oxygen-deficient ZnO targets to lower the cost of thin film solar cells. 展开更多
关键词 Carrier mobility Electric resistance GALLIUM metallic films Oxide films OXYGEN Semiconducting selenium compounds Thick films Zinc oxide
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表面等离激元共振(SPR)生物传感器对聚氨酯材料血浆蛋白吸附的实时原位动态研究
14
作者 吕晓迎 黄炎 +5 位作者 唐祖明 洪庆月 陆祖宏 钟银屏 叶卫华 刘凌云 《中国生物医学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期165-170,164,共7页
应用实验室自行研制的自动扫描式表面激元共振 (SPR)生物传感器对三种聚氨酯材料进行了血液蛋白质吸附实验 ,以传感片上的金膜作为对照材料。同时应用原子力显微镜对金膜和聚氨酯材料的超微结构与材料表面上所吸附的蛋白质进行了表征。... 应用实验室自行研制的自动扫描式表面激元共振 (SPR)生物传感器对三种聚氨酯材料进行了血液蛋白质吸附实验 ,以传感片上的金膜作为对照材料。同时应用原子力显微镜对金膜和聚氨酯材料的超微结构与材料表面上所吸附的蛋白质进行了表征。实验结果显示 ,四种材料对纤维蛋白原和IgG的吸附量顺序均为 :金膜 >H5 0 0 >H5 0 5 0 >H5 0 10 0。T 检验结果表明 ,金膜对纤维蛋白原和IgG吸附量与三种聚氨酯材料均有显著差别。该结果表明聚氨酯材料的血液相容性明显好于金膜对照材料。 展开更多
关键词 表面等离激元共振 生物传感器 聚氨酯材料 血浆 蛋白吸附 实时原位动态研究
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H/Al共掺杂对ZnO基透明导电薄膜光电性质和晶体结构的影响 被引量:3
15
作者 宋秋明 吕明昌 +2 位作者 谭兴 张康 杨春雷 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期393-398,共6页
利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶Al透明导电薄膜特性的影响。通过降低ZnO∶Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾。H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这... 利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶Al透明导电薄膜特性的影响。通过降低ZnO∶Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾。H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这是由于H一方面作为施主可以提供电子从而提高了自由载流子浓度;另一方面与ZnO晶界中的O-结合降低了晶界势垒,提高了载流子迁移率。利用H掺杂,可以在Al掺杂量降低10倍的情况下,仍然能获得低电阻率(6.3×10-4Ω·cm)的透明导电薄膜,同时其近红外波段(1 200 nm)透光率从64%提高到90%。这种具有高导电性和高透光性的透明导电薄膜可以应用于各类薄膜太阳能电池中以提升器件效率。 展开更多
关键词 H/Al共掺杂ZnO 自由载流子吸收 磁控溅射 薄膜太阳能电池
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Enhanced ultraviolet emission from ZnO thin film covered by TiO_2 nanoparticles
16
作者 徐林华 沈华 +1 位作者 李相银 朱日宏 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第10期953-955,共3页
A ZnO thin film covered by TiO2 nanoparticles is prepared by electron beam evaporation. The structure and surface morphology of the sample are analyzed by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM),... A ZnO thin film covered by TiO2 nanoparticles is prepared by electron beam evaporation. The structure and surface morphology of the sample are analyzed by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM), respectively. Photoluminescence is used to investigate the fluorescent property of the ample. The results show that the ultraviolet (UV) emission of the ZnO thin film is greatly enhanced after it is covered by TiO2 nanoparticles while the green emission is suppressed. The enhanced UV emission mainly results from the fluorescence resonance energy transfer (FRET) between ZnO thin film and TiO: nanoparticles. This TiO2-ZnO composite thin film can be used to fabricate high-efficiency UV emitters. 展开更多
关键词 Atomic force microscopy Electron beams Energy transfer FLUORESCENCE metallic films NANOPARTICLES Optical films Surface structure Thin film devices Thin films X ray diffraction Zinc oxide
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在中等阻值范围内NiCr-O系及Cr-Si系电阻薄膜的应用比较 被引量:4
17
作者 董显平 吴建生 +1 位作者 毛大立 毛立忠 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1610-1614,共5页
合金成分、沉积条件以及热处理工艺是影响薄膜性能极其重要的因素 ,为便于电阻薄膜的合理选材 ,分析了应用于中阻值范围内的 Ni Cr- O系及 Cr- Si系溅射薄膜的膜层结构 ,对比了它们在热处理前后的电性能变化情况 ,并通过短期试验考核它... 合金成分、沉积条件以及热处理工艺是影响薄膜性能极其重要的因素 ,为便于电阻薄膜的合理选材 ,分析了应用于中阻值范围内的 Ni Cr- O系及 Cr- Si系溅射薄膜的膜层结构 ,对比了它们在热处理前后的电性能变化情况 ,并通过短期试验考核它们在应用中劣化的可能性 .实验结果表明 ,经退火处理后 ,Cr- Si系溅射薄膜的膜层构成主要为非晶态基体及 Si Ox 氧化物包围纳米级硅化物相 ,而 Ni Cr- O系溅射薄膜的膜层主要由 Cr2 O3和原子范围短程有序的金属相组成 ;Cr- Si系电阻薄膜比 Ni Cr- O系电阻薄膜致密稳定 ,前者在电性能方面具有抗电压击穿、耐潮湿等优点 . 展开更多
关键词 电阻薄膜 镍铬氧 铬硅 结构 电性能
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固态金属中声子热传递的分子动力学模拟研究 被引量:4
18
作者 袁世平 姜培学 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期175-178,共4页
固态金属中的热传递是声子和自由电子共同作用的结果。自由电子引起的热导率可以通过电导率,利用Wiedemann-Franz定律得到,声子引起的热导率目前仍然不能进行实验测量,只能借助其他方法来研究。本文采用非平衡分子动力学(NEMD)方法,用... 固态金属中的热传递是声子和自由电子共同作用的结果。自由电子引起的热导率可以通过电导率,利用Wiedemann-Franz定律得到,声子引起的热导率目前仍然不能进行实验测量,只能借助其他方法来研究。本文采用非平衡分子动力学(NEMD)方法,用镶嵌原子方法(EAM)势能模型,模拟计算了不同厚度(1.760-10.56nm)金属镍薄膜中由于声子-声子作用引起的热导率。然后根据纳米厚度金属薄膜的热导率借助关联式推到宏观尺度下由于声子-声子作用引起的热导率。结果表明,对于纳米厚度金属薄膜,由于声子-声子作用引起的热导率比块体金属镍的热导率小一个数量级;薄膜厚度越小,声子-声子作用引起的热导率越小;对于块体金属镍,由于声子-声子作用引起的热导率约占其总热导率的33.0%左右。 展开更多
关键词 金属薄膜 NEMD EAM 热导率 声子
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Co在Si(100)表面化学吸附的电子结构和性质 被引量:4
19
作者 危书义 马丽 +2 位作者 杨宗献 戴宪起 张开明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1040-1043,共4页
用紧束缚下的Muffin tin轨道线性组合方法研究了单层Co原子在理想的Si(10 0 )表面的化学吸附 .计算了Co原子在不同位置时吸附体系的能量 .结果表明 ,Co原子在C位 (四度位 )时吸附最稳定 ,在Co/Si(10 0 )界面存在Co、Si混合层 .同时对电... 用紧束缚下的Muffin tin轨道线性组合方法研究了单层Co原子在理想的Si(10 0 )表面的化学吸附 .计算了Co原子在不同位置时吸附体系的能量 .结果表明 ,Co原子在C位 (四度位 )时吸附最稳定 ,在Co/Si(10 0 )界面存在Co、Si混合层 .同时对电子转移情况和层投影态密度进行了研究 . 展开更多
关键词 化学吸附 低指数单晶面 金属薄膜
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AZ31镁合金表面磁控溅射Zr(Al,Ti)-SiN_X复合薄膜及其耐蚀性能 被引量:3
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作者 黄佳木 罗先盛 +1 位作者 邹阳 孟曦 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期1-4,共4页
镁合金表面沉积薄膜可以提高其耐蚀性,但现有的几种沉积方法得到的膜疏松、与基体结合力差,影响了其耐腐蚀性能。为此,采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面制备了Al,Zr,Ti膜及其与SiNx的复合薄膜。用扫描电镜、X射线衍射、XPS研究了金属膜... 镁合金表面沉积薄膜可以提高其耐蚀性,但现有的几种沉积方法得到的膜疏松、与基体结合力差,影响了其耐腐蚀性能。为此,采用磁控溅射法在AZ31镁合金表面制备了Al,Zr,Ti膜及其与SiNx的复合薄膜。用扫描电镜、X射线衍射、XPS研究了金属膜及其与SiNiX复合薄膜的晶体结构、表面形貌和化学成分。结果表明:所制备的SiNx薄膜为非晶态的富N膜;Zr膜的耐腐蚀性最好,Al膜的保护性最差;Zr-SiNx复合薄膜比AZ31镁合金的腐蚀电流密度降低了3个数量级,Ti-SiNx复合薄膜在阳极极化区出现了钝化。SiNX复合薄膜的耐腐蚀性优于AZ31镁合金和单一金属膜。 展开更多
关键词 磁控溅射 金属膜 复合薄膜 镁合金 腐蚀
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