期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
辉光放电发射光谱在材料成分-深度分析中的应用 被引量：8
1
作者 梁家伟 韩逸山 +4 位作者 庄素娜 劳珏斌 林伟轩 简玮 王江涌 《真空》 CAS 2017年第5期39-46,共8页
本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用。最后给出了利用MR... 本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用。最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例。 展开更多
关键词 辉光放电发射光谱 深度剖面分析 薄膜 涂层 mri模型
下载PDF
溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展 被引量：6
2
作者 康红利 简玮 +2 位作者 韩逸山 刘毅 王江涌 《汕头大学学报（自然科学版）》 2016年第2期3-24,2,共23页
溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研... 溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例. 展开更多
关键词 深度剖析定量分析 深度分辨率 mri模型 成分的深度分布 表面分析技术
下载PDF
溅射深度剖析的定量分析及其应用 被引量：5
3
作者 刘毅 王江涌 《真空》 CAS 2012年第2期71-76,共6页
本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述。MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(I)。通过... 本文对溅射深度剖析定量分析中广泛应用的MRI模型及其应用作了一个综述。MRI模型考虑了在深度剖析实验中,引起真实元素成分深度分布失真的三个主要因素:溅射导致的原子间混合(M),样品表面/界面的粗糙度(R),测量技术的信息深度(I)。通过考虑在溅射过程中发生的择优溅射效应,这一模型得以进一步完善。利用这一模型,可以定量分析深度剖析实验的深度分辨率,以及定量确定纳米薄膜中的互扩散系数。 展开更多
关键词 溅射深度剖析 定量分析 mri模型 深度分辨率 扩散系数
下载PDF
择优溅射对深度剖析谱和深度分辨率的影响 被引量：4
4
作者 刘毅 王江涌 《真空》 CAS 2013年第1期15-19,共5页
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,... 择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素。本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,并定量地模拟了择优溅射效应在深度剖析中对深度剖面形状和深度分辨率的影响。最后,应用拓展的MRI模型,定量分析了Ar+和N2+溅射Ni/Cr多层膜所得到的AES深度剖析数据,比较了相应的择优溅射比率和深度分辨率。 展开更多
关键词 溅射深度剖析 mri模型 择优溅射效应 深度分辨率
下载PDF
SIMS溅射深度剖析的定量分析 被引量：4
5
作者 康红利 劳珏斌 +1 位作者 刘毅 王江涌 《真空》 CAS 2015年第2期44-49,共6页
本文综述了二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)溅射深度剖析的发展历史,介绍了SIMS溅射深度剖析的定量分析方法。对两个最常用于SIMS溅射深度剖析定量分析的理论模型——Hofmann提出的MRI(Mixing-Roughness-Informatio... 本文综述了二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)溅射深度剖析的发展历史,介绍了SIMS溅射深度剖析的定量分析方法。对两个最常用于SIMS溅射深度剖析定量分析的理论模型——Hofmann提出的MRI(Mixing-Roughness-Information depth)模型和Dowsett等人提出的响应函数进行了对比分析。 展开更多
关键词 SIMS 溅射深度剖析 深度分辨率函数 mri模型 响应函数
下载PDF
高分辨率钼/硅纳米多层膜TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱的定量分析
6
作者 马泽钦 李海鸣 +6 位作者 庄妙霞 李婷婷 李镇舟 蒋洁 连松友 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2023年第1期17-22,共6页
飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被... 飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和脉冲射频辉光放电发射光谱(Pulsed-RF-GDOES)是两种重要的深度剖析技术,前者广泛应用于半导体工业的质量控制,后者主要应用于工业涂层及表面氧(氮)化层的分析。Mo/Si纳米多层膜由于其出色的反射特性被广泛应用于纳米光刻、极紫外显微镜等领域。本文利用原子混合-粗糙度-信息深度(MRI)模型分辨率函数,通过卷积及反卷积方法分别对Mo(3.5nm)/Si(3.5nm)多层膜的TOF-SIMS和Pulsed-RF-GDOES深度谱数据进行了定量分析,获得了相应的膜层结构、膜层间界面粗糙度及深度分辨率等信息。结果表明:GDOES深度剖析产生了较大的溅射诱导粗糙度,SIMS的深度分辨率优于GDOES。 展开更多
关键词 Pulsed-RF-GDOES TOF-SIMS mri模型 深度分辨率 卷积 反卷积
下载PDF
利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱 被引量：2
7
作者 李静 谭张华 +6 位作者 刘星星 陈颖琳 李豪文 杨浩 王昌林 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2021年第4期6-11,共6页
在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的... 在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的吻合。 展开更多
关键词 Ni/Cr多层膜 深度剖析定量分析 mri模型 遗传算法 TV-Tikhonov正则化方法 卷积 反卷积
下载PDF
辉光放电发射光谱高分辨率深度谱的定量分析 被引量：2
8
作者 杨浩 马泽钦 +4 位作者 蒋洁 李镇舟 宋一兵 王江涌 徐从康 《材料研究与应用》 CAS 2021年第5期474-485,I0002,共13页
介绍了辉光放电发射光谱仪(GDOES)的发展和应用领域,以及测量深度谱定量分析的MRI模型。主要对单晶硅表面自然氧化的SiO2层、单层硫脲分子和Mo/B4C/Si多层光学膜进行了GDOES高分辨率深度谱的定量分析,由此获得了膜层结构、界面粗糙度及... 介绍了辉光放电发射光谱仪(GDOES)的发展和应用领域,以及测量深度谱定量分析的MRI模型。主要对单晶硅表面自然氧化的SiO2层、单层硫脲分子和Mo/B4C/Si多层光学膜进行了GDOES高分辨率深度谱的定量分析,由此获得了膜层结构、界面粗糙度及元素溅射速率等定量信息。同时,对Mo/Si多层膜GDOES与SMIS深度分辨率进行了比较,最后展望了GDOES和MRI模型的发展趋势。 展开更多
关键词 辉光放电发射光谱 纳米多层膜 深度剖析定量分析 mri模型 深度分辨率 坑道效应 粗糙度
下载PDF
动态对比增强和扩散加权成像的多参数MRI模型预测乳腺癌肿瘤血管新生的价值 被引量：11
9
作者 马永刚 张堃 +2 位作者 黄斌 万涛 赵志友 《临床和实验医学杂志》 2022年第4期443-446,共4页
目的探究动态对比增强和扩散加权成像的多参数MRI模型预测乳腺癌肿瘤血管新生的价值。方法回顾性选取113例乳腺癌患者,根据病理学活检结果将患者分为浸润性导管癌组(A组,n=36)、导管内癌组(B组,n=44)、良性病变组(C组,n=33)。所有受试... 目的探究动态对比增强和扩散加权成像的多参数MRI模型预测乳腺癌肿瘤血管新生的价值。方法回顾性选取113例乳腺癌患者,根据病理学活检结果将患者分为浸润性导管癌组(A组,n=36)、导管内癌组(B组,n=44)、良性病变组(C组,n=33)。所有受试者均通过动态对比增强(DCE-MRI)和扩散加权成像(DWI)的多参数MRI检查,对比分析3组患者ADC值、血管通透性的各定量参数,微血管密度(MVD)计数和血管内皮生长因子(VEGF)阳性表达率;分析MRI各参数与MVD及VEGF阳性表达率相关性和不同检验方法的诊断效能。结果3组患者的ADC值、Ktrans和Kep、MVD计数和VEGF阳性表达率比较,A组显著高于B组和C组,C组最小,差异均有统计学意义(P<0.05)。并且,MVD计数和VEGF阳性表达率与ADC值呈负相关(P<0.05);MVD计数和VEGF阳性表达率与Ve的相关性不显著(P>0.05);MVD计数和VEGF阳性表达率与Ktrans和Kep均呈显著的正相关(P<0.05)。DWI和DCE-MRI二者联合对预测乳腺癌肿瘤血管新生的灵敏度、特异度、阳性预测值、阴性预测值和诊断准确率均显著高于仅采用单一方法,差异均有统计学意义(P<0.05)。结论动态对比增强和扩散加权成像的多参数MRI模型可有效预测乳腺癌肿瘤血管新生,能够为后续疾病的治疗及预后提供重要参考,值得推广使用。 展开更多
关键词 动态对比增强 扩散加权成像 多参数mri模型 乳腺癌肿瘤血管新生
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部