期刊文献+
共找到22篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
MIM电容上下级板一步刻蚀的结构分析
1
作者 沈宇栎 《集成电路应用》 2024年第7期71-73,共3页
阐述在一张光罩下,通过一次干法刻蚀,一步刻蚀出相对面积较小上极板和面积较大下级板的电容物理结构。对比传统的通过两道光罩和两次干法刻蚀形成不同面积的上、下级板结构,新的一步刻蚀方法简化了工艺流程。通过多个试验批次验证,新的... 阐述在一张光罩下,通过一次干法刻蚀,一步刻蚀出相对面积较小上极板和面积较大下级板的电容物理结构。对比传统的通过两道光罩和两次干法刻蚀形成不同面积的上、下级板结构,新的一步刻蚀方法简化了工艺流程。通过多个试验批次验证,新的一步刻蚀物理结构,其上下级板距离能够达到与传统结构一样的效果,防止刻蚀过程中金属反溅影响击穿电压电性能的问题。 展开更多
关键词 mim电容 干法刻蚀 IPD 物理结构
下载PDF
An Optical MIM Pressure Sensor Based on a Double Square Ring Resonator 被引量:1
2
作者 Pardis PALIZVAN Saeed OLYAEE Mahmood SEIFOURI 《Photonic Sensors》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期242-247,共6页
In this paper, we have proposed a metal-insulator-metal (MIM) pressure sensor which consists of two plasmonic waveguides and a double square ring resonator. The two square rings are connected via a rectangular patch... In this paper, we have proposed a metal-insulator-metal (MIM) pressure sensor which consists of two plasmonic waveguides and a double square ring resonator. The two square rings are connected via a rectangular patch located between the two of them. The surface plasmon polaritons (SPPs) can be transferred from a square ring to the other through this patch. The finite-difference time-domain method (FDTD) has been used to simulate the device. Applying a pressure on the structure, it deforms, and a red shift of 103 nm in the resonance wavelength has been calculated. The deformation is linearly proportional to the wavelength shift in a wide range of wavelength. The proposed optical plasmonic pressure sensor has a sensitivity of 16.5nm/MPa which makes it very suitable for using in biological and biomedical engineering. 展开更多
关键词 Pressure sensor plasmonic resonator square ring resonator mim structure surface plasmon polaritons
原文传递
MIM结构薄膜应变栅的工艺研究 被引量:1
3
作者 于映 陈跃 《电子工艺技术》 2000年第5期222-224,共3页
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法 ,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法 ,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试。
关键词 mim结构 薄膜应变栅 直接沉积法 传感器
下载PDF
基于MIM结构与金属纳米颗粒双调制的结构色制备 被引量:1
4
作者 高俊 陆奕超 +1 位作者 江素华 曾韡 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期95-102,共8页
由于传统涂料易褪色且污染环境,如何发展新的染色技术已经成为环保领域的重要议题.随着光学领域的发展和纳米材料的进步,结构色凭借其无污染、纯度高等特性,有很好的应用前景.本文阐述了MIM结构和金属纳米颗粒对于结构色调制的光学原理... 由于传统涂料易褪色且污染环境,如何发展新的染色技术已经成为环保领域的重要议题.随着光学领域的发展和纳米材料的进步,结构色凭借其无污染、纯度高等特性,有很好的应用前景.本文阐述了MIM结构和金属纳米颗粒对于结构色调制的光学原理,并将这两种方法结合,利用银、Al2O3、金几种材料制备了多层薄膜结构,通过改变薄膜厚度和表层金属颗粒的材料及形貌,提供了一种双调制模式下的结构色制备方法,同时根据这种体系的特殊光学性能,分析了这种体系的潜在应用. 展开更多
关键词 mim结构 金属纳米颗粒 结构色 双调制
下载PDF
低介电常数介孔氧化硅薄膜的结构与介电性能研究 被引量:1
5
作者 吴兆丰 姚兰芳 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI 2008年第1期332-334,共3页
利用溶胶-凝胶技术制备了介孔氧化硅薄膜。采用MIM结构,通过平行板电容器法测量了介孔氧化硅薄膜的介电常数,结果表明采用表面修饰的方法可以在保持较低介电常数(k=2.25)的前提下极大地降低薄膜的漏电流,提高薄膜的环境稳定性能。通过... 利用溶胶-凝胶技术制备了介孔氧化硅薄膜。采用MIM结构,通过平行板电容器法测量了介孔氧化硅薄膜的介电常数,结果表明采用表面修饰的方法可以在保持较低介电常数(k=2.25)的前提下极大地降低薄膜的漏电流,提高薄膜的环境稳定性能。通过对富氏红外光谱的分析,讨论了薄膜的键结构与介电性能之间的关系,结果表明去除介孔氧化硅薄膜中的OH基团是提高薄膜介电性能的关键。 展开更多
关键词 低介电常数 介孔氧化硅薄膜 mim结构
下载PDF
退火参数对铁电TiN/HfxZr1-xO2/TiN薄膜器件的电学性能影响 被引量:1
6
作者 朱曦 马海力 +2 位作者 高天 冯洁 吕杭炳 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第2期257-261,共5页
采用磁控溅射法制备了Zr含量占比为0.134和0.156的TiN/HfxZr1-xO2/TiN结构的薄膜器件。对该器件进行了不同条件下的退火实验。研究了HfxZr1-xO2器件的电流、极化和循环特性,以及特性随退火温度和退火时间改变的变化规律,并结合微观结构... 采用磁控溅射法制备了Zr含量占比为0.134和0.156的TiN/HfxZr1-xO2/TiN结构的薄膜器件。对该器件进行了不同条件下的退火实验。研究了HfxZr1-xO2器件的电流、极化和循环特性,以及特性随退火温度和退火时间改变的变化规律,并结合微观结构表征手段,对器件特性随退火条件变化的规律做出了解释。在此基础上,总结出溅射法制备氧化铪锆薄膜的适用退火条件。实验结果表明,当退火温度低于氧化铪的居里温度时,退火后的器件仍表现出顺电性而不具有铁电性。Zr含量为0.156的HfxZr1-xO2器件在氧气中快速退火的最佳退火条件为:温度600℃、退火时间50 s。适当延长退火时间可以提高器件性能。 展开更多
关键词 HfxZr1-xO2 磁控溅射 退火 mim结构
下载PDF
MIM测试结构表征介电薄膜高频特性的研究分析
7
作者 秦臻 陈文彬 +2 位作者 王晓磊 杨道国 蔡苗 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第12期31-35,共5页
采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响。为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响。... 采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响。为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响。结果表明:组合DM65-55(两个结构的内径分别为65μm和55μm)能较大限度剥离寄生效应的影响,其表征精度高达98.7%;底部电极厚度为0.1μm时,能得到较理想的表征结果;底部电极材料的改变对损耗角正切值的计算影响较大,其均值随着材料的电阻率减小而减小。 展开更多
关键词 介电表征 mim结构 寄生效应 S参数 介电常数 损耗角正切值
下载PDF
Otto结构加载MIM波导的表面等离子激元传输与衰减特性
8
作者 朱君 李志全 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1533-1537,共5页
设计了加载MIM波导的Otto结构研究SPPs的传输和衰减特性,应用球面EM场的解法求解了整个介质区域的本征函数的特征值。对SiO2厚度分别为750 nm和1 500 nm的设计结构进行了仿真,结果表明:750nm改进结构的TM0传播常数达到了1.541,衰减系数... 设计了加载MIM波导的Otto结构研究SPPs的传输和衰减特性,应用球面EM场的解法求解了整个介质区域的本征函数的特征值。对SiO2厚度分别为750 nm和1 500 nm的设计结构进行了仿真,结果表明:750nm改进结构的TM0传播常数达到了1.541,衰减系数仅仅为2.80;随着SiO2层介质厚度的减小,反射系数随之增大,且不同金属介电常数的谐振方向变化趋势一致;随着腔厚度的减小,在反射相位减少的同时其存储能量也随之减少。 展开更多
关键词 表面等离子激元 mim波导 Otto结构
下载PDF
场发射FED器件MIM结构Ta-Ta_2O_5-Al薄膜的制备及性能
9
作者 杨兰 郭太良 《集美大学学报(自然科学版)》 CAS 2011年第6期476-480,共5页
利用直流磁控溅射Ta膜和阳极氧化法制备Ta2O5薄膜,能谱分析(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究表明,在H3PO4电解液中添加少量的乙二醇制备的Ta2O5薄膜,呈非晶态,没有β-Ta2O5晶相出现.利用电击穿场强测试系统研究Ta-Ta2O5-Al复合薄膜制备FED器... 利用直流磁控溅射Ta膜和阳极氧化法制备Ta2O5薄膜,能谱分析(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究表明,在H3PO4电解液中添加少量的乙二醇制备的Ta2O5薄膜,呈非晶态,没有β-Ta2O5晶相出现.利用电击穿场强测试系统研究Ta-Ta2O5-Al复合薄膜制备FED器件(MIM结构)的绝缘性,证明采用磁控溅射和阳极氧化法成功制备了漏电流密度低、耐击穿场强高的Ta2O5薄膜. 展开更多
关键词 阳极氧化 Ta2O5薄膜 mim结构 非晶态
下载PDF
MIM结构薄膜应变栅的实验研究
10
作者 于映 陈跃 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1998年第2期15-17,共3页
运用薄膜沉积技术,制作了MIM(金属-介质-金属)结构薄膜应变栅介绍了薄膜应变栅的制作工艺。
关键词 mim结构 薄膜 应变栅
原文传递
基于双折射MIM结构的增强光自旋霍尔效应研究
11
作者 殷澄 王贤平 +3 位作者 阚雪芬 戴海浪 李建 韩庆邦 《江西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第1期52-56,共5页
光自旋霍尔效应所产生的横向IF(Imbert-Fedorov)位移一般仅为亚波长量级,因此极大地限制了该效应在精密度量领域的应用.该文提出一种金属/双折射材料/金属(MIM)的多层结构,通过直接耦合方式激发该结构中的振荡模式,并利用双折射特性形... 光自旋霍尔效应所产生的横向IF(Imbert-Fedorov)位移一般仅为亚波长量级,因此极大地限制了该效应在精密度量领域的应用.该文提出一种金属/双折射材料/金属(MIM)的多层结构,通过直接耦合方式激发该结构中的振荡模式,并利用双折射特性形成偏振相关的小角度共振,以此来增强光自旋霍尔效应.理论分析表明:上述设想可将可见光波段的横向IF位移增强到可以直接观察的亚毫米甚至毫米量级. 展开更多
关键词 光自旋霍尔效应 mim结构 横向IF位移
下载PDF
听说法和视听法——外语教学的演变与发展之三(英文)
12
作者 胡永平 《连云港化工高等专科学校学报》 1998年第4期40-43,共4页
本文是《外语教学的演变与发展》的第三部分,论述听说和视听教学法。
关键词 刺激-反应 语言行为 模仿-记忆 替换法 整体结构 圣克卢 联合国教科文组织 情景对话
下载PDF
基于MIM谐振结构的高吸收率太阳能吸波器
13
作者 肖功利 陈康 +4 位作者 杨宏艳 张家荣 李苗 刘兴鹏 陈赞辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期231-239,共9页
实现太阳全光谱辐射的完美吸收并尽可能少地使用光敏材料是太阳能吸波器研究的终极目标。提出了一种基于金属-电介质-金属(MIM)谐振器结构的高吸收率太阳能吸波器。该吸波器以金属钨(W)为衬底,衬底上的多层空心圆盘分别构成了金属(Ti)-... 实现太阳全光谱辐射的完美吸收并尽可能少地使用光敏材料是太阳能吸波器研究的终极目标。提出了一种基于金属-电介质-金属(MIM)谐振器结构的高吸收率太阳能吸波器。该吸波器以金属钨(W)为衬底,衬底上的多层空心圆盘分别构成了金属(Ti)-相变材料(GST)-金属(Ti)或金属(Ti)-砷化镓(GaAs)-金属(Ti)的MIM谐振器结构。研究结果表明,GaAs和非晶体态GST材料在太阳能吸波器设计方面都有极高的应用价值。该结构在0.3~2.5μm的波长范围内的平均吸收率为97.48%,太阳能光谱加权吸收效率为98.02%;该结构在0.3~4μm的整个工作波段内的平均吸收率为96.95%,太阳能光谱加权吸收效率为97.54%。吸收率大于95%的带宽为2.37μm,吸收率大于90%的带宽为3.57μm。结构自身的对称性使其具备优良的偏振无关特性,有助于吸收太阳光。此外,在0.3~2.5μm波长范围内,该结构对入射角变化表现出稳定的响应。本研究设计的太阳能吸波器具有超宽带和高吸收率的特点,其结构简单,大大降低了制造复杂度和成本。该技术在太阳能收集与转换、光伏器件以及热发射器件等领域具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 表面光学 太阳能吸波器 mim谐振结构 高吸收率 超宽带 偏振无关
原文传递
初中数学MIM教学与研究的几个问题 被引量:4
14
作者 李吉宝 李树臣 《数学教育学报》 2001年第2期62-64,共3页
MIM是指人们从事各种数学活动时,所表现出来的种种数学观念及思维方式.其结构的核心是数学观念和数学意识,以及数学思想、解题的一般方法和解题术.新的数学课程必须强化和渗透一些具有普遍意义MIM,MIM的教学可分为4个阶段:渗透与... MIM是指人们从事各种数学活动时,所表现出来的种种数学观念及思维方式.其结构的核心是数学观念和数学意识,以及数学思想、解题的一般方法和解题术.新的数学课程必须强化和渗透一些具有普遍意义MIM,MIM的教学可分为4个阶段:渗透与启迪阶段,意识与顿悟阶段,形成与应用阶段及深化与发展阶段. 展开更多
关键词 数学思想方法 数学教学 mim 中学 教材改革 数学知识 课程改革 学生 思维训练
下载PDF
基于表面等离子激元的凸环结构金属-介质-金属滤波器设计 被引量:5
15
作者 闫云菲 张冠茂 +1 位作者 乔利涛 范观平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期100-107,共8页
利用边界耦合的方法构造了金属-介质-金属结构滤波器,该结构由一个凸环谐振腔与一个波导管耦合而成.通过有限元法数值仿真得到了该凸环腔体波导结构的磁场分布图、透射谱线和谐振波长分布,分析了各结构参量对滤波器传输特性的影响.结果... 利用边界耦合的方法构造了金属-介质-金属结构滤波器,该结构由一个凸环谐振腔与一个波导管耦合而成.通过有限元法数值仿真得到了该凸环腔体波导结构的磁场分布图、透射谱线和谐振波长分布,分析了各结构参量对滤波器传输特性的影响.结果表明,所提出的凸环滤波器具有透射峰窄,谱线平滑等特点,且阻带透射率最低可达0.001,通带透射率最高可达0.977.增大结构参量h2和neff时,相应的透射谱会发生明显的红移,增大结构参量L1时,透射谱几乎无变化.对结构参量进行调整和优化,相应的谐振波长可分布在第一通信窗口(850nm)和第三通信窗口(1 550nm)附近,能够很好地运用于光通信中. 展开更多
关键词 表面等离子激元 金属-介质-金属结构滤波器 有限元法 凸环谐振腔 mim波导 边界耦合 传输透射谱
下载PDF
剂量限制辅助结构模板优化鼻咽癌调强计划应用研究 被引量:2
16
作者 王东燕 李成 +3 位作者 沈丹青 管建 李阔 胡睿 《中华肿瘤防治杂志》 CAS 北大核心 2019年第21期1617-1621,共5页
目的剂量限制辅助结构(dose limit structure,DLS)是放疗调强计划设计中最常用的工具,而目前临床上生成DLS的方法效率低且缺乏统一性。本研究采用软件程序化编译自动生成DLS,同时探讨DLS统一模板对计划结果的影响并扩展其临床应用。方... 目的剂量限制辅助结构(dose limit structure,DLS)是放疗调强计划设计中最常用的工具,而目前临床上生成DLS的方法效率低且缺乏统一性。本研究采用软件程序化编译自动生成DLS,同时探讨DLS统一模板对计划结果的影响并扩展其临床应用。方法按优化的需求将DLS分为靶区(plan target volume,PTV)的外环和内环、靶区与危及器官(organ at risk,OAR)重叠区和特定的DLS 4种。对10例已优化好的鼻咽癌计划(Old-plan)采用MIM软件(V6.5)工作流模板自动生成DLS,并由原计划设计者依据DLS重新优化生成新计划(DLS-plan),比较两组计划靶区及OAR的剂量变化。结果工作流模板自动生成20~24个DLS平均耗时3.4min。在两组计划中,所有靶区(PGTVNX、PCTV-ND、PCTV1和PCTV2)的均匀指数(HI)值、PGTV-NX和PCTV1的95%处方剂量体积(V95)值、PCTV1的平均剂量(Dmean)值,变化差异均有统计学意义,均P<0.05。同时位置关系与靶区有重叠的OAR剂量分布均有改善,最大剂量(Dmax)值(脑干)、Dmean值(脑干、右侧视神经、双侧腮腺、脊髓及气管)和V30值(左侧腮腺),变化差异均有统计学意义,均P<0.05。结论模板化的DLS有利于将优化经验固化并提高计划质量。MIM软件所提供的工作流编译功能使DLS的生成自动化,简化了操作流程,便于临床应用。 展开更多
关键词 剂量限制结构 工作流 优化 mim软件
原文传递
多层膜结构MIM隧道发光结的研究
17
作者 王茂祥 张佑文 +2 位作者 俞建华 孙承休 杜建洪 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期49-53,共5页
在普通MIM隧道发光结的基础上,制备了多层膜结构MIM发光结。这种结构的发光结含有两层氧化物绝缘层及双层MgF2。其发光性能优良,发光效率达10-6-10-5量级。测试表明,其光谱谱峰较普通MIM结有蓝移现象,并且I—V特性中存在强烈的负... 在普通MIM隧道发光结的基础上,制备了多层膜结构MIM发光结。这种结构的发光结含有两层氧化物绝缘层及双层MgF2。其发光性能优良,发光效率达10-6-10-5量级。测试表明,其光谱谱峰较普通MIM结有蓝移现象,并且I—V特性中存在强烈的负阻现象(NRP)。 展开更多
关键词 多层膜结构 mim 光谱 负阻现象 发光器件
下载PDF
MIM 与 MIS 隧道结的结构特点及其发光效应
18
作者 王茂祥 孙承休 +2 位作者 俞建华 刘柯林 吴宗汉 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1998年第4期29-32,共4页
对MIM(MetalInsulatorMetal)及MIS(MetalInsulatorSemiconductor)隧道结的结构特点作了简单介绍,着重分析了其发光效应及发光光谱特性,并由此对隧道结的发光机理进行了讨论.
关键词 MIS隧道结 结构 薄膜 mim隧道结 发光效应
下载PDF
Ag-Cu纳米合金MIM结构的制备及其光学性质
19
作者 郑春凤 陈福义 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期27-32,共6页
采用微电极电化学沉积的方法,在氧化铟锡(ITO)玻璃衬底上制备了Ag-Cu纳米合金。实验发现,Ag-Cu纳米合金在紫外-可见光波长范围内有2个吸收峰。通过在Ag-Cu纳米合金薄膜表面涂覆一定厚度的聚乙烯醇(PVA)作为绝缘层,然后与另外一层Ag-Cu... 采用微电极电化学沉积的方法,在氧化铟锡(ITO)玻璃衬底上制备了Ag-Cu纳米合金。实验发现,Ag-Cu纳米合金在紫外-可见光波长范围内有2个吸收峰。通过在Ag-Cu纳米合金薄膜表面涂覆一定厚度的聚乙烯醇(PVA)作为绝缘层,然后与另外一层Ag-Cu纳米合金薄膜叠合组装成Ag-Cu纳米合金/PVA/Ag-Cu纳米合金的金属-绝缘体-金属(MIM)结构。首次测试到该MIM结构的透过率和吸收率在1000~2600 nm波长范围内出现多重响应峰,这些多重响应峰是由MIM结构中不同尺寸的纳米粒子表面等离子耦合导致的交替电磁共振引起的。 展开更多
关键词 表面等离子共振 耦合 mim结构 纳米合金
下载PDF
粗粉末金属注射成形烧结件的性能 被引量:1
20
作者 李流军 李益民 +1 位作者 李笃信 邓忠勇 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2005年第2期116-121,共6页
对平均粒度分别为65.71μm, 26.69μm和19.25μm的3种较粗(相对于一般注射成形用细粉而言)水雾化316L不锈钢粉末进行了注射成形, 讨论了粉末粒度对金属注射成形烧结件性能, 如烧结密度、孔隙形貌、金相组织和力学性能的影响。结果表明,... 对平均粒度分别为65.71μm, 26.69μm和19.25μm的3种较粗(相对于一般注射成形用细粉而言)水雾化316L不锈钢粉末进行了注射成形, 讨论了粉末粒度对金属注射成形烧结件性能, 如烧结密度、孔隙形貌、金相组织和力学性能的影响。结果表明, 只要工艺控制得当, 三种粗粉末都能用于金属注射成形, 且可得到比细粉更小和更稳定的烧结收缩率, 较高的密度, 较好的拉伸强度、屈服强度、硬度等力学性能。其中平均粒径为19.25μm粉末的烧结样品的力学性能为: 抗拉强度506 MPa、屈服强度193 MPa、延伸率54%、硬度HRB61, 达到并超过了美国MPIF关于316L不锈钢细粉末注射成形烧结件的性能标准值。 展开更多
关键词 金属粉末注射成形 粗粉末 316L不锈钢 孔隙形貌 金相组织 力学性能
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部