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硅基氮化铝薄膜风致振动MEMS能量采集单元 被引量：4
1
作者 尚正国 李东玲 +1 位作者 温志渝 赵兴强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3058-3065,共8页
研究了基于氮化铝(AlN)薄膜的压电式风致振动微机电系统(MEMS)能量采集单元的制备工艺。采用脉冲直流磁控溅射的方法制备了具有(002)择优取向的AlN压电薄膜,并通过X射线衍射仪(XRD)及扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的性能。测试结果表明:... 研究了基于氮化铝(AlN)薄膜的压电式风致振动微机电系统(MEMS)能量采集单元的制备工艺。采用脉冲直流磁控溅射的方法制备了具有(002)择优取向的AlN压电薄膜,并通过X射线衍射仪(XRD)及扫描电镜(SEM)表征了AlN薄膜的性能。测试结果表明:种子层材料、气体流量比和衬底温度等对AlN薄膜晶体取向及薄膜性能有重要影响。制备的具有(002)择优取向的AlN薄膜的衍射强度达到105count,半高宽为2.7°。对硅基AlN风致振动MEMS能量采集单元加工工艺流程进行优化,制备出了风致振动能量采集系统原理样机。风洞实验表明,在15.9m/s的风载荷作用下,MEMS能量采集单元的最大输出功率为1.6μW。该工艺亦可用于其他硅基AlN薄膜MEMS器件的制备。 展开更多
关键词 风致振动 mems能量采集 硅基氮化铝薄膜 衍射强度 摇摆曲线
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