文摘针对微机电(MEMS)火工品发火能量低、安全性差的问题,开展了一种可用于提高MEMS火工品安全性的MEMS平面开关研究。利用数值模拟手段分析计算了MEMS平面开关的电热性能,并进行了优化设计,获得了平面开关的优化设计方案。通过MEMS工艺加工制作了MEMS平面开关,并测试了其性能。测试结果表明,MEMS平面开关能够实现电路断-开的转换,开关的作用电压为10 V,平均作用电流为0.509 A.
文摘换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的。文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度,综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究。介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术:MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征。指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点。为M EM S火工品换能元的设计研究提供理论支撑,应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究。认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向。