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基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状 被引量：91
1
作者 李荣冰 刘建业 +1 位作者 曾庆化 华冰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第6期88-94,共7页
根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯... 根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯性技术、导航技术领域内前沿研究机构研究 MEMS INS 的路线,总结了微型导航技术系统算法的研究现状。最后,对 MEMSINS 的发展进行展望,指出 MEMS INS 的发展方向。过去的发展趋势表明:微型惯性技术将向芯片级的超小型 MEMS IMU(Inertial Measurement Unit)和 MEMS INS 以及组合导航的发展方向。 展开更多
关键词 INS mems技术 DARPA 惯性技术 微型 惯性导航系统 芯片 惯性传感器 导航技术 System)
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矢量水听器综述 被引量：51
2
作者 陈丽洁 张鹏 +1 位作者 徐兴烨 王福江 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第6期5-8,共4页
概述了水声换能器的内涵,水声测量用传感器的分类和作用;介绍了国外矢量水听器的技术发展及应用动态。归纳了矢量水听器在低频、高灵敏度的检测需求趋势和在高性能、小型化的实用需求以及包括薄膜检测、阵列检测的微光学检测、MEMS检测... 概述了水声换能器的内涵,水声测量用传感器的分类和作用;介绍了国外矢量水听器的技术发展及应用动态。归纳了矢量水听器在低频、高灵敏度的检测需求趋势和在高性能、小型化的实用需求以及包括薄膜检测、阵列检测的微光学检测、MEMS检测的技术发展趋势。 展开更多
关键词 矢量水听器 光学技术 mems技术 趋势
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几种常见气体传感器的研究进展 被引量：35
3
作者 李冬梅 黄元庆 +2 位作者 张佳平 张鑫 辜克兢 《传感器世界》 2006年第1期6-11,共6页
气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和... 气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。 展开更多
关键词 敏感材料 气体传感器 有毒气体 可燃性气体 mems技术
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国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用 被引量：17
4
作者 亢春梅 曹金名 刘光辉 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第6期4-7,共4页
概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
关键词 mems技术 现状 军事领域 应用 微电子机械系统 电子器件
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基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展 被引量：27
5
作者 彭杰纲 周兆英 叶雄英 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期361-376,共16页
流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体... 流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发,微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍,归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型,差压型,升力型,流体振动型,科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点,并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点,并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望. 展开更多
关键词 微型流量传感器 mems 最新进展 mems技术 微电子机械系统 科研工作 工业生产 传感器技术 微流体 检测参数
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基于MEMS技术的微型传感器 被引量：24
6
作者 李学东 余志伟 杨明忠 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第9期4-5,12,共3页
和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。
关键词 mems技术 微型传感器 特点 智能化 多功能化
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MEMS技术现状及应用 被引量：12
7
作者 杨友文 王建华 《微纳电子技术》 CAS 2003年第3期29-32,共4页
微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究也被越来越多的人所重视。文章介绍了MEMS的特点与技术发展现状... 微机电系统(MEMS)技术是一门新兴的技术,它将微电子技术和精密机械加工技术融合在一起,实现了微电子与机械的融为一体。近年来,对MEMS的技术发展、加工工艺及其产业化的研究也被越来越多的人所重视。文章介绍了MEMS的特点与技术发展现状、MEMS器件的类型及其功能,并以多层弯曲磁芯结构微执行器为例介绍了磁驱动微执行器工作原理与制作工艺过程。 展开更多
关键词 mems技术 应用 微机电系统 发展 磁微执行器
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基于SPI接口的双轴SCA100T倾角传感器及其应用方法 被引量：19
8
作者 孙汝建 《仪器仪表用户》 2006年第4期69-71,共3页
介绍了芬兰VTI公司生产的SCA100T倾角计的特性,结构,工作原理以及与单片机SPI串行接口连接的工作模式、命令格式、操作方法,并给出了与单片机连接的双轴测量应用实例。具有结构简单、可靠性高、抗干扰能力强,不需要扩展外围器件等特点,... 介绍了芬兰VTI公司生产的SCA100T倾角计的特性,结构,工作原理以及与单片机SPI串行接口连接的工作模式、命令格式、操作方法,并给出了与单片机连接的双轴测量应用实例。具有结构简单、可靠性高、抗干扰能力强,不需要扩展外围器件等特点,根据不同需要可以应用于各种倾角,位移测控系统中。 展开更多
关键词 SPI接口 倾角 mems技术 应用
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基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究 被引量：14
9
作者 赵湛 崔大付 +1 位作者 于中尧 王利 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第6期56-59,共4页
聚合酶链式反应 (PCR)技术已在分子生物学、基因测序、医学诊断等方面得到广泛的应用。基于MEMS技术研制了微结构的集成PCR -DNA分子扩增生物芯片 ,芯片集成了加热子、温度传感器、反应室、进样通道等 ;还介绍了芯片的设计、制作、温度... 聚合酶链式反应 (PCR)技术已在分子生物学、基因测序、医学诊断等方面得到广泛的应用。基于MEMS技术研制了微结构的集成PCR -DNA分子扩增生物芯片 ,芯片集成了加热子、温度传感器、反应室、进样通道等 ;还介绍了芯片的设计、制作、温度循环特性。 展开更多
关键词 mems技术 聚合酶链式反应 生物芯片
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MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势 被引量：18
10
作者 李晓阳 王伟魁 +2 位作者 汪守利 彭泳卿 金小锋 《遥测遥控》 2019年第6期1-13,21,共14页
基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEM... 基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望。 展开更多
关键词 mems技术 陀螺仪 加速度计 惯性测量单元
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基于MEMS技术的热式质量流量传感器 被引量：14
11
作者 斯东浩 李艳松 《国外电子测量技术》 2005年第1期49-52,共4页
本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理,并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用。
关键词 性能描述 传感器 mems技术 质量流量 领域 制造工艺 基本原理
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MEMS技术的发展现状及应用 被引量：7
12
作者 张杨林 《机械工人（冷加工）》 2005年第4期66-68,共3页
关键词 mems技术 微电子机械系统 应用 现状 多学科交叉 微机械技术 可靠性水平 微传感器 微执行器 控制电路 信号处理 电源部件 通信接口 大尺度 自动化 智能化
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利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 被引量：9
13
作者 伊福廷 张菊芳 +1 位作者 彭良强 韩勇 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期126-128,141,共4页
SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶... SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。 展开更多
关键词 紫外光刻 SU8光刻胶 mems技术 微结构
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MEMS技术研究及应用 被引量：5
14
作者 金铃 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2004年第12期26-29,共4页
首先阐述了微电子机械系统 (MEMS)技术的基本概念、特点及概况 ;其次 ,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品 ;最后 ,重点介绍了RFMEMS技术 。
关键词 mems技术 射频mems 应用产品
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微电子机械系统(MEMS)技术在军用设备中的应用现状 被引量：14
15
作者 方震华 黄慧锋 《电子机械工程》 2010年第4期1-4,13,共5页
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS... MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS技术将是保持军队技术优势、维护国家安全的重要战略。介绍了微电子机械系统(MEMS)的基本特点,并在此基础上着重讲述了MEMS技术在军用设备中的应用现状。 展开更多
关键词 mems技术 微型传感器 微型机器人 微型飞行器 微纳卫星
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基于MEMS技术的汽车传感器研究进展 被引量：10
16
作者 吕良 邓中亮 +1 位作者 刘玉德 辛洪兵 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期77-84,共8页
随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEM... 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器,最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。 展开更多
关键词 汽车电子 汽车传感器 微传感器 mems技术
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采用MEMS技术制造硅磁敏三极管 被引量：7
17
作者 温殿忠 穆长生 赵晓峰 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期49-52,共4页
阐述了采用MEMS技术与反外延技术相结合在硅片表面制造具有矩形板状立体结构的硅磁敏三极管的设计原理、结构和工艺。结果表明 ,设计的硅磁敏三极管制造技术不但能与IC工艺相兼容 ,而且便于集成化 ,将有广泛的应用领域。
关键词 mems技术 反外延技术 硅磁敏三极管
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基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真 被引量：8
18
作者 裴强 夏善红 +2 位作者 龚超 白强 陈绍凤 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期388-390,共3页
报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 。
关键词 mems技术 微型电场传感器 设计 仿真 半导体微加工工艺 工作原理
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RF/微波无线系统中的MEMS技术 被引量：6
19
作者 云振新 《微纳电子技术》 CAS 2002年第2期6-11,共6页
着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统。
关键词 RF/微波mems元件 RF/微波无线系统 mems技术 微机电系统
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基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计 被引量：7
20
作者 程未 曾晓鹭 +1 位作者 卞剑涛 冯勇建 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期75-77,共3页
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了... 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。 展开更多
关键词 微机电系统 有限元分析 加工工艺 mems技术 微电容式加速度传感器
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