基于低相干干涉技术的大量程高精度镜面间距测量 被引量：7

1

作者 师中华 杨宝喜 +4 位作者 胡小邦 金超群 魏张帆 李璟 黄惠杰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期123-130,共8页

描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先,采用微机电系统（MEMS）光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增,然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量,再利用包络提取算法对低相干干涉信号的零光程差... 描述了利用低相干干涉技术实现光学镜面间距测量的方法。首先,采用微机电系统（MEMS）光开关多通道延迟结构实现测量范围的多倍增,然后通过共光路激光测距结构实现扫描反射镜的位移测量,再利用包络提取算法对低相干干涉信号的零光程差位置进行定位,最后实现镜面间距的高精度测量。实验测量系统为全光纤结构,利用该系统完成了对因瓦合金（Invar）标准块、大间距光学结构和光学镜组的镜面间距测量,在导轨扫描量程为300mm的条件下,实现了在0.02～550mm范围内的镜面间距测量,测量精度优于0.5μm。该套系统可用于光刻机曝光系统、航测镜头、激光谐振腔等高性能精密光学系统的装调与检测。 展开更多

关键词 测量 镜面间距 低相干光干涉 激光测距 mems光开关

原文传递

微机械光开关的应用及控制 被引量：1

2

作者 徐小顺 刘鹏 《中国仪器仪表》 2005年第10期75-78,共4页

本文以MEMS光开关为研究对象,详细介绍了MEMS的工作原理及其特点,并结合开发经验介绍用AT89C8252单片机、PLD和光传感器制成的光开关及与计算机之间的通信。

关键词 mems AT89C8252 单片机PLD 光传感器 微机械光开关 mems光开关 控制 应用 工作原理 经验介绍 光传感器 单片机 计算机

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光纤通信中光电器件的新进展 被引量：3

3

作者 陈益新 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第Z01期1-7,共7页

关键词 DWDM 阵列波导光栅 交叉复用 光纤放大器 光互连技术 波导型光开关 mems光开关

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一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计 被引量：3

4

作者 杨梅 韩翔 +1 位作者 林川力 陈兢 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第4期326-330,共5页

提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空... 提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转,使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率,将制动电压降至18V.引入背面梳齿提高开关响应速度,模拟结果表明,光开关具有毫秒量级响应时间.与其他设计相比,该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点. 展开更多

关键词 mems光开关 扭转梁 微镜 制动电压 开关时间

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光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法研究 被引量：2

5

作者 赵兴海 高杨 程永生 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期473-476,共4页

仿真和实验研究了一种作为高功率激光能量续断器的光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法,包括光纤对准误差对激光传能特性的影响、致动器的设计原则与基本性能指标。光纤对准误差中,横向偏移对耦合效率的影响较大,角度偏移的影响不明显... 仿真和实验研究了一种作为高功率激光能量续断器的光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法,包括光纤对准误差对激光传能特性的影响、致动器的设计原则与基本性能指标。光纤对准误差中,横向偏移对耦合效率的影响较大,角度偏移的影响不明显。对比了芯径400μm光纤分别与芯径400μm、600μm光纤对接的耦合效率,证明芯径400μm光纤与芯径600μm光纤对接时的耦合效率对对准误差更加稳健。建立了光纤的等效悬臂梁模型,讨论了光开关中致动器的设计原则,论证了其基本性能指标。致动器的设计可以只考虑横向偏移对耦合效率的影响。 展开更多

关键词 mems光开关 高功率激光 连接特性 光纤致动器 激光能量续断器

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小型化四通道光纤法珀传感器解调系统设计 被引量：1

6

作者 韩超 左方俊 +1 位作者 任乾钰 贾平岗 《电子测量技术》 北大核心 2022年第5期39-43,共5页

针对目前多通道光纤法珀压力传感器解调系统体积大、功耗高的不足,提出一种通过MEMS光开关快速连续切换实现四通道解调的方法,选用了一款低功耗CMOS图像传感器S11639并搭建了以FPGA为核心的硬件解调电路,通过编写S11639及AD9826驱动程... 针对目前多通道光纤法珀压力传感器解调系统体积大、功耗高的不足,提出一种通过MEMS光开关快速连续切换实现四通道解调的方法,选用了一款低功耗CMOS图像传感器S11639并搭建了以FPGA为核心的硬件解调电路,通过编写S11639及AD9826驱动程序完成多通道切换逻辑约束以及干涉光谱的采集,最后经过数据处理和传输部分将各通道所接传感器的腔长在上位机中实时显示。利用标准解调仪器确定标定系数并对4个通达所连接的压力传感器进行腔长的实际测量,腔长测量过程中均无跳点,说明设计的四通道解调系统标稳定性较好,误差较小。根据测量数据计算出每个通道的非线性度,4个通道中最大的非线性度为0.93%,同时每个通道的解调速度也能够达到10 Hz。 展开更多

关键词 四通道 小型化 mems光开关 光纤法珀压力传感器 S11639

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1×8MEMS光波长选择器的驱动设计与性能测试 被引量：2

7

作者 孙智丹 梁中翥 梁静秋 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期110-115,121,共7页

本文设计了1×8MEMS光波长信道选择器的驱动电路,利用电路中的串口信号转换芯片将光波长信道选择器与计算机相连,实现了计算机操作界面对1×8光波长信道选择器的工作状态的选择与控制。利用光学平台、精密光纤调节架、高稳定光... 本文设计了1×8MEMS光波长信道选择器的驱动电路,利用电路中的串口信号转换芯片将光波长信道选择器与计算机相连,实现了计算机操作界面对1×8光波长信道选择器的工作状态的选择与控制。利用光学平台、精密光纤调节架、高稳定光源及光功率计等仪器对1×8光波长信道选择器的各单元器件进行定位及集成。设计并建立了1×8光波长信道选择器的响应时间和插入损耗的测试系统,对1×8光波长信道选择器的响应时间和插入损耗进行了测量,实验测得1×8光波长信道选择器的响应时间约为15ms,最大插入损耗约为2.5dB。 展开更多

关键词 波长信道选择器 mems光开关 响应时间 插入损耗

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基于MEMS光开关的光分插复用结构设计

8

作者 韦定东 张兴周 于澎 《应用科技》 CAS 2002年第11期22-24,共3页

光分插复用设备(OADM)是波分复用(WDM)全光网的关键设备,实现全光交换一直是OADM设备制造商追求的目标,微电机械系统(MEMS)技术的出现为全光交换带来了新的概念。用新型MEMS光开关构造了一种OADM设备。实验表明,这种基于MEMS光开关的OAD... 光分插复用设备(OADM)是波分复用(WDM)全光网的关键设备,实现全光交换一直是OADM设备制造商追求的目标,微电机械系统(MEMS)技术的出现为全光交换带来了新的概念。用新型MEMS光开关构造了一种OADM设备。实验表明,这种基于MEMS光开关的OADM设备在构造复杂程度和切换时间上明显优于传统结构的OADM. 展开更多

关键词 mems光开关 结构设计 OADM 光交换 波分复用全光网 光分插复用设备 微电机械系统 光通信

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光互连技术在信号处理中的某些应用

9

作者 张以谟 井文才 +2 位作者 周革 柳葆 唐峰 《光学与光电技术》 2003年第5期1-5,共5页

叙述了近年来在天津大学研究及开发光互连网络的情况。这些研究围绕着解决信号传输中的延迟和通信带宽,开展的研究工作有:完成包括64个处理器的光电混合处理器阵列系统;giga-bit/s机群系统光互连链路;在链路中采用时分复用技术(TDM),实... 叙述了近年来在天津大学研究及开发光互连网络的情况。这些研究围绕着解决信号传输中的延迟和通信带宽,开展的研究工作有:完成包括64个处理器的光电混合处理器阵列系统;giga-bit/s机群系统光互连链路;在链路中采用时分复用技术(TDM),实现了“虚拟并行传输”;在链路中设计了硬件路由功能,并组成光环网;在网络系统中实现波长路由,并建立了波长路由双环网,采用该技术可以避免路由延迟;在光互连网络中应用了MEMs光开关,实现了星型一环形二级结构;用同步光传输技术实现了多通道数据传输卡。 展开更多

关键词 光互连技术 信号处理 信号传输 信号延迟 通信带宽 光网络 mems光开关 时分复用技术 链路 路由延迟 光纤通信

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波分复用光开关及最新进展

10

作者 张瑞君 《集成电路通讯》 2002年第2期29-32,共4页

光开关是当今密集波分复用光通信网络中的关键器件，目前已成为研制开发的热点。文中介绍了几种主要的热门光开关结构及其最新进展情况。

关键词 光开关 波分复用 光通信网 DWDM mems光开关

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光交叉连接的硬件设计和应用

11

作者 左思野 邵楠 《集成电路应用》 2006年第1期37-40,36,共5页

利用 MEMS 光开关来构建光交叉连接 OXC 目前成为一个研究热点。本文叙述了利用 MEMS 光开关构建光交叉连接的系统构架,提出了相应的硬件平台设计方案,并对实际的 OXC 交换板做了性能测试。从交换时间和插入损耗这两个指标来看,该 OXC ... 利用 MEMS 光开关来构建光交叉连接 OXC 目前成为一个研究热点。本文叙述了利用 MEMS 光开关构建光交叉连接的系统构架,提出了相应的硬件平台设计方案,并对实际的 OXC 交换板做了性能测试。从交换时间和插入损耗这两个指标来看,该 OXC 完全可以满足一般的交换速度和交换容量需求。同时,在实际制作的 OXC 交换板的基础上,通过加入扩展光器件,该 OXC 板可以扩展为带波长变换的光节点,可以实现 ASON 自动交换光网络的交换节点功能。 展开更多

关键词 光交叉连接OXC mems光开关 光检测器

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MEMS光开关的控制

12

《电子元器件应用》 2006年第7期40-41,48,共3页

关键词 mems光开关 控制电路 微机电系统 光学应用 微型执行器 MICRO MOEMS 光电子系统 微机械元件

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MEMS光开关抗宇航级冲击振动能力

13

作者 杨艳锋 向霖 吴广祥 《电子技术与软件工程》 2020年第7期67-68,共2页

本文介绍了MEMS光开关的基本原理,分析了MEMS光开关抗宇航级冲击振动能力,讨论了MEMS光开关应用于剧烈冲击、振动环境的可能性。

关键词 mems光开关 冲击振动 宇航级

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基于光学频率梳的可选频毫米波生成多业务分层WDM⁃ROF系统 被引量：1

14

作者 卢振旭 李培丽 王浩然 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期121-131,共11页

针对波分复用‑光纤无线通信(WDM‑ROF)系统中采用的激光器阵列成本高、可扩展性与重构性差、生成的毫米波信号单一不可调、每个基站业务传输相同且可应用场合受限等问题,提出了基于光学频率梳(OFC)的可选频毫米波生成多业务分层WDM‑ROF... 针对波分复用‑光纤无线通信(WDM‑ROF)系统中采用的激光器阵列成本高、可扩展性与重构性差、生成的毫米波信号单一不可调、每个基站业务传输相同且可应用场合受限等问题,提出了基于光学频率梳(OFC)的可选频毫米波生成多业务分层WDM‑ROF系统。在该方案中,采用光学频率梳作为系统的多载波光源,有利于系统的扩展与重构;在中心站(CS)预留部分光载波作为基站(BS)上行链路的光源,实现了基站上行传输的无光源化;在次级中心站(SCS)引入基于微机电系统(MEMS)的光开关矩阵,由MEMS光开关矩阵的不同种控制状态实现毫米波信号的可选频;构建具有分层结构的基站组(BSG),为每个基站提供多个业务的接入。建立了基于光学频率梳的WDM‑ROF系统的理论模型,并进行了仿真研究。在仿真中获得了平坦度为0.58 dB、频率间隔为20 GHz的15线光学频率梳。在下行链路中,利用其中一种控制状态的MEMS光开关矩阵与光电探测器将两个不同的10 Gbit/s下行数据上变频,得到频率为35、45、65、95 GHz的4个毫米波信号,并根据不同应用场合分配给基站组中的两个基站(分层BSG),进行多个业务传输。经40 km单模光纤传输后,下行和上行传输的接收灵敏度分别不低于-10.086 dBm和-17.922 dBm,对应的功率代价均小于1 dB,业务数据接收眼图均保持睁开状态。该WDM‑ROF系统可以实现可选频毫米波信号产生、多个业务传输、低功率代价的高效传输。 展开更多

关键词 光通信 光学频率梳 可选频毫米波 mems光开关矩阵 分层基站组

原文传递

光网络开关中的微热学控制技术研究与应用 被引量：1

15

作者 曲小鹏 刘静 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期403-407,共5页

文中对热光波导光开关、喷墨气泡光开关、微热管光开关、热驱动MEMS光开关等几种典型光开关中所涉及的热科学问题进行了评述。在对其关键问题进行深入分析的基础上 ,尝试提出了几类可能的解决方案 ,对于研究开发新型光开关及升级改进现... 文中对热光波导光开关、喷墨气泡光开关、微热管光开关、热驱动MEMS光开关等几种典型光开关中所涉及的热科学问题进行了评述。在对其关键问题进行深入分析的基础上 ,尝试提出了几类可能的解决方案 ,对于研究开发新型光开关及升级改进现有光开关技术具有积极的参考价值。 展开更多

关键词 热光效应 微尺度热效应 光网络开关 热光开关 喷墨气泡光开关 微热管光开关 热 驱动mems光开关

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MEMS光开关阵列的设计与应用 被引量：1

16

作者 赵磊 王小齐 +3 位作者 李晶娣 赵振海 柳华勃 马优恒 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期452-455,共4页

针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控... 针对如何缩短防空导弹系统反应时间的问题,设计了一种MEMS(micro electro mechanical system,微机电系统)光开关阵列,用于控制防空导弹系统各分系统模块之间的信号传输。该光开关阵列由8组双层静电梳齿结构的光开关组成,每组光开关均控制一个防空导弹系统子模块的通断。根据拉格朗日-麦克斯韦方程,建立系统的机电动力学模型,确定质量、弹性系数、电容、气膜阻尼等主要参数。仿真结果表明:MEMS光开关的响应时间为0.627ms,稳态位移为4.724μm,最大位移为6.801μm,将相同阶段的反应时间缩短为原先的1/4。由此可以得出结论:MEMS光开关阵列不仅缩短了防空导弹系统的反应时间,而且保证了系统的稳定性。 展开更多

关键词 防空导弹系统 反应时间 mems光开关阵列 双层静电梳齿结构 气膜阻尼

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MEMS光开关有望催生下一代网络 多反射镜MEMS器件能够对多达80个信道进行开关控制

17

《今日电子》 2004年第3期1-1,共1页

一种速度为1ms的多信道光开关样品有望提供开发全光通信网络所需的快速光交叉连接。

关键词 mems光开关 下一代网络 多信道光开关 光通信网络 光交叉连接

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