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高端MEMS固体波动陀螺的发展与应用 被引量：8
1
作者 权海洋 杨栓虎 +1 位作者 陈效真 王浩 《导航与控制》 2017年第6期74-82,73,共10页
总结了固体波动陀螺的发展历程,分析了从固体波动陀螺到MEMS陀螺的演化过程。通过对MEMS谐振环陀螺的演化与研制历程进行分析,预测未来高端MEMS陀螺发展方向,推动我国高端MEMS环形固体波动陀螺的研究与应用。
关键词 mems谐振环陀螺 固体波动陀螺 谐振盘DRG陀螺
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