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基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状 被引量：91
1
作者 李荣冰 刘建业 +1 位作者 曾庆化 华冰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第6期88-94,共7页
根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯... 根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯性技术、导航技术领域内前沿研究机构研究 MEMS INS 的路线,总结了微型导航技术系统算法的研究现状。最后,对 MEMSINS 的发展进行展望,指出 MEMS INS 的发展方向。过去的发展趋势表明:微型惯性技术将向芯片级的超小型 MEMS IMU(Inertial Measurement Unit)和 MEMS INS 以及组合导航的发展方向。 展开更多
关键词 INS mems技术 DARPA 惯性技术 微型 惯性导航系统 芯片 惯性传感器 导航技术 System)
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几种常见气体传感器的研究进展 被引量：35
2
作者 李冬梅 黄元庆 +2 位作者 张佳平 张鑫 辜克兢 《传感器世界》 2006年第1期6-11,共6页
气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和... 气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。 展开更多
关键词 敏感材料 气体传感器 有毒气体 可燃性气体 mems技术
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微加速度计研究的进展 被引量：27
3
作者 李圣怡 刘宗林 吴学忠 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期34-37,共4页
介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的... 介绍了微加速度计的基本原理以及国内外常见的各种微加速度计的结构形式,包括压电式、电容式、扭摆式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结微加速度计发展中存在的一些问题,并提出一些解决关键问题的措施,预测微加速度计未来的发展趋势。 展开更多
关键词 微加速度计 微机电系统 制作工艺
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国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用 被引量：17
4
作者 亢春梅 曹金名 刘光辉 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第6期4-7,共4页
概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。
关键词 mems技术 现状 军事领域 应用 微电子机械系统 电子器件
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基于MEMS技术的微型传感器 被引量：24
5
作者 李学东 余志伟 杨明忠 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第9期4-5,12,共3页
和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。
关键词 mems技术 微型传感器 特点 智能化 多功能化
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2017年国外惯性技术发展与回顾 被引量：32
6
作者 薛连莉 陈少春 陈效真 《导航与控制》 2018年第2期1-9,40,共10页
概述了国外惯性相关机构的发展变化,从环形激光陀螺(RLG)、光纤陀螺(FOG)、微机电(MEMS)陀螺和原子陀螺等角度详细介绍了近年来不同机构如美国诺格公司、霍尼韦尔公司、法国赛峰电子与防务公司、iXblue集团等的概况及其惯性仪表、系统... 概述了国外惯性相关机构的发展变化,从环形激光陀螺(RLG)、光纤陀螺(FOG)、微机电(MEMS)陀螺和原子陀螺等角度详细介绍了近年来不同机构如美国诺格公司、霍尼韦尔公司、法国赛峰电子与防务公司、iXblue集团等的概况及其惯性仪表、系统的发展与应用。分析了全球定位系统(GPS)面临的严峻形势下,美国GPS的发展以及GPS拒止环境下部分项目的新进展。最后,对比了不同陀螺技术的发展和应用,总结了惯性技术的趋势。 展开更多
关键词 激光陀螺 光纤陀螺 mems陀螺 半球谐振陀螺 原子陀螺 惯性技术
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国际上微型飞行器研究的进展及其关键技术 被引量：19
7
作者 罗均 蒋蓁 +3 位作者 程维明 龚振邦 邓寅喆 梁秋憧 《上海大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2001年第4期293-296,共4页
微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展 ,指出了MAV研究的几项关键技术 ,并结... 微型飞行器 (MAV)是 MEMS传感器和驱动器技术发展的必然产物 ,同时也是当今先进国家竞相研究的科技前沿课题 .该文综述了世界各国对微型飞行器在固定翼、旋翼、扑翼以及微型动力系统方面的研究进展 ,指出了MAV研究的几项关键技术 ,并结合我国实际 ,提出了我国研究 展开更多
关键词 微型飞行器 微机电系统技术 微型飞行机器人 固定翼 旋翼 扑翼 MAV 微型动力系统
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基于SPI接口的双轴SCA100T倾角传感器及其应用方法 被引量：19
8
作者 孙汝建 《仪器仪表用户》 2006年第4期69-71,共3页
介绍了芬兰VTI公司生产的SCA100T倾角计的特性,结构,工作原理以及与单片机SPI串行接口连接的工作模式、命令格式、操作方法,并给出了与单片机连接的双轴测量应用实例。具有结构简单、可靠性高、抗干扰能力强,不需要扩展外围器件等特点,... 介绍了芬兰VTI公司生产的SCA100T倾角计的特性,结构,工作原理以及与单片机SPI串行接口连接的工作模式、命令格式、操作方法,并给出了与单片机连接的双轴测量应用实例。具有结构简单、可靠性高、抗干扰能力强,不需要扩展外围器件等特点,根据不同需要可以应用于各种倾角,位移测控系统中。 展开更多
关键词 SPI接口 倾角 mems技术 应用
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聚二甲基硅氧烷微流体芯片的制作技术 被引量：14
9
作者 刘长春 崔大付 王利 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第7期77-80,共4页
基于MEMS技术的微流体芯片在分析化学和生物医学领域显示了巨大的应用潜力。作为构建微流体芯片的基底材料———聚二甲基硅氧烷(PDMS)已经表现出了许多的优点:良好的电绝缘性、较高的热稳定性、优良的光学特性以及简单的加工工艺等。... 基于MEMS技术的微流体芯片在分析化学和生物医学领域显示了巨大的应用潜力。作为构建微流体芯片的基底材料———聚二甲基硅氧烷(PDMS)已经表现出了许多的优点:良好的电绝缘性、较高的热稳定性、优良的光学特性以及简单的加工工艺等。采用浇注法制作了PDMS电泳微芯片,对PDMS微流体芯片的加工工艺、封装方法和结构特征进行了探讨,并提出了相应的解决方案。 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷 制作技术 微流体芯片 mems
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气敏传感器的研究现状与发展趋势 被引量：15
10
作者 贾良菊 应鹏展 +2 位作者 许林敏 倪自丰 王雅晴 《煤矿机械》 北大核心 2005年第4期3-5,共3页
传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之一 ,它已深入到人类生活的各个领域。随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用 ,对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求 ,这就使人们更加重视对新型传感器的开发。
关键词 气敏传感器 SNO2 mems 纳米科技
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用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器 被引量：19
11
作者 张宏乐 曹金栋 《石油仪器》 2002年第2期1-4,61,共4页
传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章... 传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 。 展开更多
关键词 mems 加速度传感器 频率响应 地震勘探 地球物理勘探
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MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势 被引量：18
12
作者 李晓阳 王伟魁 +2 位作者 汪守利 彭泳卿 金小锋 《遥测遥控》 2019年第6期1-13,21,共14页
基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEM... 基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望。 展开更多
关键词 mems技术 陀螺仪 加速度计 惯性测量单元
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2016年国外惯性技术发展与回顾 被引量：17
13
作者 薛连莉 陈少春 陈效真 《导航与控制》 2017年第3期105-112,84,共9页
以惯性技术研究与应用为主线,回顾了2016年国际惯性技术发展历程和现状,概括了惯性仪表、惯性系统当前的研究现状及应用,展望了惯性技术的未来发展。
关键词 惯性技术 惯性导航 光纤陀螺 mems陀螺
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微型电磁式振动能量采集器的结构设计与仿真研究 被引量：17
14
作者 赵志刚 丁旭升 +1 位作者 刘福贵 杨茁萌 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第8期255-260,共6页
随着大规模集成电路、无线传感网络的发展和对微机电技术研究的逐渐深入,基于微机电系统(MEMS)技术的微型电源具有广阔的应用前景。作为微型电源的一个分支,微型电磁式振动能量采集器可将环境中普遍存在的振动能转换为电能,从而可以长... 随着大规模集成电路、无线传感网络的发展和对微机电技术研究的逐渐深入,基于微机电系统(MEMS)技术的微型电源具有广阔的应用前景。作为微型电源的一个分支,微型电磁式振动能量采集器可将环境中普遍存在的振动能转换为电能,从而可以长期有效的为传感器件供电。简单介绍了电磁式振动能量采集器的物理模型和工作原理,研究了在正弦激励下采集器的振动特性,分析了采集器结构的固有频率与振动形式,并利用有限元法对结构进行优化,提出了一种复合式振动能量采集器结构并进行了仿真研究,该结构与传统单一永磁体结构相比,输出电压显著提高。 展开更多
关键词 振动能量采集器 有限元 微电源 微电机系统
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微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望 被引量：6
15
作者 陈非凡 殷玲 李云龙 《微细加工技术》 2002年第3期1-7,共7页
微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特... 微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了MOEMS的基本特征 ,列举了一些典型的MOEMS系统 。 展开更多
关键词 研究现状 微光机电系统 MOEMS 微机电系统 mems 微机械加工技术 发展趋势
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微操作机器人系统及其关键技术研究 被引量：4
16
作者 朱涛 谈大龙 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2001年第11期33-36,共4页
微操作机器人技术是MEMS技术的一个重要分支 ,也是当前机器人研究领域的一个热点。本文分析了微操作机器人集成系统的特点 ,并针对微操作机器人系统研制中涉及的一些关键技术 ,如驱动、定位、检测和控制等技术进行了论述。
关键词 微操作机器人 mems 微技术
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发展中的RF MEMS开关技术 被引量：7
17
作者 张永华 丁桂甫 +1 位作者 蔡炳初 蒋振新 《微纳电子技术》 CAS 2003年第5期28-32,共5页
射频MEMS开关是用MEMS技术形成的新的电路元件,与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大、线性度好等优点,将对现有雷达和通信中RF结构产生重大的影响。介绍了射频MEMS开关的工作原理、优化设计,分析了可靠性问题,举例说明... 射频MEMS开关是用MEMS技术形成的新的电路元件,与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大、线性度好等优点,将对现有雷达和通信中RF结构产生重大的影响。介绍了射频MEMS开关的工作原理、优化设计,分析了可靠性问题,举例说明了射频MEMS开关的应用,指出了其发展所面临的问题。 展开更多
关键词 射频mems开关 电路元件 半导体开关器件 插入损耗 工作原理 优化设计 可靠性 高频电路
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微电子机械系统(MEMS)技术在军用设备中的应用现状 被引量：14
18
作者 方震华 黄慧锋 《电子机械工程》 2010年第4期1-4,13,共5页
MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS... MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业,并在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。它是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术。在军事领域中迅速应用MEMS技术将是保持军队技术优势、维护国家安全的重要战略。介绍了微电子机械系统(MEMS)的基本特点,并在此基础上着重讲述了MEMS技术在军用设备中的应用现状。 展开更多
关键词 mems技术 微型传感器 微型机器人 微型飞行器 微纳卫星
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微机械制造技术发展及其应用现状 被引量：9
19
作者 袁义坤 赵增辉 +1 位作者 王育平 郭钦贤 《煤矿机械》 北大核心 2006年第9期9-11,共3页
介绍微机械制造技术的特点及目前微机械加工的主要技术,阐述了微机械制造出现的新技术及其发展趋势,并对微机械加工中的关键技术进行了总结,指出其不同于传统机械加工技术的一些新特点。
关键词 微机械 LIGA技术 微机械制造技术
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基于MEMS技术的汽车传感器研究进展 被引量：10
20
作者 吕良 邓中亮 +1 位作者 刘玉德 辛洪兵 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期77-84,共8页
随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEM... 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述,并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感器,最后对MEMS汽车传感器今后的发展进行了探讨。 展开更多
关键词 汽车电子 汽车传感器 微传感器 mems技术
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