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运用于MEMS磁传感器的数字锁相放大器
被引量:
1
1
作者
梅晓东
梁亨茂
+2 位作者
王文杰
陆仲明
熊斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第4期57-61,111,共6页
文中研究了用于静电驱动-电磁感应敏感的MEMS磁传感器的数字锁相放大器电路。为了对该种传感器输出自调制的信号进行解调,基于ARM微控制器设计了一种无需相位调整的双路数字锁相放大器。在参考通道的设计中,将驱动传感器处于谐振状态的...
文中研究了用于静电驱动-电磁感应敏感的MEMS磁传感器的数字锁相放大器电路。为了对该种传感器输出自调制的信号进行解调,基于ARM微控制器设计了一种无需相位调整的双路数字锁相放大器。在参考通道的设计中,将驱动传感器处于谐振状态的正弦信号转为矩形波信号。应用电路测试结果表明:传感器输出信号的非线性度达0.23%,迟滞性误差和重复性误差分别为0.09%和0.29%。数字锁相放大器能够有效而稳定地解调MEMS磁传感器输出信号,为具有输出信号调制特点的传感器提供一种可行的数字信号处理方案。
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关键词
mems
磁传感器
正交解调
STMF4处理器
数字锁相放大器
微弱信号检测
数字信号处理
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职称材料
题名
运用于MEMS磁传感器的数字锁相放大器
被引量:
1
1
作者
梅晓东
梁亨茂
王文杰
陆仲明
熊斌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第4期57-61,111,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51577186)。
文摘
文中研究了用于静电驱动-电磁感应敏感的MEMS磁传感器的数字锁相放大器电路。为了对该种传感器输出自调制的信号进行解调,基于ARM微控制器设计了一种无需相位调整的双路数字锁相放大器。在参考通道的设计中,将驱动传感器处于谐振状态的正弦信号转为矩形波信号。应用电路测试结果表明:传感器输出信号的非线性度达0.23%,迟滞性误差和重复性误差分别为0.09%和0.29%。数字锁相放大器能够有效而稳定地解调MEMS磁传感器输出信号,为具有输出信号调制特点的传感器提供一种可行的数字信号处理方案。
关键词
mems
磁传感器
正交解调
STMF4处理器
数字锁相放大器
微弱信号检测
数字信号处理
Keywords
mems
magenetic
sensor
orthogonal
demodulation
STMF4
processor
digital
lock-in
amplifier
weak
signal
detection
digital
signal
processing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
运用于MEMS磁传感器的数字锁相放大器
梅晓东
梁亨茂
王文杰
陆仲明
熊斌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021
1
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