期刊文献+
共找到26篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
MEMS加速度传感器噪声分析 被引量:8
1
作者 曲明哲 罗新恒 温瑞智 《地震工程与工程振动》 CSCD 北大核心 2014年第6期26-32,共7页
与传统的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、成本低、可靠性高、易于集成和实现智能化等特点,而近年来更多的地震仪器应用此技术,更加有助于地震研究的深入。本文分析了MEMS的发展现状,介绍了MEMS加速度计的主要分类,通过理论分析和实... 与传统的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、成本低、可靠性高、易于集成和实现智能化等特点,而近年来更多的地震仪器应用此技术,更加有助于地震研究的深入。本文分析了MEMS的发展现状,介绍了MEMS加速度计的主要分类,通过理论分析和实测背景噪声,比较机械式力平衡加速度计和MEMS加速度计的性能指标,并初步探索地震预警采用何种类型设备的技术成熟度及其可行性。 展开更多
关键词 mems传感器 mems加速度计 噪声分析
下载PDF
倾斜补偿式地磁传感器的设计与误差补偿方法 被引量:9
2
作者 金海红 吴东升 +1 位作者 田柳 范之国 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第7期33-36,共4页
针对仿生偏振光-地磁-GPS的多信息源融合导航平台中的地磁导航需求,设计一种基于磁阻技术的补偿式三维地磁传感器系统。详细介绍了三维地磁传感器的原理、设计方法,分析了影响传感器精度的误差来源,并有针对性地进行了误差分析与补偿方... 针对仿生偏振光-地磁-GPS的多信息源融合导航平台中的地磁导航需求,设计一种基于磁阻技术的补偿式三维地磁传感器系统。详细介绍了三维地磁传感器的原理、设计方法,分析了影响传感器精度的误差来源,并有针对性地进行了误差分析与补偿方法的研究。本传感器可实现航向角、俯仰角以及横滚角的动态实时测量,为多信息源融合下的自主导航系统提供一种精确有效的地磁导航辅助信息。 展开更多
关键词 地磁罗盘 磁阻传感器 mems加速度计 误差补偿 地磁导航
下载PDF
一种基于六姿态模型的加速度计校准方法研究 被引量:9
3
作者 张文瑞 张丕状 翟子雄 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第3期37-39,48,共4页
MEMS加速度计和陀螺仪是惯性导航系统的重要测量组件。为提高惯性导航系统的测量精度,在使用加速度计前需要对其各项参数进行标定。在构建了一种理想的三轴MEMS加速度传感器输出与重力加速度值、零偏、标度因子之间的模型基础上,根据加... MEMS加速度计和陀螺仪是惯性导航系统的重要测量组件。为提高惯性导航系统的测量精度,在使用加速度计前需要对其各项参数进行标定。在构建了一种理想的三轴MEMS加速度传感器输出与重力加速度值、零偏、标度因子之间的模型基础上,根据加速度计在静止状态下重力加速度在各轴分量的模值与重力加速度的关系,提出了一种零偏和标度因子的六姿态校准方法,并建立了标定方程。以MPU6050加速度陀螺仪为例,通过实验验证了该方法的正确性。结果表明:通过该校准方法可以有效地提高加速度传感器的零偏和标度因子技术指标精度。 展开更多
关键词 mems加速度计 零偏 标度因子 姿态校准
下载PDF
强震动观测仪器面临的机遇和挑战 被引量:7
4
作者 于海英 周宝峰 +4 位作者 王家行 马新生 张同宇 徐旋 胡振荣 《震灾防御技术》 CSCD 北大核心 2017年第1期68-77,共10页
本文介绍了国内外强震仪、力平衡加速度计、烈度计、MEMS加速度仪等强震动观测仪器的发展历史与现状,概述了强震动记录中典型异常波形产生的原因和力平衡加速度计的仪器响应误差及校正,建议了解决强震仪器缺陷的措施,分析了强震仪在强... 本文介绍了国内外强震仪、力平衡加速度计、烈度计、MEMS加速度仪等强震动观测仪器的发展历史与现状,概述了强震动记录中典型异常波形产生的原因和力平衡加速度计的仪器响应误差及校正,建议了解决强震仪器缺陷的措施,分析了强震仪在强震动观测发展中面临的机遇和挑战。研究结果如下:(1)进行强震动记录异常波形的研究是有针对性改进现有强震仪存在问题的很好途径;(2)早期数字强震仪(力平衡加速度计频带范围0至30Hz)获取的强震动记录应进行仪器校正;(3)应跟踪强震动观测新方法和相关领域新技术,发展MEMS加速度仪和光纤加速度仪等新型仪器。 展开更多
关键词 强震仪 力平衡加速度计 烈度计 mems加速度仪 强震动记录异常波形 仪器响应误差
下载PDF
基于MEMS技术的无线加速度测量系统 被引量:6
5
作者 毛尧辉 苑伟政 虞益挺 《微纳电子技术》 CAS 2006年第5期254-257,共4页
结合MEMS微传感器和无线通信技术,研究了MEMS微加速度计检测信号的测量与无线传输技术,制定了二维加速度信号的无线测量系统方案,设计了系统电路,并完成了原型装置的制作与调试。实践表明,本系统能对微弱的加速度进行无线检测,有较高的... 结合MEMS微传感器和无线通信技术,研究了MEMS微加速度计检测信号的测量与无线传输技术,制定了二维加速度信号的无线测量系统方案,设计了系统电路,并完成了原型装置的制作与调试。实践表明,本系统能对微弱的加速度进行无线检测,有较高的测量精度和灵敏度。 展开更多
关键词 微机电系统 ADXL202 微加速度计 无线通信技术 加速度无线测量系统
下载PDF
孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析 被引量:6
6
作者 董林玺 刘国华 钱忺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1262-1266,共5页
本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该... 本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该结论的正确性.结果还表明孔数对恒定尺寸微结构空气阻尼的影响随着结构厚度和孔数的增加而变得更加明显.分析结果对比表明在同样的尺寸条件下,孔方形排列微结构的空气阻尼小于孔蜂窝式排列微结构的空气阻尼,该现象随着孔单元面积的增加变得越明显,但是随着孔单元接近微结构的边界,阻尼之间的差距减小.研究结果可以用在高精度MEMS器件如MEMS地震检波器、MEMS光开关和MEMS红外光传感器等的优化设计中去. 展开更多
关键词 mems加速度计 压膜空气阻尼 孔板 孔排列 优化设计
下载PDF
±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计 被引量:2
7
作者 虎勇 李绍荣 +5 位作者 郭威 蒋婷 郭小伟 邹力 任颖慧 梁杰 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期444-450,共7页
微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速... 微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结构,通过对所设计的结构进行静力学分析和模态分析,保证加速度计良好的抗过载能力。仿真结果表明,该结构实现了模态分离避免了模态干扰,且交叉灵敏度均小于0.3%,有效地降低了交叉串扰。 展开更多
关键词 电容式加速度计 高精度 mems 三质量块
下载PDF
基于深度学习的MEMS加速度计随机漂移补偿方法
8
作者 郑怡晨 刘洪 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第12期84-87,共4页
为了有效地抑制MEMS加速度计的随机漂移,文中提出了一种将深度学习与神经网络相结合的方法补偿MEMS加速度计随机漂移。在循环神经网络(RNN)的基础上,建立长短期记忆神经网络(LSTM)模型,利用基于自适应性矩估计(ADAM)的优化算法对LSTM模... 为了有效地抑制MEMS加速度计的随机漂移,文中提出了一种将深度学习与神经网络相结合的方法补偿MEMS加速度计随机漂移。在循环神经网络(RNN)的基础上,建立长短期记忆神经网络(LSTM)模型,利用基于自适应性矩估计(ADAM)的优化算法对LSTM模型进行训练。结果表明,与传统的滤波算法相比,文中方法将MEMS加速度计补偿后的零偏稳定性、零偏不稳定性和加速度随机游走等性能指标降低了80%以上。通过实验验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 mems加速度计 随机漂移 深度学习 长短期记忆网络
下载PDF
基于MEMS加速度计的输入系统的研究 被引量:3
9
作者 钱莉 陈文元 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期639-642,共4页
该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并... 该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并给出了输入系统的第一代实际PCB原型。并且在二维的基础上扩展了微加速度计在三维的应用,设计了一个新的三维模型,并进行了试验的验证。 展开更多
关键词 mems 输入系统 加速度计 三维模型
下载PDF
低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 被引量:3
10
作者 王伟 熊斌 +1 位作者 王跃林 马颖蕾 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第1期62-64,共3页
研究了玻璃浆料在低温下真空封装MEMS器件的工艺。封装过程中,采用了丝网印刷技术,丝网的线宽设计为100μm,印刷后玻璃浆料线宽为160μm左右,从而能够减小封装器件的尺寸,节省成本;另外,对玻璃浆料键合工艺做了研究,找到了较好的工艺条... 研究了玻璃浆料在低温下真空封装MEMS器件的工艺。封装过程中,采用了丝网印刷技术,丝网的线宽设计为100μm,印刷后玻璃浆料线宽为160μm左右,从而能够减小封装器件的尺寸,节省成本;另外,对玻璃浆料键合工艺做了研究,找到了较好的工艺条件,采用该工艺(预烧结温度425℃,键合温度430℃),得到的封装结构具有较高的封接强度(剪切力>20 kgf)和良好的真空度,测得的漏率为10-9 cm3/s。 展开更多
关键词 微机电系统 玻璃浆料封装 加速度计 真空封装
下载PDF
Suitable triggering algorithms for detecting strong ground motions using MEMS accelerometers 被引量:1
11
作者 Ravi Sankar Jakka Siddharth Garg 《Earthquake Engineering and Engineering Vibration》 SCIE EI CSCD 2015年第1期27-35,共9页
With the recent development of digital Micro Electro Mechanical System (MEMS) sensors, the cost of monitoring and detecting seismic events in real time can be greatly reduced. Ability of MEMS accelerograph to record... With the recent development of digital Micro Electro Mechanical System (MEMS) sensors, the cost of monitoring and detecting seismic events in real time can be greatly reduced. Ability of MEMS accelerograph to record a seismic event depends upon the efficiency of triggering algorithm, apart from the sensor's sensitivity. There are several classic triggering algorithms developed to detect seismic events, ranging from basic amplitude threshold to more sophisticated pattern recognition. Algorithms based on STA/LTA are reported to be computationally efficient for real time monitoring. In this paper, we analyzed several STA/LTA algorithms to check their efficiency and suitability using data obtained from the Quake Catcher Network (network of MEMS accelerometer stations). We found that most of the STA/LTA algorithms are suitable for use with MEMS accelerometer data to accurately detect seismic events. However, the efficiency of any particular algorithm is found to be dependent on the parameter set used (i.e., window width of STA, LTA and threshold level). 展开更多
关键词 strong ground motion triggering algorithms seismic event detection mems accelerometers STA/LTA based algorithms
下载PDF
Analysis for Transverse Sensitivity of the Microaccelerometer
12
作者 Yu LIU Guochao WANG Changwen GUO 《Engineering(科研)》 2009年第3期196-200,共5页
For the microaccelerometer, strong axial response and weak cross-axial one are always expected. This paper presents a general analysis about transverse sensitivity of the microaccelerometer. The analysis model is deve... For the microaccelerometer, strong axial response and weak cross-axial one are always expected. This paper presents a general analysis about transverse sensitivity of the microaccelerometer. The analysis model is developed, where the influence of response stiffness and damping in different axes, as well as symmetrical decline angles of 3 degrees of freedom system is considered. Moreover, multi-freedom vibration equations based on the analysis model are established. And the equations are solved on condition that damping force is ignored. Finally, the theoretical analysis about transverse sensitivity is accomplished, and some effective methods, which are beneficial to reduce cross disturbance, are provided. 展开更多
关键词 mems accelerometers TRANSVERSE Sensitivity Multi-Freedom VIBRATION EQUATION
下载PDF
硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文) 被引量:1
13
作者 刘妤 温志渝 +1 位作者 陈李 杨红韵 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期444-447,共4页
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干... 设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 二维电容式传感器 体硅工艺 ICP深刻蚀
下载PDF
System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers 被引量:1
14
作者 张宇峰 刘晓为 陈伟平 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期917-922,共6页
This paper presents two approaches for system-level simulation of force-balance accelerometers. The derivation of the system-level model is elaborated and simulation results are obtained from the implementation of tho... This paper presents two approaches for system-level simulation of force-balance accelerometers. The derivation of the system-level model is elaborated and simulation results are obtained from the implementation of those strategies on the fabricated silicon force-balance MEMS accelerometer. The mathematical model presented is implemented in VHDL- AMS and SIMULINK TM,respectively. The simulation results from the two approaches are compared and show a slight difference. Using VHDL-AMS is flexible,reusable,and more accurate. But there is not a mature solver developed for the language and this approach takes more time, while the simulation model can be easily built and quickly evaluated using SIMULINK. 展开更多
关键词 mems force-balance accelerometers system-level simulation mathematical model
下载PDF
爆炸冲击环境下MEMS加速度传感器的零漂分析
15
作者 高清毅 常璐璐 +1 位作者 王彬星 温仲元 《测试技术学报》 2020年第4期349-354,共6页
本文以石油行业中的爆炸冲击为研究背景,研究了MEMS加速度传感器在爆炸冲击环境下测量时存在的零漂问题的原因及解决方案.采用和MEMS加速度传感器电气模型等效的电阻式应变电桥,通过大量试验,排除了电路串扰、应变片自生信号等可能的原... 本文以石油行业中的爆炸冲击为研究背景,研究了MEMS加速度传感器在爆炸冲击环境下测量时存在的零漂问题的原因及解决方案.采用和MEMS加速度传感器电气模型等效的电阻式应变电桥,通过大量试验,排除了电路串扰、应变片自生信号等可能的原因,确定了电缆内由于摩擦生电效应产生的干扰信号是形成零漂的重要原因.在此基础上,选择不同类型的电缆进行了对比试验.试验结果表明:电缆的大柔性和低机械阻抗能够减少物理运动和应力波耦合的影响,石墨填充剂可将摩擦生电效应产生的电荷引入电气地,从而可有效改善MEMS加速度传感器在爆炸冲击环境下测量时存在的零漂问题. 展开更多
关键词 爆炸冲击 mems 加速度传感器 应变电桥 零漂
下载PDF
Multiple dependent reliability estimation of large range MEMS accelerometers in high temperature environment
16
作者 QIN Li HE Cheng +2 位作者 YU Li-xia WANG Wei QIN Li-jun 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2019年第1期9-15,共7页
In the past,only one performance parameter was considered in the reliability estimation of micro-electro-mechanical system (MEMS) accelerometers,resulting in a one-sided reliability evaluation. Aiming at the failure c... In the past,only one performance parameter was considered in the reliability estimation of micro-electro-mechanical system (MEMS) accelerometers,resulting in a one-sided reliability evaluation. Aiming at the failure condition of large range MEMS accelerometers in high temperature environment,the corresponding accelerated degradation test is designed. According to the degradation condition of zero bias and scale factor,multiple dependent reliability estimation of large range MEMS accelerometers is carried out. The results show that the multiple dependent reliability estimation of the large range MEMS accelerometers can improve the accuracy of the estimation and get more accurate results. 展开更多
关键词 large range mems accelerometers zero bias scale factor multiple dependent reliability estimation accelerated degradation test
下载PDF
MEMS惯组抗高g值冲击设计方法 被引量:10
17
作者 汪守利 刘海涛 +2 位作者 滕纲 刘尔静 张钰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期404-408,共5页
MEMS惯组以其体积小、成本低、可靠性高在强冲击环境中得到越来越广泛的应用。为解决基于石英微陀螺和硅微加速度计的MEMS惯组抗高g值冲击问题,提出了一种内减振抗冲击设计方法。在该设计方法中,将陀螺与加速度计嵌入式安装在对称六面... MEMS惯组以其体积小、成本低、可靠性高在强冲击环境中得到越来越广泛的应用。为解决基于石英微陀螺和硅微加速度计的MEMS惯组抗高g值冲击问题,提出了一种内减振抗冲击设计方法。在该设计方法中,将陀螺与加速度计嵌入式安装在对称六面体框架结构上,并通过粘接在六面体框架八个顶点的24块粘弹性阻尼减震器与惯组基体隔离,实现内减振。同时基于弹簧阻尼系统理论建立了MEMS惯组抗冲击等效数学模型,对模型进行了仿真分析。利用有限元分析软件ANSYS对三维结构模型进行了模态分析和冲击仿真分析,并通过结构扫频实验与9次5000g冲击谱试验进行了验证。仿真分析与试验结果证明了该方法的有效性及可行性。 展开更多
关键词 石英陀螺 mems惯组 弹簧阻尼系统 高G值 冲击
下载PDF
基于MEMS加速度计的瞬态振动信号采集系统 被引量:5
18
作者 李剑 张波涛 +1 位作者 薛丹丹 李闯泽 《电子测试》 2011年第8期88-91,共4页
针对传统的瞬态振动信号采集系统存在电路设计复杂、体积大、功耗高的问题,本文设计一种基于MEMS加速度计的瞬态振动信号采集系统,该系统由MEMS三轴数字加速度计、USB2SPI搭建的硬件平台和基于VC++6.0数据传输、处理和管理的软件平台组... 针对传统的瞬态振动信号采集系统存在电路设计复杂、体积大、功耗高的问题,本文设计一种基于MEMS加速度计的瞬态振动信号采集系统,该系统由MEMS三轴数字加速度计、USB2SPI搭建的硬件平台和基于VC++6.0数据传输、处理和管理的软件平台组成,可完成对三维振动信号的实时采集和控制,具有结构简单、体积小、功耗低、实时性好等特点。经实验测试,该系统能够对振动信号进行有效采集、采样率可设置,满足瞬态振动信号采集系统的指标要求,达到了预期的效果。 展开更多
关键词 mems数字加速度计 信号采集 瞬态振动
下载PDF
双轴倾角传感器温度补偿方法
19
作者 林新华 周子栋 +2 位作者 邵淑芳 林威 张瑞 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期558-563,共6页
针对倾角传感器中三轴微机电系统(MEMS)加速度计的敏感轴与倾角传感器体坐标系不一致而产生的难以直接获取其温度特性进行温度补偿的问题,提出了一种基于转换矩阵对角元素归一化的温度补偿方法。采用传统的“六位置法”获取用于补偿灵... 针对倾角传感器中三轴微机电系统(MEMS)加速度计的敏感轴与倾角传感器体坐标系不一致而产生的难以直接获取其温度特性进行温度补偿的问题,提出了一种基于转换矩阵对角元素归一化的温度补偿方法。采用传统的“六位置法”获取用于补偿灵敏度系数不一致和非正交导致误差的转换矩阵以及包含偏置误差的矩阵。相对于常温获取的转换矩阵,对不同温度下的转换矩阵相应对角元素归一化,以获取灵敏度系数温度特性,克服灵敏度系数不一致相关的矩阵与非正交相关的矩阵无法分离的问题,从而实现三轴加速度计灵敏度系数和偏置的温度补偿。在温度为-20℃~50℃条件下的试验结果表明,该方法可有效减小倾角传感器的温度漂移。 展开更多
关键词 倾角传感器 三轴加速度计 温度补偿模型 转换矩阵对角元素归一化
原文传递
机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器 被引量:6
20
作者 赵玉龙 刘岩 孙禄 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期875-882,1031,共8页
结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力&qu... 结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以"小变形-大应力"为敏感结构设计思路,研制了梁膜结构、孔缝双桥结构以及复合多梁结构3种高频加速度传感器,以满足高速制造装备的振动信号监测对传感器的需求。通过静态、动态性能测试实验可以看出,3种结构均在一定程度上提升了传感器的测量性能,实际测振实验也说明所研制的MEMS加速度传感器具备了装备振动信号检测所需的功能。具有微型化、低成本以及可大规模生产潜力的MEMS传感器的发展为高端机械制造装备的发展提供了新的器件支持,推动主轴部件等的智能化、一体化发展。 展开更多
关键词 故障监测 微机电系统 加速度传感器 敏感结构 微加工
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部