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基于硅微谐振器的高稳定性MEMS压控振荡器
被引量：
3
1
作者
王佳伟
熊兴崟
+2 位作者
王坤锋
蔡朋成
邹旭东
《国外电子测量技术》
北大核心
2021年第8期57-63,共7页
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微机电系统压控振荡器(MEMS VCO)。根据各模块传递函数建立了该控制系统数学模型,利用平均法得到了系统稳...
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微机电系统压控振荡器(MEMS VCO)。根据各模块传递函数建立了该控制系统数学模型,利用平均法得到了系统稳态平衡点与稳定性判据,并通过理论推导与仿真实验对系统稳定性进行了分析,给出了保持系统稳定的参数调整策略。同时利用开环及闭环实验方法对该MEMS VCO系统传递函数进行了测试与拟合,并分析了误差产生的原因。最后实验表明,上述MEMS VCO系统的频率稳定性可以达到64.29 ppb。
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关键词
硅微谐振器
静电负刚度
mems
压控振荡器
系统稳定性判据
频率稳定性
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职称材料
题名
基于硅微谐振器的高稳定性MEMS压控振荡器
被引量：
3
1
作者
王佳伟
熊兴崟
王坤锋
蔡朋成
邹旭东
机构
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《国外电子测量技术》
北大核心
2021年第8期57-63,共7页
基金
国家重点研发计划(2018YFB2000752)项目资助。
文摘
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微机电系统压控振荡器(MEMS VCO)。根据各模块传递函数建立了该控制系统数学模型,利用平均法得到了系统稳态平衡点与稳定性判据,并通过理论推导与仿真实验对系统稳定性进行了分析,给出了保持系统稳定的参数调整策略。同时利用开环及闭环实验方法对该MEMS VCO系统传递函数进行了测试与拟合,并分析了误差产生的原因。最后实验表明,上述MEMS VCO系统的频率稳定性可以达到64.29 ppb。
关键词
硅微谐振器
静电负刚度
mems
压控振荡器
系统稳定性判据
频率稳定性
Keywords
silicon
micro-resonators
electrostatic
negative
stiffness
effect
mems
vco
system
stability
criterion
frequency
stability
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于硅微谐振器的高稳定性MEMS压控振荡器
王佳伟
熊兴崟
王坤锋
蔡朋成
邹旭东
《国外电子测量技术》
北大核心
2021
3
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