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光纤白光干涉技术的回顾与展望 被引量:14
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作者 苑立波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期314-326,共13页
光纤白光干涉技术与方法是光纤技术领域中独具特色的一种测量方法和传感技术,是光纤技术多领域交叉应用中较为有代表性的一个分支。该项技术在宽谱光干涉特性研究、绝对形变光纤传感测量、光波导器件的结构及其对光波反射特性参量的检... 光纤白光干涉技术与方法是光纤技术领域中独具特色的一种测量方法和传感技术,是光纤技术多领域交叉应用中较为有代表性的一个分支。该项技术在宽谱光干涉特性研究、绝对形变光纤传感测量、光波导器件的结构及其对光波反射特性参量的检测、光纤陀螺环中光偏振态横向耦合测量与评估以及医学临床诊断的组织结构形态的光学层析技术等方面,都具有广泛的应用。对光纤白光干涉技术的发展给出了一个概略性的描述。从市场需求与技术本身发展规律的视角出发,分析了该技术发展的动力基础。最后,给出了对于该项技术及其发展趋势的描绘和展望。 展开更多
关键词 光纤 白光干涉 低相干 传感器 光学层析成像
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微结构显微光学无损检测方法(特邀) 被引量:7
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作者 高志山 袁群 +10 位作者 孙一峰 马剑秋 郭珍艳 朱丹 赵雨晴 霍霄 王书敏 张佳乐 周行 吴春霞 范筱昕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期17-34,共18页
微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了... 微纳尺度的微结构可调制光场,提高传感器的灵敏度,是新一代功能器件或传感器件中广泛使用的重要结构特征。包含微细加工在内的先进制造技术的快速发展,对多种型式微纳尺度微结构的无损测量技术提出了紧迫的需求。本文从多维视角论述了国内外行业发展中出现的微结构种类、型式,围绕具有高精度无损检测特质的光学显微技术,阐述了国内外仍在继续发展的微结构无损检测四种主流方法,分析了这些方法的技术特点、适用对象,给出了典型样品的检测结果,其中部分结果是首次发表。结果表明,暗场显微机器视觉法,是振幅型颗粒、凹坑、划痕等有害微结构的有效检测方法,可以实现大尺度样品的快速检测;共焦显微成像和低相干显微干涉法是“相位”型微结构的最佳检测方法,可以得到微结构的三维形貌;光谱反演-过焦扫描法与近红外显微干涉法,是应高深宽比微结构无损检测需求而发展起来的新方法,前者可以快速测得线宽和深度,后者可以测得物镜视场范围内高深宽比微结构的三维形貌,二者可以相互验证与补充。 展开更多
关键词 无损检测 光学显微 微结构形貌 垂直扫描 低相干
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低相干性激光的研究进展 被引量:4
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作者 徐林海 王宇飞 +1 位作者 贾宇飞 郑婉华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期104-117,共14页
激光因相干性好、方向性好、单色性好等优点得到了广泛的应用,但是,激光的高相干性会带来严重的散斑现象,导致其在显示和成像领域的应用受到限制。通过对激光腔的几何形状和激光振荡反馈机制的创新,对激光的模式数量、模场的空间分布调... 激光因相干性好、方向性好、单色性好等优点得到了广泛的应用,但是,激光的高相干性会带来严重的散斑现象,导致其在显示和成像领域的应用受到限制。通过对激光腔的几何形状和激光振荡反馈机制的创新,对激光的模式数量、模场的空间分布调控发展而来的低相干性激光器正日益受到重视。本综述详述了五种低相干性激光,包括随机激光、简并腔激光、混沌腔半导体激光、近共心腔半导体激光、哑铃形腔半导体激光的发展历史、产生机理及现存的问题,为低相干性激光器的发展方向和应用提供决策参考。 展开更多
关键词 光学器件 低相干性 激光器 散斑 谐振反馈机制 激光谐振腔
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微结构三维形貌无损检测的双波段显微干涉技术
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作者 霍霄 高志山 +2 位作者 袁群 郭珍艳 朱丹 《计测技术》 2023年第1期70-80,共11页
功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜(SEM)剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改... 功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜(SEM)剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改进制作工艺的无损检测技术。本文系统总结了作者所在研究团队十余年在微结构三维形貌无损检测方面的低相干显微干涉技术进展,其中白光显微干涉仪用于超光滑表面、台阶、微光学元件、微机械元件等低深宽比微结构的三维形貌检测,近红外显微干涉仪用于硅基高深宽比微结构的三维形貌检测。文章阐述了两波段显微干涉系统的关键技术与典型样品的检测实例,结果表明:白光显微干涉仪和近红外显微干涉仪是两种高精度的无损检测仪器,前者检测高深宽比小于等于4,后者检测高深宽比大于等于20的微结构三维形貌,数据结果是可信的。显微干涉无损检测技术获取的三维形貌数据,将有效优化微结构的制造工艺,进一步提升有关器件的性能。 展开更多
关键词 无损测量 显微干涉法 低相干 三维形貌 微纳器件
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低相干光学层析技术中扫描装置的研究与设计 被引量:1
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作者 寇戈 陶纯堪 高万荣 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期427-430,共4页
低相干光学层析技术是一种新型生物医学成象技术,具有快速、非侵入及高分辨的特点.本文在深入研究该技术原理的基础上,对实现该技术的关键环节—扫描装置进行了设计,并对该装置进行了实验验证。
关键词 低相干 光学层析 扫描装置 生物组织 OCT 原理
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kJ级宽带低相干激光驱动装置 被引量:3
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作者 高妍琦 季来林 +17 位作者 崔勇 饶大幸 赵晓晖 冯伟 夏兰 刘栋 王韬 史海涛 李福建 刘佳 杜鹏远 李小莉 刘佳妮 张天雄 单翀 马伟新 隋展 傅思祖 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期19-20,共2页
激光等离子体相互作用的不稳定性将有望通过降低高功率激光装置输出光束的相干性得到大幅缓解。利用低相干光源作为种子源,采用钕玻璃放大介质,研制成功国际首台kJ级大带宽低相干激光装置,实现了带宽13 nm、能量960 J、脉宽3~10 ns可调... 激光等离子体相互作用的不稳定性将有望通过降低高功率激光装置输出光束的相干性得到大幅缓解。利用低相干光源作为种子源,采用钕玻璃放大介质,研制成功国际首台kJ级大带宽低相干激光装置,实现了带宽13 nm、能量960 J、脉宽3~10 ns可调,相干时间仅为300 fs的大能量光脉冲输出。输出脉冲光谱匀滑无纵模结构,且谱相位随机分布,可实现脉冲波形和光谱分布的无关联精密调控。该装置不仅成功演示验证了低相干激光驱动器的单元技术及系统集成技术,同时也为激光等离子体相互作用及高能量密度物理研究提供了全新的实验研究平台。 展开更多
关键词 宽带 低相干 高功率激光 激光惯性约束聚变
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基于单片机的光学相干层析成像系统 被引量:1
7
作者 陈筱勇 杨玉星 《中国医疗器械杂志》 CAS 2004年第4期242-245,294,共5页
研制基于51单片机控制用于组织高分辨率成像的光学相干层析成像系统,详细阐述了该系统的工作原理,硬件组成和软 件设计方案。利用自建样品池和生物样品对系统测试,证明了系统具有高分辨率、高探测灵敏度、智能化以及无损伤 的优点。
关键词 光学相干层析成像 低相干 外差探测 单片机
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一种干涉测温的新方法 被引量:1
8
作者 鲁强 曾绍群 +1 位作者 徐海峰 刘贤德 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第1期46-50,共5页
针对前后表面平行抛光的物质(如半导体芯片等),干涉测温是一种非常有效的非侵入性测量方法。本文中对常规干涉测温法进行改进,提出了一种新方法——弱相干法。该方法利用光源的弱相干性抑制背景反射光,选择所需信号光进行干涉测量... 针对前后表面平行抛光的物质(如半导体芯片等),干涉测温是一种非常有效的非侵入性测量方法。本文中对常规干涉测温法进行改进,提出了一种新方法——弱相干法。该方法利用光源的弱相干性抑制背景反射光,选择所需信号光进行干涉测量,从而提高测量精度。 展开更多
关键词 温度测量 干涉术 弱相干 无损检测
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基于CMOS相机的低相干图像中心条纹提取的算法分析(英文) 被引量:2
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作者 胡姝玲 王鑫龙 +3 位作者 孙昱 黄杰 陆乔乔 耿伟彪 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第11期80-83,共4页
利用CMOS相机而非常规光电探测器来获取平面信息能够提高抗电磁干扰能力以及测量精度。提出3种算法来提取中心条纹,并通过设计低相干杨氏干涉仪对3种算法进行了实验比较。结果显示面积比较法最有效,能够准确标记中心条纹。此外,它还适... 利用CMOS相机而非常规光电探测器来获取平面信息能够提高抗电磁干扰能力以及测量精度。提出3种算法来提取中心条纹,并通过设计低相干杨氏干涉仪对3种算法进行了实验比较。结果显示面积比较法最有效,能够准确标记中心条纹。此外,它还适用于实时信息显示系统。 展开更多
关键词 图像处理 CMOS相机 低相干 中心条纹
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光纤低相干干涉测量法的光谱域处理技术 被引量:1
10
作者 靳皓 钟宏杰 《光电子技术》 CAS 2005年第3期191-193,共3页
使用低相干、宽带光源可以让光纤传感器系统获得高分辨率和大动态范围。光谱域处理技术在具有这种特点的光源下应运而生。该技术的特点是除了使用传感干涉仪以外,还必须用第二个处理干涉仪来提取所需的条纹图样信息。使用交叉的梳状谱... 使用低相干、宽带光源可以让光纤传感器系统获得高分辨率和大动态范围。光谱域处理技术在具有这种特点的光源下应运而生。该技术的特点是除了使用传感干涉仪以外,还必须用第二个处理干涉仪来提取所需的条纹图样信息。使用交叉的梳状谱也是其特点之一。使用这种技术的光纤传感器系统可以实现多种物理量的测量,而且其结构简单、成本低廉。 展开更多
关键词 光纤 干涉 低相干 光谱域
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光纤低相干干涉测量法的光谱域处理技术 被引量:1
11
作者 靳皓 钟宏杰 《光机电信息》 2005年第5期20-22,共3页
使用低相干宽带光源可使光纤传感器系统实现高分辨率和大动态范围。本文介绍了在具有这种特点的光源下应运而生的光谱域处理技术。
关键词 处理技术 低相干 干涉测量法 谱域 大动态范围 光纤传感器 高分辨率 系统实现 宽带光源
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光学相干层析系统的光耦合实验分析
12
作者 张思团 叶梅 叶虎年 《光电子技术与信息》 CAS 2006年第3期15-17,共3页
利用低相干光作光源的光学相干层析(optical coherence tomography,OCT)是一种新型的成像技术,是集共焦技术、相干技术、光外差技术和扫描层析技术于一体的非接触型成像技术;利用光源的空间相干以获得高的纵向分辨率,着重讨论了系统光... 利用低相干光作光源的光学相干层析(optical coherence tomography,OCT)是一种新型的成像技术,是集共焦技术、相干技术、光外差技术和扫描层析技术于一体的非接触型成像技术;利用光源的空间相干以获得高的纵向分辨率,着重讨论了系统光源耦合后的大小对成像结果的影响。 展开更多
关键词 光学相干层析 低相干 自聚焦透镜 光外差
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基于光学低相干技术的地形变监测系统
13
作者 王佳 张敏 居海华 《科学技术创新》 2020年第32期48-49,共2页
本文主要研究了光学低相干技术在高精度地震地形变监测方面的应用,提出了一种基于低相干技术进行地形变观测的新思路,详细介绍了系统的搭建、元器件的选择以及系统性能。相比于传统地震形变测量方法,光学地震测量技术有着灵敏度高、无... 本文主要研究了光学低相干技术在高精度地震地形变监测方面的应用,提出了一种基于低相干技术进行地形变观测的新思路,详细介绍了系统的搭建、元器件的选择以及系统性能。相比于传统地震形变测量方法,光学地震测量技术有着灵敏度高、无零漂、不受电磁干扰等优势,可以解决传统方法在微弱形变观测中精度不高的问题,提高地球物理观测能力。 展开更多
关键词 光学地震测量 低相干 地形变 地球物理观测
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低相关性压缩感知表示基学习算法
14
作者 杨颖颖 《淮北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第4期44-48,共5页
压缩感知理论作为一种新的信息压缩与采样理论,广泛用于各种信号的压缩与采样.提出一种低相关压缩感知稀疏表示基学习算法,用于实现稀疏投影下的自适应稀疏表示基设计,从而有效提高在稀疏采样压缩情况下的压缩感知数据信号的恢复性能.... 压缩感知理论作为一种新的信息压缩与采样理论,广泛用于各种信号的压缩与采样.提出一种低相关压缩感知稀疏表示基学习算法,用于实现稀疏投影下的自适应稀疏表示基设计,从而有效提高在稀疏采样压缩情况下的压缩感知数据信号的恢复性能.实验结果表明本文提出的方法可以有效提高数据恢复性能. 展开更多
关键词 压缩感知 表示基学习 低相关性 投影矩阵
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基于LabVIEW的光拍频噪声的特性分析
15
作者 杨广学 范军 康守强 《国外电子测量技术》 2008年第10期12-13,47,共3页
为了提高低相干干涉技术(LCI)的测量精度,满足实际中高精度测量的要求,本文对LCI中的光拍频噪声进行了详细的理论研究、推导出拍频噪声的基本公式,并通过LabVIEW对噪声的性质进行仿真分析。结果表明:拍频噪声大小与光源功率的平方成正比... 为了提高低相干干涉技术(LCI)的测量精度,满足实际中高精度测量的要求,本文对LCI中的光拍频噪声进行了详细的理论研究、推导出拍频噪声的基本公式,并通过LabVIEW对噪声的性质进行仿真分析。结果表明:拍频噪声大小与光源功率的平方成正比,信噪比随光源功率线性增加并达到饱和值。 展开更多
关键词 低相干干涉 拍频噪声 LABVIEW 信噪比
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光学相干层析成像系统的实验研究 被引量:23
16
作者 袁韬 薛平 +2 位作者 谌一 陈炜 陈瓞延 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期1386-1389,共4页
介绍了作者研究建立的光学相干层析(OCT)成像系统, 给出了利用该系统得到的实际生物样品光学相干层析图像, 并对系统性能和结果作了分析, 讨论了影响系统性能的一些因素及改进方法。
关键词 光学相干层析 光学成像系统 低相干反射
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1300nm光学层析成像 被引量:3
17
作者 王新宇 张春平 +2 位作者 张连顺 薛玲玲 田建国 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期500-502,509,共4页
利用光学相干层析 (OCT)技术 ,可以透过混沌介质 ,特别是生物组织成像。本文介绍了我们建立的基于 130 0 nm波长稳定化光源的 OCT实验装置 ,并且该装置测量了金属丝样品在奶粉溶液和土豆片两种混沌介质的一维和二维成像情况。该装置具有... 利用光学相干层析 (OCT)技术 ,可以透过混沌介质 ,特别是生物组织成像。本文介绍了我们建立的基于 130 0 nm波长稳定化光源的 OCT实验装置 ,并且该装置测量了金属丝样品在奶粉溶液和土豆片两种混沌介质的一维和二维成像情况。该装置具有 2 0 μm的横向分辨率和 2 6 μm的轴向分辨率 ,并给出由 OCT信号重建的灰度图。 展开更多
关键词 光学相干层析 低相干光 混沌介质
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Comparison of central corneal thickness measurements with three new optical devices and a standard ultrasonic pachymeter 被引量:9
18
作者 Hasan Ali Bayhan Seray Aslan Bayhan Iz.zet Can 《International Journal of Ophthalmology(English edition)》 SCIE CAS 2014年第2期302-308,共7页
AIM:To compare the RTVue spectral optical coherence tomography(SD-OCT),Sirius Scheimpflug-Placido topographer,Lenstar optical low coherence reflectometry(OLCR)and ultrasound pachymetry(USP)devices in terms of their ag... AIM:To compare the RTVue spectral optical coherence tomography(SD-OCT),Sirius Scheimpflug-Placido topographer,Lenstar optical low coherence reflectometry(OLCR)and ultrasound pachymetry(USP)devices in terms of their agreement and repeatability of measuring central corneal thickness(CCT).METHODS:In this prospective study,50 eyes of 50patients were included.Three repeated measures were obtained using SD-OCT,Scheimpflug-Placido topographer and USP and five measurements were determined with the OLCR.Bland-Altman plots were used to assess agreement among the instruments,and 95%limits of agreement(LoA)for each comparison were calculated.Intra-examiner repeatability was assessed using intraclass correlation coefficients(ICCs).RESULTS:The mean CCT by SD-OCT,ScheimpflugPlacido topographer,OLCR,and USP were 525.90±34.08μm,525.92±34.10μm,530.30±35.62μm,and543.50±37.11μm respectively.All 4 modalities of CCT measurements correlated closely with each other,with Pearson correlation coefficients ranging from 0.977 to0.995.The mean differences(and upper/lower LoA)for CCT measurements were-0.05±6.77μm(13.3/-13.3)between SD-OCT and Scheimpflug-Placido topographer,4.38±3.79μm(11.8/-3.1)between OLCR and SD-OCT,4.38±6.03μm(16.2/-7.5)between OLCR and ScheimpflugPlacido topographer,13.20±6.46μm(25.9/0.5)between USP and OLCR,17.59±6.76μm(30.8/4.3)between USP and SD-OCT,and 17.58±8.13μm(33.5/1.6)between USP and Scheimpflug-Placido topographer.Intra-examiner repeatability was excellent for all devices with ICCs】0.98.CONCLUSION:For most practical purposes,CCT measurements with the RTVue,Sirius and Lenstar can be used interchangeably.Although highly correlated,CCTmeasurement differences between USP and these 3optical instruments can be significant depending on the clinical situation. 展开更多
关键词 central corneal thickness optical low coherence reflectometry spectral optical coherence tomography Scheimpflug-Placido topographer
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Lenstar LS900的临床应用进展 被引量:12
19
作者 沈政伟 薛林平 +2 位作者 莫婷 尹禾 姜黎 《国际眼科杂志》 CAS 2012年第11期2123-2125,共3页
近年来,各种眼部生物参数测量仪不断改进和更新,如非接触式光学相干生物测量仪(intraocular len-master,IOLMaster)、超声生物显微镜(ultrasound biomicroscope,UBM)、Pentacam眼前节综合分析系统(Pentacam)、光学相干断层成像术(optica... 近年来,各种眼部生物参数测量仪不断改进和更新,如非接触式光学相干生物测量仪(intraocular len-master,IOLMaster)、超声生物显微镜(ultrasound biomicroscope,UBM)、Pentacam眼前节综合分析系统(Pentacam)、光学相干断层成像术(optical coherence tomography,OCT)、Orbscan裂隙扫描角膜地形图(Orbscan)、LenstarLS900光学生物测量仪(Lenstar LS900)、伽利略双通道Scheimpflug眼前节分析仪(Galilei)、角膜内皮显微镜(specular microscope)、共聚焦显微镜(confocal microscope)等,每一种测量仪的测量原理及临床应用范围各有不同。本文主要对新型的基于低相干光反射(optical low coherencere flectometry,OLCR)原理设计的非接触式的光学生物测量仪Lenstar LS900的测量原理、使用方法及临床应用进展进行综述。 展开更多
关键词 LENSTAR 低相干光反射 原理 眼部生物参数
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OCT图像畸变的消除——相关峰值扫描重定位算法 被引量:6
20
作者 向际鹰 吴震 +3 位作者 骆清铭 曾绍群 张平 黄德修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期555-560,共6页
分析了 OCT系统中某些导致图像畸变的因素 ,提出了相应的补偿算法——“相关峰值扫描重定位算法”。从图像的相关峰值位置函数中 ,将样品本身灰度特征的变化规律和畸变特征用数字滤波的方法分离开来。分析了噪声对相关运算的影响及用灰... 分析了 OCT系统中某些导致图像畸变的因素 ,提出了相应的补偿算法——“相关峰值扫描重定位算法”。从图像的相关峰值位置函数中 ,将样品本身灰度特征的变化规律和畸变特征用数字滤波的方法分离开来。分析了噪声对相关运算的影响及用灰度门限抑制噪声的措施。讨论了算法的容错性 ,通过对重定位量加以限制 ,避免了严重错位引起的重定位阶跃失真。对算法存在的累积误差等局限性提出了改进建议。给出了畸变图像的恢复实例。 展开更多
关键词 弱相干层析 相关峰值扫描重定位 图像畸变
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