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液相先驱体转化法制备TaC抗烧蚀材料 被引量:22
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作者 相华 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期893-898,共6页
报道了一种通过液相先驱体转化制备碳化钽的方法.用XRD分析材料高温处理后的相组成及晶态结构;用SEM观察和表征材料的微观形貌.随树脂含量的增加,碳化钽有机先驱体溶液的固化时间缩短.900℃处理后生成细小Ta2O5晶体;经高温处理后,试... 报道了一种通过液相先驱体转化制备碳化钽的方法.用XRD分析材料高温处理后的相组成及晶态结构;用SEM观察和表征材料的微观形貌.随树脂含量的增加,碳化钽有机先驱体溶液的固化时间缩短.900℃处理后生成细小Ta2O5晶体;经高温处理后,试样转化成立方相TaC.TaC颗粒分布较均匀且基体碳有一定程度的石墨化.随着处理温度的升高,材料的气孔率降低、致密度增大、基体的石墨化程度增强、石墨碳增多且TaC颗粒粒度也明显增大.TaC颗粒是在高温处理过程中通过液相反应机制生成的,且有“扩散-团聚”现象发生. 展开更多
关键词 液相先驱体 抗烧蚀 碳化钽
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液相先驱体制备C/C-TaC复合材料 被引量:5
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作者 王毅 徐永东 +1 位作者 张立同 成来飞 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期541-543,551,共4页
采用液相先驱体,以3D针刺C/C多孔材料为反应基体,制备了C/C-TaC多元复合材料。采用XRD和SEM对C/C-TaC多元复合材料的相组成和显微结构进行了分析。结果表明,采用液相先驱体,以基体炭为炭源,简化了C/C-TaC制备工艺;经900℃预处理后,液相... 采用液相先驱体,以3D针刺C/C多孔材料为反应基体,制备了C/C-TaC多元复合材料。采用XRD和SEM对C/C-TaC多元复合材料的相组成和显微结构进行了分析。结果表明,采用液相先驱体,以基体炭为炭源,简化了C/C-TaC制备工艺;经900℃预处理后,液相先驱体固化产物转化为纳米级别的Ta2O5,有助于TaC合成反应的进行;提高反应温度有助于减少中间产物影响,至2 000℃可得到晶化度较高的化学计量比TaC。 展开更多
关键词 液相先驱体 C/C多孔材料 C/C—TaC多元复合材料
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碳酸钙在聚合物胶束控制下的仿生合成 被引量:5
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作者 朱文杰 蔡春华 林嘉平 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2011年第4期335-339,共5页
合成了温敏性的聚(N-异丙基丙烯酰胺)-b-聚(L-谷氨酸)(PNIPAM-b-PLGA)嵌段共聚物,在较高温度下制备了以PNIPAM为核、以PLGA为壳的自组装胶束,研究了胶束对碳酸钙晶体生长的控制作用.使用扫描电镜和X射线衍射表征了碳酸钙晶体的形貌和晶... 合成了温敏性的聚(N-异丙基丙烯酰胺)-b-聚(L-谷氨酸)(PNIPAM-b-PLGA)嵌段共聚物,在较高温度下制备了以PNIPAM为核、以PLGA为壳的自组装胶束,研究了胶束对碳酸钙晶体生长的控制作用.使用扫描电镜和X射线衍射表征了碳酸钙晶体的形貌和晶型.当聚合物胶束浓度较高时,得到纤维状的文石;当胶束浓度较低时,形成不规则的球霰石颗粒.通过对不同矿化时间下晶体结构的分析,探讨了矿化的机理和晶体的生长过程.发现聚合物胶束能够诱导形成碳酸钙的液态前驱体,前驱体通过固化、结晶形成不同结构的碳酸钙晶体. 展开更多
关键词 胶束 碳酸钙 液态前驱体 文石 球霰石
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含乙烯基的液态聚碳硅烷的结构与性能表征 被引量:5
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作者 王彦桥 宋永才 《有机硅材料》 CAS 2010年第2期85-88,共4页
以聚二甲基硅烷为原料,热分解得到液态聚碳硅烷(LPCS);然后与四甲基四乙烯基环四硅氧烷(D4^Vi)反应,合成了液态聚碳硅烷(LPVCS)。利用FT—IR、TG、XRD等分析手段对LPVCS及其陶瓷产物的组成、结构和热稳定性进行表征。结果表明... 以聚二甲基硅烷为原料,热分解得到液态聚碳硅烷(LPCS);然后与四甲基四乙烯基环四硅氧烷(D4^Vi)反应,合成了液态聚碳硅烷(LPVCS)。利用FT—IR、TG、XRD等分析手段对LPVCS及其陶瓷产物的组成、结构和热稳定性进行表征。结果表明,LPVCS中含有SiH及C=C活性基团,可在250~300℃固化,300℃固化质量保留率为89.2%,对应1000℃陶瓷产率为59.0%,1200cc陶瓷产物出β-SiC微晶。 展开更多
关键词 四甲基四乙烯基环四硅氧烷 聚碳硅烷 性能表征 液态 结构 聚二甲基硅烷 陶瓷产率 Β-SIC
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液相等离子喷涂制备纳米涂层的研究进展 被引量:4
5
作者 杨晖 陈礼洲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期58-60,64,共4页
液相等离子喷涂是当今纳米涂层制备技术的研究热点。根据液相前驱体的特性将其分为悬浮液、有机或无机溶液、溶胶,并比较了它们的优缺点和介绍了其研究进展;综述了该技术在SOFC、光催化、新一代热障涂层和超耐磨耐蚀涂层等方面的应用进... 液相等离子喷涂是当今纳米涂层制备技术的研究热点。根据液相前驱体的特性将其分为悬浮液、有机或无机溶液、溶胶,并比较了它们的优缺点和介绍了其研究进展;综述了该技术在SOFC、光催化、新一代热障涂层和超耐磨耐蚀涂层等方面的应用进展。机理研究、前驱体的制备和工艺优化将是该技术今后主要的研究方向。 展开更多
关键词 等离子喷涂 液相前驱体 纳米涂层
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液相先驱转化法制备锆掺杂C-C复合材料的研究 被引量:4
6
作者 石岳 刘辉 +1 位作者 迟伟东 沈曾民 《耐火材料》 CAS 北大核心 2010年第5期345-350,共6页
首先以八水氧氯化锆为原料合成了含锆液相先驱体,利用TG、XRD等研究了含锆液相先驱体的分解过程和产物;然后以含锆液相先驱体为浸渍剂对初始密度分别为1.0、1.2、1.4和1.6 g.cm-3的纯C-C复合材料进行浸渍处理,研究了锆掺杂C-C复合材料... 首先以八水氧氯化锆为原料合成了含锆液相先驱体,利用TG、XRD等研究了含锆液相先驱体的分解过程和产物;然后以含锆液相先驱体为浸渍剂对初始密度分别为1.0、1.2、1.4和1.6 g.cm-3的纯C-C复合材料进行浸渍处理,研究了锆掺杂C-C复合材料的密度和ZrO2含量变化以及锆在复合材料中的存在形式及分布状态,同时研究了锆掺杂C-C复合材料的抗氧化性能。结果表明:液相先驱体于1 000、1 600℃处理后完全转化为纳米的ZrO2和ZrC粒子,其中m-ZrO2、t-ZrO2、ZrC的晶粒尺寸分别为32、19、28 nm;纳米ZrO2均匀分布于C-C复合材料的表面、基体中与碳纤维表面;在生成ZrC的过程中,纳米ZrO2不仅与C-C复合材料中的基体碳相互作用,还和增强体碳纤维相互作用,使其表面产生缺陷和孔洞而降低了部分纤维的增强作用;但相比于纯C-C复合材料,锆掺杂C-C复合材料的抗氧化性能明显提高。 展开更多
关键词 C-C复合材料 液相先驱体 真空浸渍法 纳米氧化锆 纳米碳化锆 抗氧化性
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液相先躯体添加纳米活性炭制备纳米TaC粉末 被引量:3
7
作者 马明亮 沈卫平 +1 位作者 王青云 葛昌纯 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第A01期425-428,共4页
报道了一种向液相先躯体添加纳米活性炭来制备纳米TaC粉末的新方法。使用XRD和场发射扫描电镜来分析试样经不同温度和保温时间处理后的产物物相、结晶状态、微观形貌。结果表明,在温度1000℃,保温时间4h时就有少量TaC生成;而在温度1300... 报道了一种向液相先躯体添加纳米活性炭来制备纳米TaC粉末的新方法。使用XRD和场发射扫描电镜来分析试样经不同温度和保温时间处理后的产物物相、结晶状态、微观形貌。结果表明,在温度1000℃,保温时间4h时就有少量TaC生成;而在温度1300℃,保温时间0.5h时可以生成不含Ta2O5的纳米TaC粉末,TaC为面心立方相。纳米活性炭在用液相先驱体制备纳米TaC粉末的过程中,可以降低反应温度,促进反应进行,并可使产物TaC形成纳米颗粒。 展开更多
关键词 纳米TaC粉末 液相先躯体 纳米活性炭的作用
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液相聚合物前驱体法制备高熵碳化物纳米粉体 被引量:3
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作者 孙娅楠 叶丽 +5 位作者 赵文英 陈凤华 邱文丰 韩伟健 刘伟 赵彤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期393-398,共6页
高熵碳化物陶瓷是近年来发展的新型材料,由于具有高硬度、高模量和低热导率等优异性能而备受关注。液相聚合物前驱体法在陶瓷化过程中可以实现多元素的均匀分散,制备高熵陶瓷具有独特的优势,但是相关报道较少。本研究以金属醇盐为原料,... 高熵碳化物陶瓷是近年来发展的新型材料,由于具有高硬度、高模量和低热导率等优异性能而备受关注。液相聚合物前驱体法在陶瓷化过程中可以实现多元素的均匀分散,制备高熵陶瓷具有独特的优势,但是相关报道较少。本研究以金属醇盐为原料,通过可控水解缩合反应制备了金属醇盐共聚物溶液,加入碳源烯丙基酚醛(AN)后得到了澄清的粘稠液相高熵碳化物前驱体(PHEC),在真空下1800℃裂解2 h获得了(Ti,Zr,Hf,Ta)C高熵碳化物陶瓷纳米粉末。通过不同手段对前驱体和陶瓷粉体进行表征,结果表明:裂解温度低于800℃所获得的样品主要为t-ZrO_(2)及氧化物固溶体,1000℃开始发生碳热还原反应形成碳化物固溶体,温度升高至1800℃后转化为高熵碳化物陶瓷;所得陶瓷粉末纯度高,元素分布均匀,颗粒尺寸一致,粒径~100 nm。制备的液相陶瓷前驱体具有高陶瓷产率(28.6 wt%)和低黏度(150 mPa∙s)的特点,在极性溶剂中溶解性良好。所开发的液相前驱体法在制备高熵陶瓷纳米粉体、陶瓷纤维和陶瓷基复合材料领域具有重要应用价值。 展开更多
关键词 高熵陶瓷 碳化物 固溶体 纳米粉体 液相前驱体法
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含乙烯基液态超支化聚碳硅烷的合成、表征及陶瓷化 被引量:3
9
作者 曹适意 王军 王浩 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S1期380-382,共3页
采用"有核慢滴加法",以1,1,3,3-四氯-1,3-二硅丁烷(Cl2SiHCH2SiCl2CH3)为核,氯甲基三氯硅烷(Cl3SiCH2Cl)、乙烯基氯化镁(CH2=CHMgCl)为单体,经过格式偶联反应和还原反应制备了含乙烯基的液态聚碳硅烷(VHPCS)。利用FT-IR、NMR... 采用"有核慢滴加法",以1,1,3,3-四氯-1,3-二硅丁烷(Cl2SiHCH2SiCl2CH3)为核,氯甲基三氯硅烷(Cl3SiCH2Cl)、乙烯基氯化镁(CH2=CHMgCl)为单体,经过格式偶联反应和还原反应制备了含乙烯基的液态聚碳硅烷(VHPCS)。利用FT-IR、NMR、GPC、TGA、XRD与SEM等对VHPCS及其陶瓷产物进行了表征。结果表明,VHPCS具有超支化结构,热解能得到较致密的SiC陶瓷,1000℃陶瓷产率为85.9%(质量分数,下同),1200℃陶瓷产物开始出现β-SiC微晶。 展开更多
关键词 液态先驱体 超支化聚碳硅烷 乙烯基 碳化硅陶瓷
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浸渗掺杂技术制备彩色氧化锆陶瓷 被引量:3
10
作者 赵露 吴音 +3 位作者 郭兴国 高海宁 卢逸雪 刘若沖 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第S1期375-378,共4页
采用液相前驱体浸渗法掺杂技术,在Zr O_2坯体引入有色离子,通过扩散溶入基体,制备了颜色纯正、掺杂均匀的黑、蓝、粉、绿色氧化锆陶瓷。XRD分析表明,样品的主晶相为氧化锆四方相。采用CIE L*a*b*系统研究了样品的色度,确定4种颜色样品... 采用液相前驱体浸渗法掺杂技术,在Zr O_2坯体引入有色离子,通过扩散溶入基体,制备了颜色纯正、掺杂均匀的黑、蓝、粉、绿色氧化锆陶瓷。XRD分析表明,样品的主晶相为氧化锆四方相。采用CIE L*a*b*系统研究了样品的色度,确定4种颜色样品具有相应的色度。SEM分析表明晶粒粒度均匀,无明显缺陷。力学性能表明几种彩色陶瓷具有较高的强度和韧性。 展开更多
关键词 液相前驱体 浸渗 彩色氧化锆陶瓷 结构 性能
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硼化锆陶瓷前驱体法制备及其表征 被引量:3
11
作者 李运涛 陶雪钰 +2 位作者 邱文丰 赵京波 赵彤 《化学研究》 CAS 2010年第4期27-29,共3页
以聚乙酰丙酮锆(PZO)、硼酸、酚醛树脂为原料制备得到硼化锆液相前驱体;在1 400℃和氩气保护下使硼化锆前驱体发生碳热还原反应,得到硼化锆陶瓷.采用热重分析仪、X射线衍射仪、电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜表征了硼化锆前驱体... 以聚乙酰丙酮锆(PZO)、硼酸、酚醛树脂为原料制备得到硼化锆液相前驱体;在1 400℃和氩气保护下使硼化锆前驱体发生碳热还原反应,得到硼化锆陶瓷.采用热重分析仪、X射线衍射仪、电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜表征了硼化锆前驱体及热解陶瓷产物.结果表明,在相对较低的温度(1 400℃)下热解得到的硼化锆陶瓷纯度较高;硼化锆陶瓷材料整体呈小块状,由硼化锆晶体层层堆积而成,其晶粒尺寸约为200 nm. 展开更多
关键词 硼化锆陶瓷 液相前驱体 碳热还原反应 制备 表征
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ZrB_2/SiC前驱体的制备、表征及裂解行为 被引量:1
12
作者 葛凯凯 邱文丰 +3 位作者 韩伟健 叶丽 赵爱军 赵彤 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2050-2054,共5页
以聚锆氧烷为锆源,聚硼硅氮烷兼作硼源、硅源和碳源,通过共混得到ZrB2/SiC液相前驱体,该前驱体经高温裂解得到ZrB2/SiC复相陶瓷.对ZrB2/SiC前驱体的裂解行为、陶瓷产物结构及微观形貌进行了表征.结果表明, ZrB2/SiC前驱体经1400℃裂解... 以聚锆氧烷为锆源,聚硼硅氮烷兼作硼源、硅源和碳源,通过共混得到ZrB2/SiC液相前驱体,该前驱体经高温裂解得到ZrB2/SiC复相陶瓷.对ZrB2/SiC前驱体的裂解行为、陶瓷产物结构及微观形貌进行了表征.结果表明, ZrB2/SiC前驱体经1400℃裂解后保持无定形状态,1500℃处理后析出t-ZrO2晶体,1600℃时体系发生碳热还原反应生成ZrC,同时析出SiC晶体,1700℃时生成ZrB2,最终陶瓷产物晶相组成为ZrB2/SiC.在1500~2000℃范围内,随着处理温度的升高,陶瓷由致密结构变为多孔结构,最终陶瓷产物由尺寸为100~300 nm的纳米颗粒堆积而成,各元素分布均匀. 展开更多
关键词 液相前驱体 裂解 碳热还原 ZRB SiC复相陶瓷 纳米颗粒 多孔结构
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液相先驱体转化法制备ZrC粉末及合成机理 被引量:17
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作者 梅冰 苏勋家 +1 位作者 侯根良 王延斌 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期275-278,287,共5页
以氯氧化锆、丙醇、丙三醇和乙酰丙酮等为基本原料合成了锆的有机先驱体溶液,采用液相先驱体转化法在1 500℃制备了ZrC粉末。运用FTIR对锆的先驱体溶液的组成、结构以及形成机理进行了分析,用XRD和EDS分析了粉末的形成机理,用SEM观察了... 以氯氧化锆、丙醇、丙三醇和乙酰丙酮等为基本原料合成了锆的有机先驱体溶液,采用液相先驱体转化法在1 500℃制备了ZrC粉末。运用FTIR对锆的先驱体溶液的组成、结构以及形成机理进行了分析,用XRD和EDS分析了粉末的形成机理,用SEM观察了粉末的形貌。结果表明,有机锆的先驱体溶液具有螯和的链状或网状结构;先驱体溶液干燥后的粉末呈蜂窝状结构,在不同热处理温度下获得面心立方的ZrC粉末。经过热力学计算结果表明,C还原锆的氧化物开始生成ZrC的最低温度为1594℃,实验温度低于理论温度,在1500℃时获得面心立方的ZrC材料。 展开更多
关键词 ZrC粉末 先驱体 液相先驱体转化法 合成机理 热处理
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液相浸渗法制备Y-TZP/LaPO_4可加工复相陶瓷 被引量:8
14
作者 周振君 杨正方 +1 位作者 袁启明 李秀华 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期30-34,共5页
通过往ZrO2 多孔陶瓷浸渗LaPO4液态先驱液制备了具有可加工性的Y TZP/LaPO4复相陶瓷。加入 30 % (体积分数 )石墨可以得到具有35 % (体积分数 )开孔气孔率的ZrO2 预烧结陶瓷体。采用不同浸渗和热分解周期可以得到不同LaPO4含量的Y TZP/L... 通过往ZrO2 多孔陶瓷浸渗LaPO4液态先驱液制备了具有可加工性的Y TZP/LaPO4复相陶瓷。加入 30 % (体积分数 )石墨可以得到具有35 % (体积分数 )开孔气孔率的ZrO2 预烧结陶瓷体。采用不同浸渗和热分解周期可以得到不同LaPO4含量的Y TZP/LaPO4复相陶瓷。研究了该材料的可加工性和力学性能。结果表明 ,含有 3 5 %~ 7 5 % (体积分数 )LaPO4的Y TZP/LaPO4复相陶瓷具有良好的可加工性 。 展开更多
关键词 稀土 LAPO4 Y-TZP 可加工性 液相浸渗法 力学性能 复相陶瓷 二次烧成 磷酸镧 二氧化锆
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液相浸渗用多孔预制体制备的研究现状 被引量:3
15
作者 胡锐 朱冠勇 +1 位作者 毕晓勤 李金山 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2004年第5期53-57,共5页
多孔预制体是用液相浸渗法制备金属基复合材料最重要的组成部分,通过调节多孔预制体的孔隙率和孔结构,可以获得不同性能和组织的金属基复合材料,即多孔预制体是保证复合材料可设计性的前提。综述了各种类型的液相浸渗用多孔预制体的制... 多孔预制体是用液相浸渗法制备金属基复合材料最重要的组成部分,通过调节多孔预制体的孔隙率和孔结构,可以获得不同性能和组织的金属基复合材料,即多孔预制体是保证复合材料可设计性的前提。综述了各种类型的液相浸渗用多孔预制体的制备工艺,对液相浸渗用多孔预制体制备的研究现状进行了全面的评述,分析了成形压力、烧结规范、粘结剂、造孔剂及后续处理等因素对液相浸渗用多孔预制体质量产生的影响。 展开更多
关键词 多孔预制体 液相浸渗法 金属基复合材料 制备工艺
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液相先驱体转化结合溶胶凝胶法合成ZrC-SiC纳米复合粉体 被引量:5
16
作者 廉晓庆 隆万坤 +2 位作者 徐菊花 贾瑞强 彭龙贵 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期195-199,共5页
以八水合氧氯化锆为锆源、正硅酸乙酯为硅源、蔗糖为碳源,采用液相先驱体转化结合溶胶凝胶法合成ZrCSiC纳米复合粉体。借助傅立叶红外光谱仪分析了有机锆先驱体的官能团,借助X射线衍射仪和扫描电子显微镜研究了Si/Zr摩尔比对复合粉体物... 以八水合氧氯化锆为锆源、正硅酸乙酯为硅源、蔗糖为碳源,采用液相先驱体转化结合溶胶凝胶法合成ZrCSiC纳米复合粉体。借助傅立叶红外光谱仪分析了有机锆先驱体的官能团,借助X射线衍射仪和扫描电子显微镜研究了Si/Zr摩尔比对复合粉体物相组成与显微形貌的影响。研究表明:有机锆先驱体具有链状或网状结构;1450℃烧成并保温2h,Si/Zr摩尔比0.28时复合粉体中仍存在未反应的m-ZrO_2相,Si/Zr摩尔比增加至1.11、2.56、5.88、23.17时均合成了纯相ZrC-SiC纳米复合粉体;随着Si/Zr摩尔比的增加,复合粉体粒径变化不大;Si/Zr摩尔比为2.56时平均粒径仅90nm,且元素分布均匀。 展开更多
关键词 液相先驱体转化法 溶胶凝胶法 ZRC SiC 纳米粉体
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Preparation of Machinable Y-TZP/LaPO_4 Composite Ceramics by Liquid Precursor Infiltration 被引量:2
17
作者 周振君 杨正方 +1 位作者 袁启明 李秀华 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第3期197-203,共7页
A machinable Y TZP/LaPO 4 composite ceramic was prepared by infiltrating LaPO 4 liquid precursor into Y TZP porous ceramic. Sintered Y TZP ceramic preformed with 35% (volume fraction) open pore volume was made by... A machinable Y TZP/LaPO 4 composite ceramic was prepared by infiltrating LaPO 4 liquid precursor into Y TZP porous ceramic. Sintered Y TZP ceramic preformed with 35% (volume fraction) open pore volume was made by adding graphite (30%, volume fraction). The Y TZP/LaPO 4 composite ceramics containing different LaPO 4 contents were obtained by infiltration and pyrolysis cycles. The machinability and mechanical properties of materials were investigated. The results show that the machinable Y TZP/LaPO 4 composite ceramics containing 2 3% to 7.5% (volume fraction) LaPO 4 has good machinability as well as outstanding mechanical properties. 展开更多
关键词 rare earths lanthanum phosphate zirconia MACHINABILITY liquid precursor infiltration mechanical property
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液相前驱体转化法制备ZrC及其表征 被引量:3
18
作者 李庆刚 程新 +1 位作者 王志 史国普 《济南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2013年第3期221-224,共4页
采用前驱体转化法,在1 600℃下碳热还原反应热解含锆前驱体,制备碳化锆(ZrC)粉末,研究其裂解工艺,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(ESM)及场发射投射电子显微镜(TEM),对ZrC粉末的相组成及显微结构进行表征和分析。结果表明,经1 60... 采用前驱体转化法,在1 600℃下碳热还原反应热解含锆前驱体,制备碳化锆(ZrC)粉末,研究其裂解工艺,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(ESM)及场发射投射电子显微镜(TEM),对ZrC粉末的相组成及显微结构进行表征和分析。结果表明,经1 600℃热处理后获得面心立方的ZrC粉末为颗粒状球形,粒径≤100 nm,粒径及分布状况均较均匀。 展开更多
关键词 液相前驱体转化 碳化锆粉末 热处理
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等离子体增强液态源MOCVD系统的研制 被引量:1
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作者 刘卫国 周顺 +3 位作者 高爱华 张伟 张雄星 金娜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期476-480,共5页
本文介绍了一台新型等离子体增强液态源MOCVD系统。系统由液态源汽化装置、反应室、等离子体产生装置、真空系统及自动控制系统等主要部分组成。该系统采用了由超声雾化器和加热腔组成的液态源汽化装置,将液态源转变成气态供给反应室沉... 本文介绍了一台新型等离子体增强液态源MOCVD系统。系统由液态源汽化装置、反应室、等离子体产生装置、真空系统及自动控制系统等主要部分组成。该系统采用了由超声雾化器和加热腔组成的液态源汽化装置,将液态源转变成气态供给反应室沉积薄膜。为了提高金属有机物的化学反应活性,在有布气盒结构的反应室基础上,引入了射频等离子体。真空控制采用了由蝶阀、真空规和机械增压泵组成的闭环控制系统。自动控制系统的设计基于PLC和触摸屏,通过触摸屏完成工艺参数设置及实时数据显示,通过PLC完成系统控制。使用该液体输送MOCVD系统在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了锆钛酸铅铁电薄膜。实际应用证明,该系统结构紧凑,高度自动化以及控制灵活,适合于制备高质量的复合金属氧化物薄膜。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 汽化器 氧化物铁电薄膜
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均相溶胶体系合成用于异丙醇脱水的T型分子筛膜 被引量:1
20
作者 刘义 张慧智 +4 位作者 张家友 张飞 桂田 胡娜 陈祥树 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期316-324,共9页
采用均相合成溶胶体系通过两步变温法在廉价莫来石支撑体上制备了厚度为5μm薄且致密的T型分子筛膜。考察了均相溶胶体系、合成温度和合成时间对所制备膜的晶体形貌以及渗透汽化的影响。结果表明:最优条件下制备的T型分子筛膜在348 K、... 采用均相合成溶胶体系通过两步变温法在廉价莫来石支撑体上制备了厚度为5μm薄且致密的T型分子筛膜。考察了均相溶胶体系、合成温度和合成时间对所制备膜的晶体形貌以及渗透汽化的影响。结果表明:最优条件下制备的T型分子筛膜在348 K、水/异丙醇质量比为10/90的混合体系中表现的渗透通量和分离因子分别高达4.3 kg/(m2·h)和2000,且该膜具有良好的重复性和水热稳定性。 展开更多
关键词 分子筛膜 均相溶胶 两步变温晶化 晶体生长 渗透汽化
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