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印制电路厚铜线路蚀刻效果的研究
被引量:
5
1
作者
李高升
陈苑明
+5 位作者
何为
王守绪
艾克华
李清华
唐鑫
李长生
《印制电路信息》
2018年第7期17-21,共5页
考察了厚铜蚀刻深度与宽度随蚀刻时间的变化,研究了厚铜设计线距变化对侧蚀程度的影响。基于不完全蚀刻设计,对比三种计算厚铜蚀刻均匀性方法的差异,分析设计线距与蚀刻因子的相互关系。结果表明蚀刻因子随设计线距的增大而增大,线宽偏...
考察了厚铜蚀刻深度与宽度随蚀刻时间的变化,研究了厚铜设计线距变化对侧蚀程度的影响。基于不完全蚀刻设计,对比三种计算厚铜蚀刻均匀性方法的差异,分析设计线距与蚀刻因子的相互关系。结果表明蚀刻因子随设计线距的增大而增大,线宽偏差随设计线距增大而减小。
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关键词
厚铜线路
蚀刻
蚀刻因子
线宽偏差
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职称材料
题名
印制电路厚铜线路蚀刻效果的研究
被引量:
5
1
作者
李高升
陈苑明
何为
王守绪
艾克华
李清华
唐鑫
李长生
机构
电子科技大学材料与能源学院
四川英创力电子科技股份有限公司
四川省华兴宇电子科技有限公司
出处
《印制电路信息》
2018年第7期17-21,共5页
文摘
考察了厚铜蚀刻深度与宽度随蚀刻时间的变化,研究了厚铜设计线距变化对侧蚀程度的影响。基于不完全蚀刻设计,对比三种计算厚铜蚀刻均匀性方法的差异,分析设计线距与蚀刻因子的相互关系。结果表明蚀刻因子随设计线距的增大而增大,线宽偏差随设计线距增大而减小。
关键词
厚铜线路
蚀刻
蚀刻因子
线宽偏差
Keywords
Thick
Copper
Circuit
Etching
Etching
Factor
line width
difference
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
印制电路厚铜线路蚀刻效果的研究
李高升
陈苑明
何为
王守绪
艾克华
李清华
唐鑫
李长生
《印制电路信息》
2018
5
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