-
题名激光聚集方法在纳米计量领域的应用
被引量：3
- 1
-
-
作者
谢初南
傅云霞
李源
-
机构
上海市计量测试技术研究院
-
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2008年第S2期190-195,共6页
-
基金
国家质检总局科技计划项目:纳米测量机在半导体领域的应用(DOORJ0704)
-
文摘
本文主要描述激光聚焦方法在纳米计量领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测量验证,并对测量过程中对结果造成影响的因素做出不确定度分析,测量结果通过En评估法与国际计量机构(如PTB和NIST)提供的标准值比对后得出所有En比对值均低0.5,从而证实该方法对台阶测量是非常有效的。
-
关键词
激光聚焦方法
纳米测量机
纳米计量
-
Keywords
laser focus method
Nanomeasuring Machine
Nano Metrology
-
分类号
TH711.1
[机械工程—测试计量技术及仪器]
TN249
[机械工程—仪器科学与技术]
-
-
题名弹头发射痕迹非接触三维检测仪
被引量：3
- 2
-
-
作者
李旦
杨练根
谢铁邦
-
机构
华中科技大学
-
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期347-350,共4页
-
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 175 0 3 7)
-
文摘
本文介绍一种新研制的数字伺服聚焦式弹头发射痕迹非接触三维检测仪的原理、结构、控制以及实验结果。该系统垂直测量范围为± 1mm ,垂直分辨率为 30nm ,聚焦光束直径为 1μm 。
-
关键词
弹头
发射痕迹
非接触检测仪
枪弹
结构
工作原理
光学传感器
控制电路
执行机构
音圈电机
数字伺服
-
Keywords
instrument and meter, laser focus detection method, digital servo control, PID algorithm, bullet mark, 3D surface topography
-
分类号
TJ411
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
TJ012
-
-
题名一种精确测量透镜焦距的方法
被引量：1
- 3
-
-
作者
赵斌
郭平
严俊
-
机构
武汉食品工业学院实验教学部
-
出处
《武汉食品工业学院学报》
1997年第2期79-83,共5页
-
文摘
介绍了在测量透镜焦距实验中，改常规光源为激光光源，使焦点更为集中，从而提高测量精度的方法。
-
关键词
激光束
透镜焦距
测量方法
-
Keywords
laser beam focus of lens method of measuring
-
分类号
O432.2
[机械工程—光学工程]
-
