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La_(0.6)Sr_(0.4)CoO_3薄膜的制备及NTC特性研究
被引量：
1
1
作者
娄非志
杨传仁
+2 位作者
杨莉军
张继华
陈宏伟
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期4-6,共3页
为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0.6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6Sr0.4CoO3(LSCO)薄膜。研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性。...
为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0.6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6Sr0.4CoO3(LSCO)薄膜。研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性。结果表明:随着氩氧体积流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰强度及方阻均先增大后减小。LSCO薄膜具有显著的NTC特性,室温时的电阻温度系数α25为2.24×10–5;其lnR-T–1曲线具备良好的线形度,线性偏差仅为2.09%;另外,其室温时的电阻R25仅为18.75k?。
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关键词
la
0.
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sr
0.
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coo
3薄膜
RF磁控溅射法
结晶性能
NTC特性
下载PDF
职称材料
La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的制备及其电学性能
2
作者
张利文
丁铁柱
+1 位作者
王强
姜涛
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A02期551-553,共3页
采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆（YSZ）和SiO2衬底上溅射＜薄膜，测试了不同工艺制备的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜样品的XRD谱和电导率。分析了薄膜表面微结构以及电学性能。结果表明：在YSZ衬底上生长的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜随着...
采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆（YSZ）和SiO2衬底上溅射＜薄膜，测试了不同工艺制备的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜样品的XRD谱和电导率。分析了薄膜表面微结构以及电学性能。结果表明：在YSZ衬底上生长的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜随着热处理温度的升高取向增强，当薄膜经过750℃热处理后结晶度最好；各样品直流电导率在低温段的Arrhenius曲线近似为直线，表明材料的导电行为符合小极化子导电机制；交流电导率在低频段（＜100kHz）电导率主要是靠晶界导电贡献的，而在高频区（＞100kHz），样品对交流电响应更加明显，电导率主要是靠晶粒导电贡献的。
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关键词
la
0.5
sr
0.5
coo
3
-δ薄膜
XRD
电导率
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职称材料
题名
La_(0.6)Sr_(0.4)CoO_3薄膜的制备及NTC特性研究
被引量：
1
1
作者
娄非志
杨传仁
杨莉军
张继华
陈宏伟
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期4-6,共3页
基金
广东省教育部产学研结合重大专项资助项目(No.2009A090100003)
文摘
为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0.6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6Sr0.4CoO3(LSCO)薄膜。研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性。结果表明:随着氩氧体积流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰强度及方阻均先增大后减小。LSCO薄膜具有显著的NTC特性,室温时的电阻温度系数α25为2.24×10–5;其lnR-T–1曲线具备良好的线形度,线性偏差仅为2.09%;另外,其室温时的电阻R25仅为18.75k?。
关键词
la
0.
6
sr
0.
4
coo
3薄膜
RF磁控溅射法
结晶性能
NTC特性
Keywords
la
0.
6
sr
0.4
coo
3
thin
films
RF
magnetron
sputtering
method
crystallization
behavior
NTC
behavior
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的制备及其电学性能
2
作者
张利文
丁铁柱
王强
姜涛
机构
内蒙古大学理工学院物理系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第A02期551-553,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目（10464001）.
文摘
采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆（YSZ）和SiO2衬底上溅射＜薄膜，测试了不同工艺制备的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜样品的XRD谱和电导率。分析了薄膜表面微结构以及电学性能。结果表明：在YSZ衬底上生长的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜随着热处理温度的升高取向增强，当薄膜经过750℃热处理后结晶度最好；各样品直流电导率在低温段的Arrhenius曲线近似为直线，表明材料的导电行为符合小极化子导电机制；交流电导率在低频段（＜100kHz）电导率主要是靠晶界导电贡献的，而在高频区（＞100kHz），样品对交流电响应更加明显，电导率主要是靠晶粒导电贡献的。
关键词
la
0.5
sr
0.5
coo
3
-δ薄膜
XRD
电导率
Keywords
la
0.5
sr
0.5
coo
3-δ
thin
films
XRD
conductivity
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
La_(0.6)Sr_(0.4)CoO_3薄膜的制备及NTC特性研究
娄非志
杨传仁
杨莉军
张继华
陈宏伟
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
2
La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的制备及其电学性能
张利文
丁铁柱
王强
姜涛
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
已选择
0
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引证文献
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