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LV/HV N-Well BiCMOS[B]芯片与制程结构
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作者 潘桂忠 《集成电路应用》 2018年第3期40-44,共5页
LV/HV N-Well BiCMOS[B]技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容的BiCMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到高电压。采用MO... LV/HV N-Well BiCMOS[B]技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容的BiCMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区的长度,宽度,结深度以及掺杂浓度等可以得到高电压。采用MOS集成电路芯片结构设计、工艺与制造技术,依该技术得到了芯片制程结构。 展开更多
关键词 集成电路制造 偏置栅结构 lv/hvn-wellbicmos[b] 芯片结构 制程剖面结构
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