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一种热壁LPTEOS设备自动供液系统 被引量：3
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作者 李海燕 唐绍根 +2 位作者 李文 李志成 崔伟 《微电子学》 CAS 北大核心 2019年第2期284-287,共4页
介绍了一种自主开发的自动供液系统。该系统适用于多台SVG7000热壁LPTEOS立式炉。详细介绍了系统的结构、原理及动作流程等。与传统的自动供液系统相比,该系统增加了多回路控制,优化了自动供液的时间,可同时控制多台设备,并保持每次运... 介绍了一种自主开发的自动供液系统。该系统适用于多台SVG7000热壁LPTEOS立式炉。详细介绍了系统的结构、原理及动作流程等。与传统的自动供液系统相比,该系统增加了多回路控制,优化了自动供液的时间,可同时控制多台设备,并保持每次运行程序前设备液态源液位一致。对使用该系统前后设备运行的数据进行对比,发现该自动供液系统将立式炉的稳定性提升了10%以上。 展开更多
关键词 lpteos 立式炉 自动供液系统 稳定性
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