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液晶光学相控阵的高功率波束指向特性研究
被引量:
1
1
作者
张梦雪
王浩
汪相如
《遥测遥控》
2022年第4期15-24,共10页
针对液晶光学相控阵LCOPA(Liquid Crystal Optical Phased Array)在高功率激光入射场景下的波束指向特性,构建了LCOPA的热力学模型,利用Ericksen Leslie动力学理论和液晶材料的温度特性,对不同入射激光功率和不同液晶材料条件下LCOPA的...
针对液晶光学相控阵LCOPA(Liquid Crystal Optical Phased Array)在高功率激光入射场景下的波束指向特性,构建了LCOPA的热力学模型,利用Ericksen Leslie动力学理论和液晶材料的温度特性,对不同入射激光功率和不同液晶材料条件下LCOPA的近场相位分布、远场偏转效率和偏转响应过程进行数值仿真分析。结果表明,当入射激光功率从50 W增加到110 W时,近场相位分布趋于恶化,远场偏转效率从96.8%下降到41.3%;5PCH、UCF-35、MLC-624-000三种液晶材料的温度敏感性逐渐减弱,远场偏转效率分别为41.3%、92.3%、98.8%;同时,入射激光功率的增加会缩短相控阵器件的下降时间,而对其上升时间和切换时间无明显影响。
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关键词
lcopa
高功率激光
相位恶化
响应时间
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职称材料
可实现二维光束偏转的液晶相控阵模型
被引量:
2
2
作者
胡婕
杜升平
+1 位作者
郭弘扬
任曦
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期248-253,共6页
针对常用的闪耀光栅模型只能实现一维光束偏转、分布不匀、偏转范围离散的不足,本文提出了一种基于微波相控阵的液晶二维光束偏转模型。该方法通过直接控制电极相位差来改变光束偏转方向。在进行有效精确的光束偏转前,需要对输出量进行...
针对常用的闪耀光栅模型只能实现一维光束偏转、分布不匀、偏转范围离散的不足,本文提出了一种基于微波相控阵的液晶二维光束偏转模型。该方法通过直接控制电极相位差来改变光束偏转方向。在进行有效精确的光束偏转前,需要对输出量进行线性度和耦合度测试。结果表明该方法具有很好的线性度,二维方向上存在一定的耦合度。接着对二维偏转精度进行了实验,结果表明在2.1 mrad偏转范围内实现了在x方向上优于14的连续偏转,以及在y方向上优于12的连续偏转。最后,本文在一维偏转的基础上,实验并分析了相位图的旋转角度对偏转精度的影响。因为探测器分辨率以及耦合度的影响,提高偏转精度可以通过利用高分辨率的探测器或对解耦技术进行研究。
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关键词
二维光束偏转
液晶相控阵
偏转精度
耦合度
原文传递
液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺
3
作者
尹聿海
徐林
+5 位作者
王鹏
罗媛
杨宁
史俊锋
于明岩
陈宝钦
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第8期542-547,共6页
基于液晶光学相控阵(LCOPA)电极基板的子阵列连接方案,利用电子束直写和激光直写混合光刻技术,进行了通光区域电极条纹、外围电路和子阵列联络孔的微纳米加工工艺研究。结果表明利用激光直写技术,可以形成最小线宽0.5μm的液晶光学相控...
基于液晶光学相控阵(LCOPA)电极基板的子阵列连接方案,利用电子束直写和激光直写混合光刻技术,进行了通光区域电极条纹、外围电路和子阵列联络孔的微纳米加工工艺研究。结果表明利用激光直写技术,可以形成最小线宽0.5μm的液晶光学相控阵电极图案,曝光时长48 min,具备可制造性。利用富含导电颗粒的SX AR-PC5000/90.1涂层,可以有效解决电子束在绝缘玻璃基底上直写时由电荷积累所产生的电子束曝光场拼接偏移与火花放电等问题,保证了电子束直接曝光子阵列电极上下导电层之间的联络孔套刻精度。利用特定电子束直写对准标记,解决了绝缘体表面在混合光刻中套刻对位精度问题。
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关键词
液晶光学相控阵(
lcopa
)
微纳加工
子阵列寻址
电子束直写光刻
激光直写光刻
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职称材料
题名
液晶光学相控阵的高功率波束指向特性研究
被引量:
1
1
作者
张梦雪
王浩
汪相如
机构
电子科技大学光电科学与工程学院
出处
《遥测遥控》
2022年第4期15-24,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(61775026,61871031)
国家重点研发计划(2018YFA0307400)。
文摘
针对液晶光学相控阵LCOPA(Liquid Crystal Optical Phased Array)在高功率激光入射场景下的波束指向特性,构建了LCOPA的热力学模型,利用Ericksen Leslie动力学理论和液晶材料的温度特性,对不同入射激光功率和不同液晶材料条件下LCOPA的近场相位分布、远场偏转效率和偏转响应过程进行数值仿真分析。结果表明,当入射激光功率从50 W增加到110 W时,近场相位分布趋于恶化,远场偏转效率从96.8%下降到41.3%;5PCH、UCF-35、MLC-624-000三种液晶材料的温度敏感性逐渐减弱,远场偏转效率分别为41.3%、92.3%、98.8%;同时,入射激光功率的增加会缩短相控阵器件的下降时间,而对其上升时间和切换时间无明显影响。
关键词
lcopa
高功率激光
相位恶化
响应时间
Keywords
lcopa
High power laser
Phase deterioration
Response time
分类号
O436.4 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
可实现二维光束偏转的液晶相控阵模型
被引量:
2
2
作者
胡婕
杜升平
郭弘扬
任曦
机构
中国科学院光束控制重点实验室
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第3期248-253,共6页
基金
中科院先导项目量子通信资助(KX-002)资助项目。
文摘
针对常用的闪耀光栅模型只能实现一维光束偏转、分布不匀、偏转范围离散的不足,本文提出了一种基于微波相控阵的液晶二维光束偏转模型。该方法通过直接控制电极相位差来改变光束偏转方向。在进行有效精确的光束偏转前,需要对输出量进行线性度和耦合度测试。结果表明该方法具有很好的线性度,二维方向上存在一定的耦合度。接着对二维偏转精度进行了实验,结果表明在2.1 mrad偏转范围内实现了在x方向上优于14的连续偏转,以及在y方向上优于12的连续偏转。最后,本文在一维偏转的基础上,实验并分析了相位图的旋转角度对偏转精度的影响。因为探测器分辨率以及耦合度的影响,提高偏转精度可以通过利用高分辨率的探测器或对解耦技术进行研究。
关键词
二维光束偏转
液晶相控阵
偏转精度
耦合度
Keywords
2-D beam control
lcopa
deflection precision
coupling
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺
3
作者
尹聿海
徐林
王鹏
罗媛
杨宁
史俊锋
于明岩
陈宝钦
机构
中国南方工业研究院
中国科学院微电子所微细加工与纳米技术研究室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第8期542-547,共6页
文摘
基于液晶光学相控阵(LCOPA)电极基板的子阵列连接方案,利用电子束直写和激光直写混合光刻技术,进行了通光区域电极条纹、外围电路和子阵列联络孔的微纳米加工工艺研究。结果表明利用激光直写技术,可以形成最小线宽0.5μm的液晶光学相控阵电极图案,曝光时长48 min,具备可制造性。利用富含导电颗粒的SX AR-PC5000/90.1涂层,可以有效解决电子束在绝缘玻璃基底上直写时由电荷积累所产生的电子束曝光场拼接偏移与火花放电等问题,保证了电子束直接曝光子阵列电极上下导电层之间的联络孔套刻精度。利用特定电子束直写对准标记,解决了绝缘体表面在混合光刻中套刻对位精度问题。
关键词
液晶光学相控阵(
lcopa
)
微纳加工
子阵列寻址
电子束直写光刻
激光直写光刻
Keywords
liquid crystal optical phased array (
lcopa
)
micronano manufacturing
sub-arrayaddressing
electron beam lithography
laser beam lithography
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
液晶光学相控阵的高功率波束指向特性研究
张梦雪
王浩
汪相如
《遥测遥控》
2022
1
下载PDF
职称材料
2
可实现二维光束偏转的液晶相控阵模型
胡婕
杜升平
郭弘扬
任曦
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
原文传递
3
液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺
尹聿海
徐林
王鹏
罗媛
杨宁
史俊锋
于明岩
陈宝钦
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014
0
下载PDF
职称材料
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