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高压隔离开关电触头性能改善探讨 被引量:29
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作者 凌颖 赵莉华 +1 位作者 林显 唐婷婷 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期101-105,共5页
在分析中国高压隔离开关电触头运行问题的基础上,对国内外隔离开关电触头性能改善的技术和生产工艺进行了总结。提出了采用碳离子注入方法改善高压隔离开关银基电触头耐磨性、导电性、抗氧化性的方案,为中国高压设备企业改善高压隔离开... 在分析中国高压隔离开关电触头运行问题的基础上,对国内外隔离开关电触头性能改善的技术和生产工艺进行了总结。提出了采用碳离子注入方法改善高压隔离开关银基电触头耐磨性、导电性、抗氧化性的方案,为中国高压设备企业改善高压隔离开关性能提供了新的思路。 展开更多
关键词 高压隔离开关 电触头 离子注入 碳离子
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微生物油脂花生四烯酸产生菌离子束诱变和发酵调控 被引量:16
2
作者 余增亮 王纪 +5 位作者 袁成凌 黄青 冯慧云 贡国鸿 郑之明 姚建铭 《科学通报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期883-890,共8页
某些微生物是高质量油脂的生产者.微生物油脂不仅有益健康,而且是生物柴油潜在的油脂来源.中国是个油脂资源缺乏的国家,开发微生物源油脂具有重要的意义.本文以产油微生物——高山被孢霉菌为出发菌,以单细胞油脂多不饱和脂肪酸产率为筛... 某些微生物是高质量油脂的生产者.微生物油脂不仅有益健康,而且是生物柴油潜在的油脂来源.中国是个油脂资源缺乏的国家,开发微生物源油脂具有重要的意义.本文以产油微生物——高山被孢霉菌为出发菌,以单细胞油脂多不饱和脂肪酸产率为筛选目标,采用二步离子束诱变-筛选的策略,获得了高产菌株.研究了高产菌株的营养需求,创建了重复利用提油后的残体(菌粕)合成微生物油脂的技术.针对丝状真菌高密度发酵的传能和传质问题,研制了6×50和4×200m3大容量专用反应器组,单位发酵容积生物量达38.2g/L(发酵液)、油脂20.67g/L.其中具有重要生理活性的花生四烯酸产率最高达9.89g/L,平均为8.97g/L.花生四烯酸提取和精炼后的残油转化为生物柴油,主要指标达到国家生物柴油标准. 展开更多
关键词 单细胞油脂 高山被孢霉菌 离子注入 花生四烯酸 生物柴油
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p型ZnO薄膜的制备及特性 被引量:11
3
作者 王楠 孔春阳 +4 位作者 朱仁江 秦国平 戴特力 南貌 阮海波 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期5974-5978,共5页
采用射频磁控溅射在Si片上制备ZnO薄膜,通过离子注入对样品进行N掺杂,在不同温度下进行退火并实现了p型转变.用扫描电子显微镜、X射线衍射和Hall测量对薄膜进行了表征,结果表明薄膜具有良好的表面形貌和高度c轴择优取向,退火后p型ZnO薄... 采用射频磁控溅射在Si片上制备ZnO薄膜,通过离子注入对样品进行N掺杂,在不同温度下进行退火并实现了p型转变.用扫描电子显微镜、X射线衍射和Hall测量对薄膜进行了表征,结果表明薄膜具有良好的表面形貌和高度c轴择优取向,退火后p型ZnO薄膜的最高载流子浓度和最低电阻率分别为1.68×1016cm-3和41.5Ω.cm.讨论并分析了退火温度和时间对ZnO薄膜p型转变的影响. 展开更多
关键词 离子注入 P型ZNO薄膜 退火 射频磁控溅射
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金属镍高温氧化机理及稀土元素效应研究 被引量:8
4
作者 靳惠明 陈荣发 +1 位作者 张剑峰 FELIX A Conrado 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期7-10,共4页
对纯镍及其表面离子注钇试样在1000℃空气中的恒温氧化和循环氧化行为进行了研究。用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对氧化膜的表面形貌及结构进行了观测。此外,用声发射(AE)技术研究了氧化膜/基体界面上缺陷的分布情况,并用激光拉曼(Ram... 对纯镍及其表面离子注钇试样在1000℃空气中的恒温氧化和循环氧化行为进行了研究。用扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对氧化膜的表面形貌及结构进行了观测。此外,用声发射(AE)技术研究了氧化膜/基体界面上缺陷的分布情况,并用激光拉曼(Raman)谱对注钇引起的膜内应力变化进行了测量。结果表明:离子注钇降低了NiO氧化膜的生长速率,提高了镍的抗氧化性能;离子注钇减小了表面NiO的晶粒尺寸,降低了膜内压应力水平;离子注钇还减小了氧化膜/基体界面缺陷的平均尺寸和数目,因而极大地提高了镍表面NiO氧化膜的粘附性和保护性。 展开更多
关键词 氧化 离子注入 声发射 激光拉曼
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离子注入诱导量子阱界面混合效应的光致荧光谱研究 被引量:7
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作者 陈贵宾 陆卫 +7 位作者 缪中林 李志锋 蔡炜颖 沈学础 陈昌明 朱德彰 胡钧 李明乾 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期659-662,共4页
采用多元芯片方法获得了一系列不同离子注入剂量的GaAs AlGaAs非对称耦合量子阱单元 ,通过光致荧光谱测量 ,研究了单纯的离子注入导致的界面混合效应 .荧光光谱行为与有效质量理论计算研究表明 ,Al原子在异质结界面的扩散在离子注入过... 采用多元芯片方法获得了一系列不同离子注入剂量的GaAs AlGaAs非对称耦合量子阱单元 ,通过光致荧光谱测量 ,研究了单纯的离子注入导致的界面混合效应 .荧光光谱行为与有效质量理论计算研究表明 ,Al原子在异质结界面的扩散在离子注入过程中已基本完成 ,而热退火作用主要是去除无辐射复合中心 . 展开更多
关键词 量子阱 离子注入 光致荧光谱 界面混合效应 半导体 异质结结构体系
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碳化硅中氦离子高温注入引入的缺陷及其退火行为的光谱研究 被引量:8
6
作者 张洪华 张崇宏 +3 位作者 李炳生 周丽宏 杨义涛 付云翀 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期3302-3308,共7页
对氦(He)离子高温(600K)注入6H-SiC中的辐照缺陷,在阶梯温度退火后演化行为的拉曼光谱和室温光致发光谱的特征进行了分析.这两种方法的实验结果表明,离子注入所产生晶格损伤的程度与注入剂量有关;高温退火导致损伤的恢复,不同注入剂量... 对氦(He)离子高温(600K)注入6H-SiC中的辐照缺陷,在阶梯温度退火后演化行为的拉曼光谱和室温光致发光谱的特征进行了分析.这两种方法的实验结果表明,离子注入所产生晶格损伤的程度与注入剂量有关;高温退火导致损伤的恢复,不同注入剂量造成的晶格损伤需要不同的退火温度才可恢复.在阶梯温度退火下呈现出了点缺陷的复合、氦-空位团的产生、氦泡的形核、长大等特性.研究表明:高温(600K)注入在一定剂量范围内是避免注入层非晶化的一个重要方法,为后续利用氦离子注入空腔掩埋层吸杂或者制备低成本、低缺陷密度的绝缘层上碳化硅(SiCOI)材料提供了可能. 展开更多
关键词 6H-SIC 离子注入 拉曼光谱 光致发光谱
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锆合金表面改性研究进展 被引量:7
7
作者 张向宇 白新德 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期841-844,共4页
综述了目前锆合金表面改性方面研究的进展状况。主要对表面预膜、离子注入和激光表面处理等3种方法进行总结。其中表面预膜主要简介了高压釜预膜、表面镀膜和阳极氧化等3种方法的研究现状;离子注入方面介绍了Y,La,Nb等离子注入对锆合金... 综述了目前锆合金表面改性方面研究的进展状况。主要对表面预膜、离子注入和激光表面处理等3种方法进行总结。其中表面预膜主要简介了高压釜预膜、表面镀膜和阳极氧化等3种方法的研究现状;离子注入方面介绍了Y,La,Nb等离子注入对锆合金的改性效果及其原理;激光表面处理方面介绍了激光表面熔覆和激光表面合金化2种方法在锆合金表面改性方面的研究进展。 展开更多
关键词 锆合金 表面改性 离子注入 阳极氧化 激光表面处理
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Kr离子注入SiC的拉曼光谱研究 被引量:7
8
作者 徐超亮 张崇宏 +4 位作者 李炳生 张丽卿 杨义涛 韩录会 贾秀军 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期209-214,共6页
应用拉曼光谱研究了5 MeV Kr离子(注量分别为5×1013,2×1014,1×1015ions/cm2)室温注入6 H-SiC单晶及其高温退火处理后结构的变化。研究表明,注入样品的拉曼光谱中不仅出现了Si—C振动的散射峰,还产生了同核Si—Si键和C—... 应用拉曼光谱研究了5 MeV Kr离子(注量分别为5×1013,2×1014,1×1015ions/cm2)室温注入6 H-SiC单晶及其高温退火处理后结构的变化。研究表明,注入样品的拉曼光谱中不仅出现了Si—C振动的散射峰,还产生了同核Si—Si键和C—C键散射峰。Si—C散射峰强度随退火温度升高而增强,当退火温度高达1000℃时,已接近未辐照SiC的散射峰强度。晶体Si—Si键散射峰强度随退火温度变化不大,而非晶Si—Si键散射峰强度随退火温度的增加逐渐消失。相对拉曼强度(Relative Raman Intensity,简称RRI)随注量的增加逐渐减小并趋于饱和,且不同退火温度样品的饱和注量不相同;RRI随退火温度的增加逐渐升高,这在低注量样品中表现得尤为明显。低、中、高3种注量样品的RRI随退火温度的增加从重合逐渐分离,并且退火温度越高,分离越大。 展开更多
关键词 6H-SIC 离子注入 拉曼光谱 相对拉曼强度
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苹果酒酵母菌的诱变试验 被引量:7
9
作者 宋安东 贾翠英 +1 位作者 陈红歌 吴云汉 《西北农林科技大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2004年第4期29-32,共4页
 以野生型苹果酒酵母菌Y02为出发菌株,以8×1015cm-2注入剂量对出发菌株Y02进行诱变处理,得到1株形态特征具有明显差别的特异突变株ION -11dry。发酵试验表明,该特异突变株的产酒率比出发菌株提高22.4%,是一株优良的产苹果酒酵母...  以野生型苹果酒酵母菌Y02为出发菌株,以8×1015cm-2注入剂量对出发菌株Y02进行诱变处理,得到1株形态特征具有明显差别的特异突变株ION -11dry。发酵试验表明,该特异突变株的产酒率比出发菌株提高22.4%,是一株优良的产苹果酒酵母菌菌株。对特异突变株与出发菌株在碳源同化、氮源同化、酵母菌菌体蛋白SDS-PAGE凝胶电泳等方面的研究结果表明,特异突变株ION -11dry是一株与出发菌株Y02有显著差别的优良菌株。 展开更多
关键词 苹果酒 酵母菌 诱变处理 离子注入 生物学特性
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离子注入GaN的拉曼散射研究 被引量:5
10
作者 张纪才 戴伦 +2 位作者 秦国刚 应丽贞 赵新生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期629-634,共6页
研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱 ,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰 ,如 2 98,36 2和 6 6 1cm- 1 峰的性质 ,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系 .上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素... 研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱 ,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰 ,如 2 98,36 2和 6 6 1cm- 1 峰的性质 ,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系 .上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低 .当注入剂量增大时 ,36 2和 6 6 1cm- 1 峰值强度减少 ,而 2 98cm- 1 峰值强度却增大 .随退火温度的升高 ,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低 .对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论 . 展开更多
关键词 离子注入 GAN 拉曼散射 局域振动 氮化镓
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离子束诱变木聚糖酶产生菌(Aspergillus niger A3)筛选方法的比较研究 被引量:7
11
作者 李市场 白爱枝 +2 位作者 姚建铭 潘仁瑞 余增亮 《激光生物学报》 CAS CSCD 2003年第2期149-152,共4页
木聚糖酶产生菌株的初筛方法主要分为平板法和液体发酵法。它们都有一定的优点和不足。找出适宜于离子束诱变育种的初筛方法,是必要而且是必须的。本文就木聚糖酶产生菌的几种初筛方法做了比较研究,以便找出适宜于离子束诱变高产木聚糖... 木聚糖酶产生菌株的初筛方法主要分为平板法和液体发酵法。它们都有一定的优点和不足。找出适宜于离子束诱变育种的初筛方法,是必要而且是必须的。本文就木聚糖酶产生菌的几种初筛方法做了比较研究,以便找出适宜于离子束诱变高产木聚糖酶菌株育种的初筛方法。 展开更多
关键词 半纤维素 半纤维素酶 木聚糖酶 产酶菌 菌株选育 离子束诱变育种
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Influence of Yttrium Ion-Implantation on the Growth Kinetics and Micro-Structure of NiO Oxide Film 被引量:4
12
作者 靳惠明 Adriana FELIX Majorri AROYAVE 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期43-45,共3页
Isothermal and cyclic oxidation behaviours of pure and yttrium-implanted nickel were studied at 1000℃ in air. Scanning electronic microscopy (SEM) and transmission electronic microscopy (TEM) were used to examine... Isothermal and cyclic oxidation behaviours of pure and yttrium-implanted nickel were studied at 1000℃ in air. Scanning electronic microscopy (SEM) and transmission electronic microscopy (TEM) were used to examine the micro-morphology and structure of oxide scales formed on the nickel substrate. It was found that Y-implantation significantly improved the anti- oxidation ability of nickel in both isothermal and cyclic oxidizing experiments. Laser Raman microscopy was also used to study the stress status of oxide scales formed on nickel with and without yttrium. The main reason for the improvement in anti-oxidation of nickel was that Y- implantation greatly reduced the growing speed and grain size of NiO. This fine-grained NiO oxide film might have better high temperature plasticity and could relieve parts of compressive stress by means of creeping, and maintained a ridge character and a relatively low internal stress level. Hence yttrium ion-implantation remarkably enhanced the adhesion of protective NiO oxide scale formed on the nickel substrate. 展开更多
关键词 ion-implantation laser Raman STRESS OXIDE YTTRIUM
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N-In共掺p型ZnO薄膜的结构和电学特性研究 被引量:5
13
作者 赵永红 孔春阳 +6 位作者 秦国平 李万俊 阮海波 孟祥丹 卞萍 徐庆 张萍 《重庆师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期115-120,共6页
采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备ZnO∶In薄膜,以N离子注入的方式进行N掺杂,通过优化退火条件成功实现了ZnO∶In-N薄膜的p型转变。研究发现:在590℃退火20min获得性能良好的p-ZnO∶In-N薄膜,其空穴浓度、迁移率和电阻率分别为(1.01... 采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备ZnO∶In薄膜,以N离子注入的方式进行N掺杂,通过优化退火条件成功实现了ZnO∶In-N薄膜的p型转变。研究发现:在590℃退火20min获得性能良好的p-ZnO∶In-N薄膜,其空穴浓度、迁移率和电阻率分别为(1.01×1018)cm-3、3.40cm2.V-1.s-1、1.81Ω.cm。结合XPS分析认为ZnO∶In-N实现p型导电正是由于In的掺入与受主N形成了有利于p型导电的受主InZn-2NO复合体。Hall跟踪测试发现p型导电会随时间变化而最终转变为n型导电,结合XPS和第一性原理计算认为薄膜中存在残余应力和(N2)O施主缺陷是p型不稳定的原因。 展开更多
关键词 ZnO∶In-N薄膜 离子注入 P型掺杂 稳定性 第一性原理
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Ground-based Investigations of Atomic Oxygen Erosion Behaviors of Silver and Ion-implanted Silver 被引量:2
14
作者 DUO Shu-wang LI Mei-shuan +2 位作者 YIN Xiao-hui LI Wen-kui LI Ming-sheng 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第B12期252-256,共5页
Silver foils and ion-implanted silver foils exposed to atomic oxygen (AO) generated in a ground simulation facility were investigated by the quartz crystal microbalance (QCM), the scanning electron microscopy (SE... Silver foils and ion-implanted silver foils exposed to atomic oxygen (AO) generated in a ground simulation facility were investigated by the quartz crystal microbalance (QCM), the scanning electron microscopy (SEM) and the X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The experimental results show the presence of Ag2O and AgO in an oxidation process of the silver foil having exposure to AO. As soon as silver comes under the bombardment of atomic oxygen, the oxidation process starts with a thick film forming on the silver surface. Because of the development of stresses, the oxide layer gets cracked and spalled, which leads to appearance of a new silver surface intensifying further oxidation. At last, AgO begins to form on the outer surface of the oxide film. The analytical results of the XPS and the AES attest to formation of a continuous high-quality protective oxide-based layer on the surface of ion-implanted silver films after exposure to AO. This layer can well protect materials in question from erosion. 展开更多
关键词 atomic oxygen ion-implantation SILVER OXIDATion
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离子注入玻璃在非线性光学领域的应用前景 被引量:4
15
作者 王承遇 陶瑛 《材料导报》 EI CAS CSCD 1996年第5期36-38,共3页
玻璃中注入金属离子导致在基底玻璃薄层中纳米金属簇和纳米化合物的形成。此纳米粒子的存在和尺寸大小与基底玻璃的成分、注入离子类型、注入参数(能量与剂量)和热处理等因素有关。这些纳米粒子呈现等离子激元振荡,增强了玻璃的非线性... 玻璃中注入金属离子导致在基底玻璃薄层中纳米金属簇和纳米化合物的形成。此纳米粒子的存在和尺寸大小与基底玻璃的成分、注入离子类型、注入参数(能量与剂量)和热处理等因素有关。这些纳米粒子呈现等离子激元振荡,增强了玻璃的非线性光学性质,因此离子注入玻璃在制造全光学开关器上可起重要作用。 展开更多
关键词 离子注入 玻璃 非线性光学
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低能N^+离子注入诱变选育琼胶酶高产菌株 被引量:4
16
作者 梅建凤 唐中秀 +3 位作者 王琦 易喻 王鸿 应国清 《浙江工业大学学报》 CAS 2013年第1期53-56,64,共5页
对产琼胶酶的类芽孢杆菌(Paenibacillus sp.)菌株WL进行N+离子注入诱变,寄以筛选获得高活力琼胶酶产生菌株.首先考察了N+离子注入剂量对类芽孢杆菌WL存活率的影响,在注入能量为10keV的条件下,类芽孢杆菌WL菌株最佳剂量范围为15.6×1... 对产琼胶酶的类芽孢杆菌(Paenibacillus sp.)菌株WL进行N+离子注入诱变,寄以筛选获得高活力琼胶酶产生菌株.首先考察了N+离子注入剂量对类芽孢杆菌WL存活率的影响,在注入能量为10keV的条件下,类芽孢杆菌WL菌株最佳剂量范围为15.6×1014~23.4×1014 ion/cm2.在23.4×1014 ion/cm2诱变剂量下,筛选得到1株高产琼胶酶的菌株WL-15,酶活力达到47.3U/mL,较出发菌株提高53.6%,该菌株经5次传代培养,产酶活力稳定.之后优化了产酶培养基中的主要成分,在琼胶、NaNO3和NaCl的质量浓度分别为2.5g/L,6.0g/L,15.0g/L时,类芽孢杆菌WL-15产酶活力达到了53.3U/mL. 展开更多
关键词 诱变育种 离子注入 类芽孢杆菌 琼胶酶
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He离子注入ZnO中缺陷形成的慢正电子束研究 被引量:3
17
作者 陈志权 河裾厚男 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期4353-4357,共5页
在ZnO单晶样品中注入了能量为20—100keV、总剂量为4.4×1015cm-2的He离子.利用基于慢正电子束的多普勒展宽测量研究了离子注入产生的缺陷.结果表明,He离子注入ZnO产生了双空位或更大的空位团.在400℃以下退火后,He开始填充到这些... 在ZnO单晶样品中注入了能量为20—100keV、总剂量为4.4×1015cm-2的He离子.利用基于慢正电子束的多普勒展宽测量研究了离子注入产生的缺陷.结果表明,He离子注入ZnO产生了双空位或更大的空位团.在400℃以下退火后,He开始填充到这些空位团里面,造成空位团的有效体积减少.经过400℃以上升温退火后,这些空位团的尺寸开始增大,但由于有少量的He仍然占据在空位团内,因此直到800℃这些空位团仍保持稳定.高于800℃退火后,由于He的脱附,留下的空位团很快回复,在1000℃下得到完全消除. 展开更多
关键词 慢正电子束 ZNO 离子注入 缺陷
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多能碳离子注入纯铁研究 被引量:3
18
作者 王茜 蒙大桥 +3 位作者 刘柯钊 肖红 张延志 王晓红 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期13-16,共4页
利用离子注入表面优化技术,在不同温度下,采用多能量叠加方式将碳离子注入纯铁表面;利用XRD和AES等技术分析了表面改性层的相结构以及元素的分布;利用电化学极化法测试了注入样品的抗腐蚀性能。结果表明,573K时注入的碳离子比373K时注... 利用离子注入表面优化技术,在不同温度下,采用多能量叠加方式将碳离子注入纯铁表面;利用XRD和AES等技术分析了表面改性层的相结构以及元素的分布;利用电化学极化法测试了注入样品的抗腐蚀性能。结果表明,573K时注入的碳离子比373K时注入的碳离子深;纯铁表面改性层有Fe2C、Fe3C新相生成;离子注入碳提高了纯铁表面抗电化学腐蚀的能力。 展开更多
关键词 纯铁 离子注入 抗腐蚀性能
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Optical and electronic properties of single modulation doped GaAs/AlGaAs V-grooved quantum wire modified by ion implantation 被引量:1
19
作者 HUANG Shaohua CHEN Zhanghai BAI Lihui WANG Fangzhen SHEN Xuechu 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2005年第3期361-370,共10页
Single GaAs/Al0.5Ga0.5As V-grooved quantum wire modified by selective ion-implantation and rapid thermally annealing was investigated by spatially-resolved microphotoluminescence and magneto-resistance measurement. Sp... Single GaAs/Al0.5Ga0.5As V-grooved quantum wire modified by selective ion-implantation and rapid thermally annealing was investigated by spatially-resolved microphotoluminescence and magneto-resistance measurement. Spatially-resolved photoluminescence results indicate that the ion-implantation induced quantum well intermixing raises significantly the electron subband energies of the side quantum wells and vertical quantum wells, and more efficient accumulation of electrons in the quantum wires is achieved. Furthermore, the polarization properties of the photoluminescence from the quantum wires show large linear polarization degree up to 63%. Magneto- transport investigation on the ion implanted quantum wire samples presents the quasi-one dimensional intrinsic motion of electrons, which is important for the design and optimization of one dimensional electronic devices. 展开更多
关键词 GAAS/ALGAAS V-grooved quantum wire ion-implantation photoluminescence polarization magneto-resistance
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Reduction of Deep Level Defects in Unintentionally Doped 4H-SiC Homo-epilayers by Ion Implantation 被引量:1
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作者 贾仁需 张玉明 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2012年第3期415-417,共3页
In order to reduce deep level defects, the theory and process design of 4H-SiC homoepitaxial layer implanted by carbon ion are studied. With the Monte Carlo simulator TRIM, the ion implantation range, location of peak... In order to reduce deep level defects, the theory and process design of 4H-SiC homoepitaxial layer implanted by carbon ion are studied. With the Monte Carlo simulator TRIM, the ion implantation range, location of peak concentration and longitudinal straggling of carbon are calculated. The process for improving deep energy level in undoped 4H-SiC homoepitaxial layer by three times carbon ion-implantation is proposed, including implantation energy, dose, the SiO2 resist mask, annealing temperature, annealing time and annealing protection. The deep energy level in 4H-SiC material can be significantly improved by implantation of carbon atoms into a shallow surface layer. The damage of crystal lattice can be repaired well, and the carbon ions are effectively activated after 1 600 ℃ annealing, meanwhile, deep level defects are decreased. 展开更多
关键词 4H-SiC Homo-epilayers deep level defects carbon ion-implantation
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