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离子束增强沉积TiN薄膜界面结合强度的研究 被引量：14
1
作者 顾剑锋 周平南 杨晓豫 《金属热处理学报》 CSCD 1997年第2期30-35,共6页
采用划痕法测定了离子束增强沉积ＴｉＮ薄膜的界面结合力。结果表明，由于在离子束增强沉积过程中ＴｉＮ薄膜和基体之间生成一层厚约３０～４０ｎｍ的过渡层，从而大大改善了涂层的界面结合强度，其临界载荷可达１４０Ｎ，为一般ＰＶＤ... 采用划痕法测定了离子束增强沉积ＴｉＮ薄膜的界面结合力。结果表明，由于在离子束增强沉积过程中ＴｉＮ薄膜和基体之间生成一层厚约３０～４０ｎｍ的过渡层，从而大大改善了涂层的界面结合强度，其临界载荷可达１４０Ｎ，为一般ＰＶＤ和ＣＶＤ方法所生成的ＴｉＮ膜的３～４倍，并且发现它并不随膜厚的增加而变化。 展开更多
关键词 薄膜 离子束增强沉积 界面结合强度 氮化钛
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离子束增强沉积形成梯度薄膜 被引量：9
2
作者 柳襄怀 杨根庆 +3 位作者 王曦 郑志宏 黄巍 邹世昌 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1994年第1期61-66,共6页
在金属衬底（Ａｌ、钢、铝－碳纤维、Ｎｉ３Ａｌ）上用离子束增强沉积形成氮硅化物的梯度薄膜．在薄膜的一侧有很高的电阻（１０７Ω），而在另一侧电阻根低（１Ω），在绝缘层和导电层之间电阻呈梯度变化．对梯度薄膜的组分、硬度、附... 在金属衬底（Ａｌ、钢、铝－碳纤维、Ｎｉ３Ａｌ）上用离子束增强沉积形成氮硅化物的梯度薄膜．在薄膜的一侧有很高的电阻（１０７Ω），而在另一侧电阻根低（１Ω），在绝缘层和导电层之间电阻呈梯度变化．对梯度薄膜的组分、硬度、附着力、疲劳寿命、抗腐蚀能力和抗高温氧化性能进行了测试和分析． 展开更多
关键词 离子束 增强沉积 梯度薄膜
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碳/碳复合材料表面软复合磷酸钙层 被引量：4
3
作者 李金勇 付涛 +2 位作者 宋忠孝 憨勇 徐可为 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期524-527,共4页
为改进碳 /碳复合材料的生物活性 ,发展了表面软复合磷酸钙层的制备工艺。首先在碳 /碳复合材料表面通过离子束辅助沉积技术形成的钛镀层 ,然后经浓碱液处理后呈多孔网状 ,该网状结构可在模拟体液 (SBF)中诱导沉积出生理磷灰石层 ,从而... 为改进碳 /碳复合材料的生物活性 ,发展了表面软复合磷酸钙层的制备工艺。首先在碳 /碳复合材料表面通过离子束辅助沉积技术形成的钛镀层 ,然后经浓碱液处理后呈多孔网状 ,该网状结构可在模拟体液 (SBF)中诱导沉积出生理磷灰石层 ,从而在碳 /碳复合材料表面形成软复合磷酸钙层。所获得的软复合磷酸钙层厚度约为 8μm ,结晶结构为羟基磷灰石 ,但其Ca ,P摩尔比n(Ca) /n(P)低于 1.67。 展开更多
关键词 碳/碳复合材料 表面软复合磷酸钙层 离子束辅助沉积 磷灰石 生物活性
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退火对IBED氧化钒薄膜结构和性能的影响 被引量：2
4
作者 谢建生 李金华 袁宁一 《微细加工技术》 2004年第4期36-40,63,共6页
对离子束增强沉积(IBED)氧化钒薄膜作不同条件的退火,用X射线衍射分析薄膜的晶体结构;用电阻 温度测试分析了薄膜的热电阻温度系数。实验发现,沉积薄膜存在一个形成二氧化钒结构的临界结晶温度,该温度随薄膜制备时离子束增强沉积条件的... 对离子束增强沉积(IBED)氧化钒薄膜作不同条件的退火,用X射线衍射分析薄膜的晶体结构;用电阻 温度测试分析了薄膜的热电阻温度系数。实验发现,沉积薄膜存在一个形成二氧化钒结构的临界结晶温度,该温度随薄膜制备时离子束增强沉积条件的不同而改变。退火温度低于临界结晶温度时,很难使薄膜结晶成二氧化钒结构;高于临界温度较多的退火或形成VO2结构后再长时间退火,都会使VO2多晶薄膜中的钒分解降价,使薄膜的结构退化、性能变差。IBED多晶VO2薄膜在室温附近的电阻温度系数可达到4%/K以上。 展开更多
关键词 氧化钒薄膜 退火 离子束增强沉积
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离子束增强沉积立方氮化硼薄膜的研究进展
5
作者 况园珠 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期36-38,共3页
介绍了用离子束增强沉积法(IBED)制备立方氮化硼(c-BN)薄膜的主要研究单位及其研究内容和获得的结果。
关键词 立方氮化硼 离子束增强沉积 离子轰击 制备 薄膜
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离子束增强沉积Si─N膜
6
作者 罗广南 李文治 李恒德 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 1996年第3期115-118,共4页
用离子束增强沉积方法制备了ＳｉＮ薄膜，其中Ｓｉ由一束Ａｒ离子从Ｓｉ靶上溅射下来，在溅射沉积的同时，以一束Ｎ离子轰击正在沉积的膜层，于是获得了ＳｉＮ膜。采用卢瑟福背散射、红外光谱和透射电镜对膜层的成分和结构进行了分... 用离子束增强沉积方法制备了ＳｉＮ薄膜，其中Ｓｉ由一束Ａｒ离子从Ｓｉ靶上溅射下来，在溅射沉积的同时，以一束Ｎ离子轰击正在沉积的膜层，于是获得了ＳｉＮ膜。采用卢瑟福背散射、红外光谱和透射电镜对膜层的成分和结构进行了分析，结果表明：膜面平整，膜层为非晶或微晶结构。 展开更多
关键词 离子束增强沉积 氮化硅膜 薄膜
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生物医用钛合金表面离子束辅助沉积氧化钛膜层
7
作者 司红羚 田林海 +1 位作者 李晓红 付涛 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期742-744,共3页
为改善钛合金(Ti6Al4V)的生物相容性,采用离子束辅助沉积(Ionbeamenhanceddeposition,IBED)技术制备了氧化钛膜层。结果表明钛合金上的膜层涂覆均匀,基体的铝和钒元素已经探测不到,膜层为含氮和沿(111)面取向的TiO相;膜层划痕实验的临... 为改善钛合金(Ti6Al4V)的生物相容性,采用离子束辅助沉积(Ionbeamenhanceddeposition,IBED)技术制备了氧化钛膜层。结果表明钛合金上的膜层涂覆均匀,基体的铝和钒元素已经探测不到,膜层为含氮和沿(111)面取向的TiO相;膜层划痕实验的临界载荷为16.8N,膜层以塑性变形的方式破坏。 展开更多
关键词 钛合金 离子束辅助沉积 氧化钛 生物医用钛合金 钛膜 氧化 生物相容性 beam 临界载荷 塑性变形
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机械人工心脏瓣膜材料表面改性研究进展 被引量：4
8
作者 黄楠 杨萍 +9 位作者 冷永祥 陈俊英 孙鸿 奚廷斐 田文华 吴喜 马旺扣 陈凡 朱剑豪 汤宝寅 《中国科学基金》 CSCD 1999年第6期331-334,共4页
本文论述了研究者在国家自然科学基金的连续支持下对人工心脏瓣膜材料表面改性的研究结果。
关键词 人工心脏瓣膜 氧化钛 血液相容 瓣膜材 表面改性
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