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离子束合成TiO_2薄膜对医用NiTi合金表面的改性 被引量:19
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作者 刘敬肖 杨大智 +2 位作者 徐久军 陈吉华 蔡英骥 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期445-450,共6页
采用离子束增强沉积法制备TiO2薄膜,对医用NiTi合金进行表面改性处理.系统研究了薄膜的表面组成、结构、形貌及耐蚀性、亲水性等与血液相容性相关的表面性质.NiTi合金表面沉积TiO2薄膜后、抗模拟体液的腐蚀性提高,... 采用离子束增强沉积法制备TiO2薄膜,对医用NiTi合金进行表面改性处理.系统研究了薄膜的表面组成、结构、形貌及耐蚀性、亲水性等与血液相容性相关的表面性质.NiTi合金表面沉积TiO2薄膜后、抗模拟体液的腐蚀性提高,凝血时间延长.为进一步提高TiO2薄膜的抗凝血性,对TiO2薄膜的进一步表面改性-表面结合肝素分子进行了初步尝试,结果表明,薄膜表面组成发生变化,表面亲水性进一步提高。 展开更多
关键词 NITI合金 TIO2薄膜 表面性质 表面改性 血管内支架 材料 离子束增强沉积法 镍钛合金 二氧化钛 经皮穿刺介入冠状动脉成形术
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硫化锌透镜中长波红外宽带增透膜的研制 被引量:26
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作者 于天燕 朱福荣 +1 位作者 刘定权 张凤山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期270-273,共4页
硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5~3.9 μm的中波红外波段及9~12 ... 硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5~3.9 μm的中波红外波段及9~12 μm的长波红外波段,平均透射率大于90%.由于长波红外区可选用的宽透射区材料较少,所以兼顾材料的选用、光谱特性及可靠性满足使用要求等几方面考虑,最终采用氟化钇(YF3)作为低折射率材料,经过多次实验,采用混蒸、离子辅助等工艺方法以及选取合适的基底温度,通过对其他工艺环节的不断改进,解决了在ZnS透镜上镀制宽带增透膜,由YF3膜层严重的应力作用而导致膜层龟裂的问题,最终研制成功符合使用要求,并且可靠性和光谱特性皆优的中长波红外增透膜. 展开更多
关键词 光学薄膜 红外增透膜 硫化锌透镜 氟化钇 应力作用 离子辅助
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用离子束溅射淀积的氧化物薄膜的折射率 被引量:19
3
作者 顾培夫 李海峰 +2 位作者 章岳光 刘旭 唐晋发 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期290-293,共4页
介绍了用于波长为 15 5 0nm光通讯波分复用 /解复用滤光片的离子束溅射的Ta2 O5和SiO2 薄膜在法里珀罗多层膜中的折射率的实时拟合方法及拟合结果 ,给出了它们的淀积时间、淀积速率和计算的光学厚度 。
关键词 离子束溅射淀积 氧化物薄膜 折射率 滤光片 光通信 波分复用器/解复用器
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刀具涂层的研究进展及最新制备技术 被引量:22
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作者 王铁钢 张姣姣 阎兵 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第7期727-738,共12页
刀具涂层是机械加工行业实现高效率、高精度、高柔性和绿色制造的有效途径,其优异的综合性能不仅可延长刀具的使用寿命,而且能大幅度提升机械加工效率和零件的表面加工质量,尤其针对钛合金、高温合金等难加工材料的切削,极大降低了加工... 刀具涂层是机械加工行业实现高效率、高精度、高柔性和绿色制造的有效途径,其优异的综合性能不仅可延长刀具的使用寿命,而且能大幅度提升机械加工效率和零件的表面加工质量,尤其针对钛合金、高温合金等难加工材料的切削,极大降低了加工成本。文章概述了刀具涂层的特点、类别及刀具涂层材料的应用,总结了化学气相沉积技术、物理气相沉积技术、物理化学气相沉积技术的原理及优缺点。阐述了刀具涂层的发展历程,即从常用涂层到纳米复合涂层、功能梯度涂层等新型涂层,并对新型刀具涂层和最新制备技术的发展做了简单的分析与介绍。 展开更多
关键词 刀具涂层 磁控溅射 电弧离子镀 离子束辅助沉积 切削性能
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离子束辅助沉积Al_2O_3薄膜的微观状态及其物理特性研究 被引量:13
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作者 张庆瑜 赵文军 +3 位作者 王平生 王亮 徐久军 朱剑豪 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第2期123-128,共6页
本文利用透射电子显微镜、原子力显微镜、X光电子能谱等微观分析手段 ,系统研究了氧离子束辅助离子束沉积方法制备的Al2 O3 薄膜的化学成分、微观结构、表面形貌及其随退火温度的变化 ,并对Al2 O3 薄膜折射率、显微硬度和膜基结合强度... 本文利用透射电子显微镜、原子力显微镜、X光电子能谱等微观分析手段 ,系统研究了氧离子束辅助离子束沉积方法制备的Al2 O3 薄膜的化学成分、微观结构、表面形貌及其随退火温度的变化 ,并对Al2 O3 薄膜折射率、显微硬度和膜基结合强度等物理特性及其随沉积温度的变化进行了详细研究。研究发现 :用离子束辅助沉积制备的薄膜基本满足Al2 O3 的标准成分配比 ;在沉积温度低于 5 0 0℃制备的Al2 O3 薄膜以非晶Al2 O3 相a Al2 O3 为主 ;Al2 O3 薄膜的表面粗糙度、折射率、显微硬度随沉积温度的增加而增加 ;当沉积温度高于 2 0 0℃时 ,薄膜与基体间的膜基结合强度将随沉积温度的增加而下降。分析表明 :薄膜表面形貌与晶体内部的结构相变有关 ,薄膜的退火相变途径为a Al2 O380 0℃ γ Al2 O310 0 0℃ γ Al2 O3 +α Al2 O312 0 0℃ α Al2 O3 。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 A12O3薄膜 微观结构 表面形貌 物理特性 氧化铝薄膜
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电子束物理气相沉积技术研究进展 被引量:16
6
作者 张传鑫 宋广平 +2 位作者 孙跃 赵轶杰 赫晓东 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2012年第2期124-126,146,共4页
电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备。将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉... 电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备。将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉积工艺本身存在阴影效应和扩散能力低而引起的沉积材料的不致密等不足。介绍了电子束物理气相沉积技术的概况,并展望了该技术的未来应用及发展前景。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 离子束辅助沉积 等离子辅助沉积
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离子束辅助薄膜沉积 被引量:13
7
作者 张宇峰 张溪文 +1 位作者 任兆杏 韩高荣 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第11期40-43,共4页
离子束辅助沉积(IBAD)是在气相沉积的同时辅以离子束轰击的薄膜制备方法,可在低温下合成致密、均匀的薄膜。介绍了IBAD技术的概况,列举了具体应用领域,描述了射频ICP离子源辅助电子束蒸发,最后对IBAD的前景加以评论。
关键词 离子束辅助薄膜沉积 IBAD 薄膜制备 等离子体 光学性能
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太阳模拟器中光谱修正滤光片的研制 被引量:16
8
作者 孟嘉译 付秀华 王迪 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期50-53,共4页
在太阳模拟器中,鉴于氙灯的优点及其光谱能量分布与太阳光谱的相近性,通常使用氙灯模拟太阳光谱,但由于氙灯光谱与太阳光谱分布存在差异,所以研制一种滤光片进行氙灯光谱分布的修正。考虑到滤光片工作在强光辐照条件下,所以选用的薄膜... 在太阳模拟器中,鉴于氙灯的优点及其光谱能量分布与太阳光谱的相近性,通常使用氙灯模拟太阳光谱,但由于氙灯光谱与太阳光谱分布存在差异,所以研制一种滤光片进行氙灯光谱分布的修正。考虑到滤光片工作在强光辐照条件下,所以选用的薄膜材料必须具有低的吸收和高的抗能量阈值。采用电子束和离子辅助沉积技术进行膜层的制备,选择合理的沉积方式并通过优化工艺参数使膜层表面光滑、牢固且通过抗能量测试,最终研制出的光谱修正滤光片满足使用要求。 展开更多
关键词 光学薄膜 滤光片 离子辅助沉积 抗能量阈值 太阳模拟器
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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究 被引量:12
9
作者 朱宏 柳襄怀 +3 位作者 任琮欣 邹世昌 刘惠文 张绪寿 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期118-125,共8页
目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄... 目前,制各类金刚石薄膜的方法很多,然而其中的多数在沉积过程中都需要基体具有比较高的温度,这就不可避免地会对耐温性能较差的材料造成损伤,或使机械零部件发生变形和尺寸变化.因此,利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜,并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构,发现其为无定形的类金刚石薄膜,薄膜中的碳原子成键主要是sp2杂化键.研究表明,随着离子能量和束流的增大,薄膜的显微硬度、摩擦系数和寿命都增大.由于这种方法制备的类金刚石薄膜的含氢量较少,膜中sp2杂化键较多,性能更接近于石墨,故其摩擦性能较好.研究结果对深入认识类金刚石簿膜结构和在改进磁盘表面耐磨保护涂层等薄膜润滑性能方面,都具有重要的指导意义和实用价值。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 类金刚石薄膜 摩擦性能
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红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究 被引量:12
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作者 刘冬梅 刘爽 +2 位作者 付秀华 张静 何松霖 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期1-6,共6页
研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料... 研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用“拆分技术要求”的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求. 展开更多
关键词 带通滤光片 膜系设计 拆分技术要求 红外线治疗仪 电子束蒸发 离子辅助淀积技术 石英晶控控制法
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钛种植体SLA表面HA涂层对骨髓源成骨细胞生物学特性的影响 被引量:10
11
作者 王程越 赵宝红 +1 位作者 艾红军 崔福斋 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期343-346,共4页
目的:探讨表面喷砂和酸蚀(SLA)处理后羟基磷灰石(HA)涂层的钛种植体(HA-SLA-Ti),对骨髓源成骨细胞(MOOBs)生物学特性的影响。方法:应用离子束辅助沉积技术(IBAD)在SLA处理的钛种植体(SLA-Ti)表面制备HA涂层,将MOOBs分别接种于HA-SLA-Ti... 目的:探讨表面喷砂和酸蚀(SLA)处理后羟基磷灰石(HA)涂层的钛种植体(HA-SLA-Ti),对骨髓源成骨细胞(MOOBs)生物学特性的影响。方法:应用离子束辅助沉积技术(IBAD)在SLA处理的钛种植体(SLA-Ti)表面制备HA涂层,将MOOBs分别接种于HA-SLA-Ti和SLA-Ti表面,观察其生长情况,并对2组MOOBs增殖指数、碱性磷酸酶活性、骨钙素含量以及骨桥蛋白基因(opn)mRNA相对表达量进行比较。结果:MOOBs在HA-SLA-Ti表面生长良好,其细胞增殖指数、碱性磷酸酶活性以及骨钙素含量明显高于SLA-Ti组;且opnmRNA相对表达量是SLA-Ti组的3.25倍。结论:应用IBAD技术在钛种植体SLA表面制备HA涂层,可明显促进MOOBs的增殖及其成骨表型的表达,是一种有应用前景的种植体表面处理方法。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 喷砂 酸蚀 羟基磷灰石 成骨细胞
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离子束辅助沉积制备高功率激光薄膜的研究 被引量:8
12
作者 张大伟 贺洪波 +1 位作者 邵建达 范正修 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期57-60,共4页
综述了离子束辅助沉积技术在高功率激光薄膜制备中的应用研究进展。指出该技术在制备高激光损伤阈值的薄膜中存在的问题,即出现过高的堆积密度,会给薄膜带来杂质缺陷、化学计量比缺陷、损伤缺陷、晶界缺陷,制备薄膜的残余应力存在着压... 综述了离子束辅助沉积技术在高功率激光薄膜制备中的应用研究进展。指出该技术在制备高激光损伤阈值的薄膜中存在的问题,即出现过高的堆积密度,会给薄膜带来杂质缺陷、化学计量比缺陷、损伤缺陷、晶界缺陷,制备薄膜的残余应力存在着压应力增加的趋势,会改变薄膜的晶体结构等。并指出了该研究领域的研究方向。 展开更多
关键词 薄膜 离子束辅助沉积 高功率激光薄膜 激光损伤阈值
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应用IBAD方法制备纯钛表面多孔TCP/HA涂层材料的微观分析 被引量:5
13
作者 赵宝红 白薇 +1 位作者 崔福斋 冯海兰 《上海口腔医学》 CAS CSCD 2004年第5期385-388,共4页
目的:为了改善钛种植体的生物相容性,对纯钛表面沉积多孔磷酸三钙/羟基磷灰石(Tricalciumphosphate/hydroxyapatite,TCP/HA)复合涂层材料的表面结构和化学成分进行分析,并与沉积羟基磷灰石(Hydroxyapatite,HA)的钛表面进行对比。方法:... 目的:为了改善钛种植体的生物相容性,对纯钛表面沉积多孔磷酸三钙/羟基磷灰石(Tricalciumphosphate/hydroxyapatite,TCP/HA)复合涂层材料的表面结构和化学成分进行分析,并与沉积羟基磷灰石(Hydroxyapatite,HA)的钛表面进行对比。方法:用离子束辅助沉积方法(Ionbeamassisteddeposition,IBAD)在纯钛表面沉积HA和TCP/HA涂层材料,通过扫描电镜(Scanningelectronmicroscope,SEM)、原子力显微镜(Atomicforcemicroscopy,AFM)、X射线能谱分析(EnergydispersiveX-rayanalysis,EDX)以及X射线衍射(X-raydiffraction,XRD)技术,检测两种涂层材料表面的微观形态和化学成分,并进行比较。结果:SEM和AFM显示TCP/HA涂层材料表面存在多孔结构,表面化学成分分析显示TCP/HA涂层的钙磷比低于HA,XRD证实TCP/HA涂层内同时存在TCP和HA两种化合物。结论:用IBAD方法在纯钛表面成功地沉积了具有多孔结构的TCP/HA复合涂层材料,该涂层材料和基体材料的结合牢固,改善了基体材料的生物相容性,是一种有应用前景的种植体表面涂层材料。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 磷酸三钙/羟基磷灰石 扫描电镜 原子力显微镜 X射线衍射 X射线能谱分析
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TiO_2膜消光系数的确定及制备参量的影响 被引量:8
14
作者 顾培夫 陈海星 +2 位作者 艾曼灵 章岳光 刘旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1005-1008,共4页
基于窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出薄膜的消光系数,从而得到了一种简易而又精确的评价薄膜微弱损耗的新方法。阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理,并分析了这种评价方法的基本精度。讨论了离子束溅射TiO2薄膜的制... 基于窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出薄膜的消光系数,从而得到了一种简易而又精确的评价薄膜微弱损耗的新方法。阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理,并分析了这种评价方法的基本精度。讨论了离子束溅射TiO2薄膜的制备参量对薄膜消光系数的影响。发现溅射速率和氧分压是影响TiO2薄膜损耗的灵敏因素。在保持其它参量不变的条件下,溅射速率从0.35nm/s下降到0.23nm/s,TiO2薄膜的消光系数从3.9×10-5下降到2.1×10-5;辅助离子源的Ar∶O比从1∶2变化为1∶4,对应的消光系数从5.6×10-5下降到2.3×10-5。此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加。TiO2薄膜消光系数评价的合理性表明由窄带滤光片的峰值透射率来反演薄膜的消光系数是可行的。 展开更多
关键词 薄膜光学 消光系数 窄带滤光片 离子束溅射 TIO2薄膜
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IBAD制备非晶碳膜与CrN镀层的耐磨性能比较及机理分析 被引量:7
15
作者 杜军 田林海 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期255-258,共4页
采用离子束辅助溅射沉积(IBAD)法,在高速钢基体上制备非晶碳膜(-αC)及CrN镀层,对两者的耐磨性能分析比较,并对其耐磨机理进行分析。结果表明:非晶碳膜的耐磨性能优于CrN镀层;文中讨论了摩擦系数和硬度对镀层耐磨损性能的影响,并通过分... 采用离子束辅助溅射沉积(IBAD)法,在高速钢基体上制备非晶碳膜(-αC)及CrN镀层,对两者的耐磨性能分析比较,并对其耐磨机理进行分析。结果表明:非晶碳膜的耐磨性能优于CrN镀层;文中讨论了摩擦系数和硬度对镀层耐磨损性能的影响,并通过分析动态膜基结合强度,证明两种镀层的磨损由不同磨损机理引起。 展开更多
关键词 离子束辅助溅射沉积(IBAD) 耐磨镀层 磨损机理
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离子束辅助沉积对类金刚石膜结构影响的计算机模拟 被引量:5
16
作者 李之杰 潘正瑛 +5 位作者 朱靖 魏启 王月霞 臧亮坤 周亮 刘提将 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期2233-2238,共6页
采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表... 采用分子动力学 (MD)模拟研究了离子束辅助沉积 (1BAD)生长类金刚石 (DLC)膜的物理过程 .分别选C2 分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子 .改变Ar的入射能量和到达比 (Ar/C) ,研究了它对DLC膜结构的影响 .重点讨论了Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响 .分析表明 ,由于Ar离子的轰击引起的能量和动量的传递 ,大大地增强了C原子在表面的反冲动能及迁移概率 ,增加了合成薄膜的SP3键含量 .研究结果和实验观察一致 ,并从合成机理上给出了一些定量解释 . 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 离子束辅助沉积 分子动力学 计算机模拟
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硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜 被引量:9
17
作者 付秀华 孙钰林 +1 位作者 贺才美 董洁凌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期803-806,共4页
由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45... 由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45°。选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义。 展开更多
关键词 光学薄膜 红外增透膜 离子辅助沉积 牢固度
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高能束表面改性技术在航空领域的应用 被引量:1
18
作者 陈军 李伟 郝胜智 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第4期32-43,共12页
高能束表面改性适用于各种金属和合金,能够显著提升材料表面硬度、耐磨、耐蚀等性能指标,是航空部件实现性能提升的有效手段之一。本文总结了6种高能束表面改性技术的基本原理、设备构成和改性应用,其中激光相变硬化通过马氏体相变强化... 高能束表面改性适用于各种金属和合金,能够显著提升材料表面硬度、耐磨、耐蚀等性能指标,是航空部件实现性能提升的有效手段之一。本文总结了6种高能束表面改性技术的基本原理、设备构成和改性应用,其中激光相变硬化通过马氏体相变强化金属材料表面;激光熔覆通过选择不同粉末实现表面修复和表面性能提升,重点在于控制裂纹缺陷;激光冲击强化可有效解决航空发动机部件高周疲劳断裂问题;强流脉冲电子束和强流脉冲离子束一方面需要提高设备的性能和运行稳定性,另一方面要针对航空部件应用开展深入研究;而离子束辅助沉积则可以通过制备固体润滑涂层实现对微动磨损的有效防护。最后,提出对高能束表面改性机理深入研究、发展专业化智能化装备和实现多种束源复合与集成的发展方向。 展开更多
关键词 表面改性 激光相变硬化 激光熔覆 激光冲击强化 强流脉冲电子束 强流脉冲离子束 离子束辅助沉积
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硒化锌基底8μm~12μm高效高稳定性减反射膜的研究 被引量:6
19
作者 潘永强 朱昌 +1 位作者 杭凌侠 苏俊宏 《红外》 CAS 2004年第10期1-3,9,共4页
文中讨论了硒化锌基底上的高效高稳定性红外减反射膜的设计与制备。介绍了离子束辅助沉积该膜系的过程,给出了用该方法制备的8μm-12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99%以上,在设计波段范围内平均透过率大于98%,... 文中讨论了硒化锌基底上的高效高稳定性红外减反射膜的设计与制备。介绍了离子束辅助沉积该膜系的过程,给出了用该方法制备的8μm-12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99%以上,在设计波段范围内平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定。 展开更多
关键词 硒化锌 波段 减反射膜 膜系 透过率 红外 宽带 高稳定性 制备 高效
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离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析 被引量:6
20
作者 富均 杨传仁 +2 位作者 杨大本 王培禄 黄宁康 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期85-88,共4页
通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发... 通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发现中间态Mo5+ ;而XPS没有检测到MoS2 +Ag膜中有Mo6 + ,ESR却发现Mo5+ 。这说明Mo5+ 展开更多
关键词 抗湿性能 离子束辅助沉积 复合膜 二硫化钼 氧化
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