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题名干涉法测量双折射相位差
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作者
孙定源
周桂贤
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机构
辽宁大学物理系
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出处
《辽宁大学学报（自然科学版）》
CAS
1993年第1期47-51,共5页
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文摘
本文提出了利用迈克尔逊干涉仪测量双折射相位差的一种新方法,并给出了实验结果.
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关键词
双折射
相位差
干涉法
测量
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Keywords
interferomotry
Retardation
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分类号
O435.1
[机械工程—光学工程]
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题名频闪相移全息干涉计量
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作者
郑文
谭玉山
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机构
西安交通大学机械系
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第1期92-96,共5页
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文摘
本文将相移技术应用在频闪全息干涉计量中,获得了振动物体的定量分析结果.分析了频闪光脉冲宽度对计算结果的影响,并给出了实验结果.
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关键词
全息干涉计量
相移
频闪
脉冲宽度
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Keywords
holographic interferomotry, phase-stepping.
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分类号
O329
[理学—一般力学与力学基础]
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题名一种便携式光学表面轮廓仪
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作者
张瑜
陈宇琪
陈磊
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机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
金智视讯技术有限公司
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出处
《光学仪器》
2016年第2期178-184,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(U1231111)
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文摘
研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1nm,重复性误差优于0.01nm,横向分辨率优于1μm。
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关键词
短相干光相移干涉
表面轮廓
干涉显微镜
粗糙度
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Keywords
short-coherent light phase-shifting interferomotry
surface profile
interference microscope
roughness
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分类号
TH741.1
[机械工程—光学工程]
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