期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究 被引量：2
1
作者 张津 姚汉民 +1 位作者 陈旭南 唐小平 《微细加工技术》 EI 1999年第2期71-78,共8页
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
关键词 投影物镜 温度补偿 光刻 大规模集成电路
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部