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ITO/Al复合透明导电薄膜对紫外LED光电性能的提升
被引量:
2
1
作者
王雪
崔志勇
+5 位作者
王兵
薛建凯
张向鹏
段瑞飞
曾一平
李晋闽
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第9期680-684,共5页
通过在氧化铟锡(ITO)薄膜上蒸镀金属Al,获得ITO/Al复合透明导电薄膜,研究了不同退火条件下不同Al金属层厚度的复合透明导电薄膜的方块电阻和在紫外波段的透过率。结果表明,在ITO薄膜上蒸镀2 nm厚的Al层,经550℃退火后,金属Al在ITO薄膜...
通过在氧化铟锡(ITO)薄膜上蒸镀金属Al,获得ITO/Al复合透明导电薄膜,研究了不同退火条件下不同Al金属层厚度的复合透明导电薄膜的方块电阻和在紫外波段的透过率。结果表明,在ITO薄膜上蒸镀2 nm厚的Al层,经550℃退火后,金属Al在ITO薄膜上形成粒径约为10 nm的颗粒,增加了薄膜表面的粗糙度,得到的复合透明导电薄膜的方块电阻和在紫外波段透过率的综合性能最佳,在360~410 nm波长的平均透过率大于95%,且方块电阻为22.8Ω/□。采用ITO/Al(100 nm/2 nm)复合透明导电薄膜制备了390 nm紫外发光二极管(LED)芯片(尺寸为325μm×275μm),与用ITO薄膜制备的LED芯片相比,其光电转换效率提升了约3%,饱和电流提升了15.00%,饱和光功率提升了15.04%。研究结果表明,采用ITO/Al复合透明导电薄膜可有效提升紫外LED的光电性能。
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关键词
氧化铟锡(
ito
)
ito
/
al
透明导电膜
紫外发光二极管(LED)
光电性能
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职称材料
防静电Kapton二次表面镜的电子辐照效应
被引量:
6
2
作者
刘宇明
姜利祥
+6 位作者
冯伟泉
郑慧奇
丁义刚
沈自才
赵雪
赵春晴
刘国青
《航天器环境工程》
2009年第5期411-414,397,共4页
文章研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)在不同能量电子辐照后,太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱仪(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明,相同电子注量下,电子能量越高,对样品的太...
文章研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)在不同能量电子辐照后,太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱仪(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明,相同电子注量下,电子能量越高,对样品的太阳吸收率退化作用越大;电子辐照对样品表面形貌影响不大,但是会降低表面氧化铟锡的含量;不同能量的电子对样品表面成分的损伤效应是一致的。
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关键词
电子辐照
防静电kapton二次表面镜
太阳吸收比
试验研究
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职称材料
热控涂层电子辐照效应
被引量:
1
3
作者
刘宇明
郑慧奇
+2 位作者
丁义刚
姜利祥
沈自才
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期76-79,共4页
研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)、S781白漆两种典型热控涂层,在不同能量电子辐照后太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱和扫描电子显微镜对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明:相同电子注量下,不同能量电子对...
研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)、S781白漆两种典型热控涂层,在不同能量电子辐照后太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱和扫描电子显微镜对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明:相同电子注量下,不同能量电子对样品的太阳吸收比退化作用程度是有区别的。而样品光谱反射率、表面形貌、表面成分的损伤效应类似,说明不同能量电子辐照下,样品的退化机理是一致的。
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关键词
电子辐照
防静电Kapton二次表面镜
S781白漆
太阳吸收比
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职称材料
题名
ITO/Al复合透明导电薄膜对紫外LED光电性能的提升
被引量:
2
1
作者
王雪
崔志勇
王兵
薛建凯
张向鹏
段瑞飞
曾一平
李晋闽
机构
北京中科优唯科技有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第9期680-684,共5页
基金
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0404202)。
文摘
通过在氧化铟锡(ITO)薄膜上蒸镀金属Al,获得ITO/Al复合透明导电薄膜,研究了不同退火条件下不同Al金属层厚度的复合透明导电薄膜的方块电阻和在紫外波段的透过率。结果表明,在ITO薄膜上蒸镀2 nm厚的Al层,经550℃退火后,金属Al在ITO薄膜上形成粒径约为10 nm的颗粒,增加了薄膜表面的粗糙度,得到的复合透明导电薄膜的方块电阻和在紫外波段透过率的综合性能最佳,在360~410 nm波长的平均透过率大于95%,且方块电阻为22.8Ω/□。采用ITO/Al(100 nm/2 nm)复合透明导电薄膜制备了390 nm紫外发光二极管(LED)芯片(尺寸为325μm×275μm),与用ITO薄膜制备的LED芯片相比,其光电转换效率提升了约3%,饱和电流提升了15.00%,饱和光功率提升了15.04%。研究结果表明,采用ITO/Al复合透明导电薄膜可有效提升紫外LED的光电性能。
关键词
氧化铟锡(
ito
)
ito
/
al
透明导电膜
紫外发光二极管(LED)
光电性能
Keywords
indium tin oxide(
ito
)
ito
/
al
transparent conductive films
ultraviolet light emitting diode(LED)
optoelectronic property
分类号
TN312.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
防静电Kapton二次表面镜的电子辐照效应
被引量:
6
2
作者
刘宇明
姜利祥
冯伟泉
郑慧奇
丁义刚
沈自才
赵雪
赵春晴
刘国青
机构
北京卫星环境工程研究所
出处
《航天器环境工程》
2009年第5期411-414,397,共4页
基金
国家863计划资助项目(编号:2006AA04Z414)
文摘
文章研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)在不同能量电子辐照后,太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱仪(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明,相同电子注量下,电子能量越高,对样品的太阳吸收率退化作用越大;电子辐照对样品表面形貌影响不大,但是会降低表面氧化铟锡的含量;不同能量的电子对样品表面成分的损伤效应是一致的。
关键词
电子辐照
防静电kapton二次表面镜
太阳吸收比
试验研究
Keywords
electron irradiation
ito
/Kapton/
al
films
solar absorptance
experiment
al
study
分类号
O631.3+4 [理学—高分子化学]
V416.5 [理学—化学]
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职称材料
题名
热控涂层电子辐照效应
被引量:
1
3
作者
刘宇明
郑慧奇
丁义刚
姜利祥
沈自才
机构
北京卫星环境工程研究所
出处
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期76-79,共4页
基金
国家高新技术研究发展计划("836"计划)
编号:2006AA04Z414
文摘
研究防静电Kapton二次表面镜(ITO/Kapton/Al)、S781白漆两种典型热控涂层,在不同能量电子辐照后太阳吸收比退化情况,并利用X射线光电子能谱和扫描电子显微镜对样品表面的成分和形貌进行了分析。结果表明:相同电子注量下,不同能量电子对样品的太阳吸收比退化作用程度是有区别的。而样品光谱反射率、表面形貌、表面成分的损伤效应类似,说明不同能量电子辐照下,样品的退化机理是一致的。
关键词
电子辐照
防静电Kapton二次表面镜
S781白漆
太阳吸收比
Keywords
Electron irradiation
ito
/Kapton/
al
films
S781 white coatings
Solar absorptance
分类号
V261.933 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ITO/Al复合透明导电薄膜对紫外LED光电性能的提升
王雪
崔志勇
王兵
薛建凯
张向鹏
段瑞飞
曾一平
李晋闽
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
2
下载PDF
职称材料
2
防静电Kapton二次表面镜的电子辐照效应
刘宇明
姜利祥
冯伟泉
郑慧奇
丁义刚
沈自才
赵雪
赵春晴
刘国青
《航天器环境工程》
2009
6
下载PDF
职称材料
3
热控涂层电子辐照效应
刘宇明
郑慧奇
丁义刚
姜利祥
沈自才
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
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