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ITO/Ag光子晶体薄膜的制备及性能 被引量：14
1
作者 赵亚丽 马富花 +3 位作者 江波 李克训 张青翠 魏学红 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1516-1522,共7页
考虑材料的电磁屏蔽特性和可见光透过的矛盾,设计了以铝/氧化铟锡(Ag/ITO)为周期的光子晶体薄膜以实现电磁屏蔽和可见光透过的兼容。首先根据电磁屏蔽和可视的双重需求,优化了光子晶体的组份并对其性能进行了研究。接着采用磁控溅射方... 考虑材料的电磁屏蔽特性和可见光透过的矛盾,设计了以铝/氧化铟锡(Ag/ITO)为周期的光子晶体薄膜以实现电磁屏蔽和可见光透过的兼容。首先根据电磁屏蔽和可视的双重需求,优化了光子晶体的组份并对其性能进行了研究。接着采用磁控溅射方法制备了以Ag/ITO为周期的光子晶体薄膜,并对光子晶体薄膜的屏蔽和可见光透光率进行了测试和分析。实验结果表明:这种光子晶体薄膜在金属Ag总膜厚大于可见光趋肤深度而远小于微波波段趋肤深度时,在可见光波段的最高透光率高达55%,而在微波x频率段的屏蔽性能最高可达65dB。通过结构设计,使薄膜的可见光透光率曲线与人眼的敏感曲线相吻合。随着每个周期Ag膜层的厚度增加,方阻相应降低,微波屏蔽性能相应提高。随着周期数的增加,薄膜的可见光透光率没有相应降低、屏蔽性能没有相应提高。设计的光子晶体薄膜在30 MHz^18GHz较宽波段的屏蔽性能均大于40dB。这种设计方法为材料的电磁屏蔽和可见光透明兼容开辟了一条新的技术途径。 展开更多
关键词 光子晶体 光子晶体薄膜 ito/ag薄膜 电磁屏蔽 透明金属
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ITO-Ag复合薄膜的制备及光电特性
2
作者 夏齐萍 《黑河学院学报》 2021年第2期186-188,共3页
ITO-Ag复合薄膜是以Ag/ITO为周期的光子晶体薄膜,可以很好地解决以往薄膜中电磁屏蔽特性和可见光透过性的矛盾,实现了两者的兼容,光子晶体的组成成份得到了优化升级。进一步验证分析ITO-Ag复合薄膜的特征,论证其优缺点,寻找其最合适的... ITO-Ag复合薄膜是以Ag/ITO为周期的光子晶体薄膜,可以很好地解决以往薄膜中电磁屏蔽特性和可见光透过性的矛盾,实现了两者的兼容,光子晶体的组成成份得到了优化升级。进一步验证分析ITO-Ag复合薄膜的特征,论证其优缺点,寻找其最合适的使用途径,做到最大效益化。 展开更多
关键词 ito-ag复合薄膜 制备 光电特性
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