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成型工艺对ITO素胚及靶材的影响 被引量：2
1
作者 姚远 郭朋 《河南化工》 CAS 2021年第1期25-27,共3页
采用化学共沉淀法,以金属铟和锡为原材料得到ITO粉体。添加少量的聚乙烯醇(PVA)进行研磨造粒,得到粒度在30μm左右的ITO粒。当模压压力为45 MPa,冷等静压压力为230 MPa时,其上ITO粒基本上全部为压破重组,并未见到颗粒与颗粒之间的界面,... 采用化学共沉淀法,以金属铟和锡为原材料得到ITO粉体。添加少量的聚乙烯醇(PVA)进行研磨造粒,得到粒度在30μm左右的ITO粒。当模压压力为45 MPa,冷等静压压力为230 MPa时,其上ITO粒基本上全部为压破重组,并未见到颗粒与颗粒之间的界面,素胚较其他更紧实致密,其素胚的相对密度达到最大,为54.0%,其所烧结后的靶材密度最大,为99.74%。 展开更多
关键词 ito粒 模压压力 冷等静压压力 素胚
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压力注浆成型大规格ITO靶材坯体研究
2
作者 杨硕 朱玉龙 张大帅 《材料开发与应用》 CAS 2018年第3期68-71,共4页
以ITO粉体为原料,使用压力注浆成型技术制备了ITO靶材坯体。研究了浆料粘度、固含量、加压时间、真空处理等因素对ITO靶材坯体结构的影响。结果表明,使用3步加压时,通过变单孔注浆模具为双孔模具,可显著提高注浆效率,同时解决坯体空心... 以ITO粉体为原料,使用压力注浆成型技术制备了ITO靶材坯体。研究了浆料粘度、固含量、加压时间、真空处理等因素对ITO靶材坯体结构的影响。结果表明,使用3步加压时,通过变单孔注浆模具为双孔模具,可显著提高注浆效率,同时解决坯体空心的问题;适当延长中压保压时间和提高浆料固含量可使大规格坯体密度得到不同程度的提高;所得高密度坯体在1 590℃烧结,可制备出相对密度达99.87%的较大规格ITO靶材。 展开更多
关键词 ito粉 压力注浆 ito靶材坯体
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低毒体系凝胶注模ITO靶材坯体的表面起皮现象与抑制研究 被引量：1
3
作者 杨硕 张大帅 +2 位作者 薛建强 师琳璞 赵延飞 《材料开发与应用》 CAS 2020年第5期54-58,共5页
针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起... 针对凝胶注模成型ITO靶材坯体时出现的表面氧阻聚问题,研究了水溶性高分子PEG、PVP和PAM对ITO浆料、坯体性能及氧阻聚引起的起皮厚度的影响。结果表明:PEG的加入对ITO坯体起皮厚度基本没有影响,加入PVP和PAM均可在不同程度上改善坯体起皮状况,尤其当PAM加入量超过1.5%时,可完全消除氧阻聚引起的坯体表面起皮。 展开更多
关键词 凝胶注模 ito靶材坯体 氧阻聚 表面起皮
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极高密度ITO坯体的制备和低温、欠氧烧结研究
4
作者 杨硕 薛建强 师琳璞 《材料开发与应用》 CAS 2018年第6期68-73,共6页
以平均粒径为50 nm的气化ITO粉体为原料,加入占原料1. 2%的分散剂聚碳酸酯,经球磨、陈腐后再"二次球磨"得到高固含量浆料,而后采用加压注浆成型获得了极高密度坯体。研究了浆料固相含量和粘度的关系,同时研究了浆料固相含量... 以平均粒径为50 nm的气化ITO粉体为原料,加入占原料1. 2%的分散剂聚碳酸酯,经球磨、陈腐后再"二次球磨"得到高固含量浆料,而后采用加压注浆成型获得了极高密度坯体。研究了浆料固相含量和粘度的关系,同时研究了浆料固相含量、陈腐时间与坯体密度的关系。将不同密度坯体在较低温度1 530℃和空气(欠氧)气氛中进行烧结,研究了坯体密度对靶材密度的影响规律。结果表明,在1 530℃、欠氧气氛烧结条件下,极高密度ITO坯体(相对密度75%)烧结后可得到外观黑色、相对密度为98. 3%的靶材,其密度远高于其他密度更低坯体所烧结的靶材。 展开更多
关键词 气化ito粉 陈腐 二次球磨 极高密度坯体
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