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应用Ti掺杂提高VO_(2)薄膜太阳光红外能量调制能力
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作者 曾蓝萱 李慧 +5 位作者 戚家华 刘毅 叶凡 蔡兴民 范平 张东平 《安庆师范大学学报（自然科学版）》 2022年第1期35-42,共8页
二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景。该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO_(2)薄膜不同量的Ti掺杂。并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子... 二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景。该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO_(2)薄膜不同量的Ti掺杂。并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计与四探针测量系统对样品微结构及相变特性进行表征,分析不同Ti掺杂量对VO_(2)薄膜微结构、表面形貌、相变温度、红外调制率的影响。研究结果表明,在Ti靶15 mA放电电流下掺杂的样品,太阳能调制能力有明显提高,达13.8%,但是过高的Ti掺杂则会使VO_(2)薄膜相变性能弱化甚至消失。 展开更多
关键词 二氧化钒 Ti掺杂 相变 红外调制率
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