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热载流子效应对n-MOSFETs可靠性的影响 被引量:5
1
作者 朱炜玲 黄美浅 +2 位作者 章晓文 陈平 李观启 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期33-36,共4页
研究热载流子效应对不同的沟道长度n-MOSFETs退化特性的影响。结果表明,随着器件沟道长度的减小,其跨导退化明显加快,当沟道长度小于1μm时退化加快更显著。这些结果可以用热载流子注入后界面态密度增加来解释。
关键词 热载流子效应 MOSFET 跨导 阈值电压 可靠性
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新型槽栅PMOSFET热载流子退化机理与抗热载流子效应研究 被引量:2
2
作者 任红霞 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期1683-1688,共6页
分析了槽栅器件中的热载流子形成机理 ,发现在三个应力区中 ,中栅压附近热载流子产生概率达到最大 .利用先进的半导体器件二维器件仿真器研究了槽栅和平面PMOSFET的热载流子特性 ,结果表明槽栅器件中热载流子的产生远少于平面器件 ,且... 分析了槽栅器件中的热载流子形成机理 ,发现在三个应力区中 ,中栅压附近热载流子产生概率达到最大 .利用先进的半导体器件二维器件仿真器研究了槽栅和平面PMOSFET的热载流子特性 ,结果表明槽栅器件中热载流子的产生远少于平面器件 ,且对于栅长在深亚微米和超深亚微米情况下尤为突出 .为进一步探讨热载流子加固后对器件特性的其他影响 ,分别对不同种类和浓度的界面态引起的器件栅极和漏极特性的漂移进行了研究 ,结果表明同样种类和密度的界面态在槽栅器件中引起的器件特性的漂移远大于平面器件 .为开展深亚微米和亚 0 1微米新型槽栅CMOS器件的研制奠定了基础 . 展开更多
关键词 槽栅PMOSFET 热载流子退化机理 热载流子效应
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应用于VLSI的PSSWS-LDD MOSFET优化工艺研究 被引量:2
3
作者 徐大林 王方 +2 位作者 李荫波 彭忠献 黄敬 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第2期127-135,共9页
提出实现VLSI的PSSWS(Poly Silicon Side Wall Spacer)—LDD(Lightly DopedDrain)结构,研究了它的形成工艺,获得多晶侧壁形成的优化工艺条件,制作出亚微米有效沟道长度的LDD NMOSFET。在器件性能研究和计算机模拟的基础上,得到PSSWS—LD... 提出实现VLSI的PSSWS(Poly Silicon Side Wall Spacer)—LDD(Lightly DopedDrain)结构,研究了它的形成工艺,获得多晶侧壁形成的优化工艺条件,制作出亚微米有效沟道长度的LDD NMOSFET。在器件性能研究和计算机模拟的基础上,得到PSSWS—LDDMOSFET的优化工艺实现条件;此条件下实现的有效沟道长为0.8μm的PSSWS—LDDNMOSFET,源漏击穿电压达20V,常规器件的小于16V;衬底电流较常规器件的减小约二个数量级。利用此优化条件,研制出高性能的1μm沟道长度的CMOS CD4007电路,2μm沟道长的21级CMOS环振,LSI CMOS 2.5μm沟道长度的门阵列电路GA 300 5SD。结果表明:PSSWS—LDD MOSFET性能衰退小,速度快,可靠性高,适用于VLSI的制造。 展开更多
关键词 VLSI PSSWS-LDD MOSFET 优化工艺
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深亚微米槽栅PMOS结构对抗热载流子效应的影响 被引量:1
4
作者 任红霞 张晓菊 郝跃 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-28,113,共7页
基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 MEDICI对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性的影响进行了研究 ,并从器件物理机制上对研究结果进行了解释。研究发现 ,随着... 基于流体动力学能量输运模型 ,利用二维仿真软件 MEDICI对深亚微米槽栅 PMOS器件的结构参数 ,如凹槽拐角、负结深、沟道和衬底掺杂浓度对器件抗热载流子特性的影响进行了研究 ,并从器件物理机制上对研究结果进行了解释。研究发现 ,随着凹槽拐角、负结深的增大和沟道杂质浓度的提高 ,器件的抗热载流子能力增强。而随着衬底掺杂浓度的提高 ,器件的抗热载流子性能降低。结构参数影响了电场在槽栅 MOS器件的分布和拐角效应 ,从而影响了载流子的运动并使器件的热载流子效应发生变化。 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅PMOSFET 热载流子效应 结构参数
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深亚微米槽栅PMOSFET特性研究
5
作者 任红霞 张晓菊 郝跃 《电子器件》 CAS 2003年第3期233-239,共7页
基于流体动力学能量输运理论,对槽栅PMOSFET器件的端口特性进行了仿真研究,包括栅极特性、漏极驱动能力和抗热载流子性能等。仿真结果表明,与平面器件相比,槽栅结构很好地抑制了短沟道效应和漏感应势垒降低效应,并具有较好的抗热载流子... 基于流体动力学能量输运理论,对槽栅PMOSFET器件的端口特性进行了仿真研究,包括栅极特性、漏极驱动能力和抗热载流子性能等。仿真结果表明,与平面器件相比,槽栅结构很好地抑制了短沟道效应和漏感应势垒降低效应,并具有较好的抗热载流子性能,但其漏极驱动能力低于平面器件,并从内部物理机制上解释了上述区别。 展开更多
关键词 槽栅 PMOSFET 栅极特性 漏极特性 热载流子效应
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深亚微米槽栅PMOSFET几何结构参数对抗热载流子特性的影响
6
作者 任红霞 郝跃 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2002年第6期838-844,共7页
基于流体动力学能量输运模型,利用二维仿真软件Medici对深亚微米槽栅PMOS器件的几何结构参数,如:沟道长度、凹槽拐角、凹槽深度和漏源结深导致的负结深对器件抗热载流子特性的影响进行了研究。并从器件内部物理机理上对研究结果进行了... 基于流体动力学能量输运模型,利用二维仿真软件Medici对深亚微米槽栅PMOS器件的几何结构参数,如:沟道长度、凹槽拐角、凹槽深度和漏源结深导致的负结深对器件抗热载流子特性的影响进行了研究。并从器件内部物理机理上对研究结果进行了解释。研究发现,在深亚微米和超深亚微米区域,槽栅器件能够很好地抑制热载流子效应,且随着凹槽拐角、负结深的增大,器件的抗热载流子能力增强。这主要是因为这些结构参数影响了电场在槽栅MOS器件的分布和拐角效应,从而影响了载流子的运动并使器件的热载流子效应发生变化。 展开更多
关键词 深亚微米 槽栅PMOSFET 热载流子效应 几何结构参数
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不同宽长比的柔性LTPS TFT的电应力可靠性
7
作者 张之壤 朱慧 +3 位作者 刘行 张轶群 徐朝 郑文轩 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第6期589-595,共7页
为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱... 为了研究不同宽长比的柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT)的电应力可靠性,测试了器件的I-V特性,以表征器件在强电场直流应力下由于自热效应和热载流子效应带来的电学性能退化。通过瞬态电流法表征了器件在强电场直流应力下的时间常数谱,并对其产生的新陷阱进行定位,分析了产生陷阱的内在机理。结果表明,在相同的强电场直流应力下宽长比为3/2.5的器件,其电学参数变化最大,自热效应以及热载流子效应带来的影响也最大。自热效应导致器件性能退化的主要原因是较大的栅源电压导致Si/SiO2界面处和栅氧化层中的陷阱增多,而热载流子效应导致器件性能退化的主要原因则是由于较大的漏源电压使得漏极晶界陷阱态密度急剧升高。 展开更多
关键词 柔性低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS TFT) 自热效应 热载流子效应 瞬态电流 强电场直流应力
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沟道宽长比对深亚微米NMOSFET总剂量辐射与热载流子损伤的影响 被引量:5
8
作者 崔江维 余学峰 +1 位作者 任迪远 卢健 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期347-353,共7页
本文对不同沟道宽长比的NMOSFET进行了辐射与热载流子应力的试验研究,电参数测量数据表明:虽然两种损伤的原理具有相似之处,但总剂量辐射与热载流子的损伤表现形式及对沟道宽长比的依赖关系均不同.辐射损伤的最大特点是关态泄漏电流增加... 本文对不同沟道宽长比的NMOSFET进行了辐射与热载流子应力的试验研究,电参数测量数据表明:虽然两种损伤的原理具有相似之处,但总剂量辐射与热载流子的损伤表现形式及对沟道宽长比的依赖关系均不同.辐射损伤的最大特点是关态泄漏电流增加,并且损伤与沟道宽长比成反比;热载流子损伤会造成跨导等参数的显著变化,但关态泄漏电流无明显改变,并且损伤随沟道长度与宽度的减小而增大.从二者基本原理出发,结合宏观参数的表现形式,文中对辐射与热载流子损伤进行了详细分析,认为造成二者损伤差异及对沟道宽长比不同依赖关系的原因在于辐射与热载子注入引入的陷阱电荷部位不同.因此对两种损伤进行加固时应重点从器件设计尺寸、结构等方面综合考虑. 展开更多
关键词 深亚微米 总剂量辐射 热载流子效应
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一种抗热载流子退化效应的新型CMOS电路结构 被引量:4
9
作者 陈勇 杨谟华 +3 位作者 于奇 王向展 李竟春 谢孟贤 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期65-67,共3页
本文在分析MOSFET衬底电流原理的基础上 ,提出了一种新型抗热载流子退化效应的CMOS数字电路结构 .即通过在受热载流子退化效应较严重的NMOSFET漏极串联一肖特基二级管 ,来减小其所受电应力 .经SPICE及电路可靠性模拟软件BERT2 .0对倒相... 本文在分析MOSFET衬底电流原理的基础上 ,提出了一种新型抗热载流子退化效应的CMOS数字电路结构 .即通过在受热载流子退化效应较严重的NMOSFET漏极串联一肖特基二级管 ,来减小其所受电应力 .经SPICE及电路可靠性模拟软件BERT2 .0对倒相器的模拟结果表明 :该结构使衬底电流降低约 5 0 % ,器件的热载流子退化效应明显改善而不会增加电路延迟 ;且该电路结构中肖特基二级管可在NMOSFET漏极直接制作肖特基金半接触来方便地实现 ,工艺简明可行又无须增加芯片面积 . 展开更多
关键词 MOSFET衬底电流 热载流子效应 CMOS电路结构
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MOSFET的热载流子效应及其表征技术 被引量:4
10
作者 赵要 胡靖 +1 位作者 许铭真 谭长华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期432-438,共7页
 介绍了热载流子引起MOS器件退化的机制及其退化模型、最大应力模式和典型的寿命预测模型等,并对器件退化的表征技术进行了概述。
关键词 MOSFET 热载流子效应 可靠性 表征技术 退化模型 寿命预测 场效应晶体管
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叠层SOI MOSFET不同背栅偏压下的热载流子效应
11
作者 汪子寒 常永伟 +3 位作者 高远 董晨华 魏星 薛忠营 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第8期665-669,675,共6页
叠层绝缘体上硅(SOI)器件通过调节背栅偏压来补偿辐照导致的阈值电压退化,对于长期工作在辐射环境中的叠层SOI器件,热载流子效应也是影响其可靠性的重要因素。因此,采用加速老化的方法研究了叠层SOI NMOSFET在不同背栅偏压下的热载流子... 叠层绝缘体上硅(SOI)器件通过调节背栅偏压来补偿辐照导致的阈值电压退化,对于长期工作在辐射环境中的叠层SOI器件,热载流子效应也是影响其可靠性的重要因素。因此,采用加速老化的方法研究了叠层SOI NMOSFET在不同背栅偏压下的热载流子效应。实验结果表明,在负背栅偏压下有更大的碰撞电离,而电应力后阈值电压的退化却随着背栅偏压的减小而减小。通过二维TCAD仿真进一步分析了不同背栅偏压下的热载流子退化机制,仿真结果表明,背栅偏压在改变碰撞电离率的同时也改变了热电子的注入位置,正背栅偏压下会有更多的热电子注入到离前栅中心近的区域,而在负背栅偏压下则是注入到离前栅中心远的区域,从而导致正背栅偏压下的阈值电压退化更严重。 展开更多
关键词 叠层绝缘体上硅(SOI) 热载流子效应 背栅偏压 TCAD仿真 界面陷阱电荷
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Total dose irradiation and hot-carrier effects of sub-micro NMOSFETs 被引量:2
12
作者 Cui Jiangwei Xue Yaoguo +3 位作者 Yu Xuefeng Ren Diyuan Lu Jian Zhang xingyao 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第1期64-67,共4页
Total dose irradiation and the hot-carrier effects of sub-micro NMOSFETs are studied. The results show that the manifestations of damage caused by these two effects are quite different, though the principles of damage... Total dose irradiation and the hot-carrier effects of sub-micro NMOSFETs are studied. The results show that the manifestations of damage caused by these two effects are quite different, though the principles of damage formation are somewhat similar. For the total dose irradiation effect, the most notable damage lies in the great increase of the off-state leakage current. As to the hot-carrier effect, most changes come from the decrease of the output characteristics curves as well as the decrease of trans-conductance. It is considered that the oxide-trapped and interface-trapped charges related to STI increase the current during irradiation, while the negative charges generated in the gate oxide, as well as the interface-trapped charges at the gate interface, cause the degradation of the hot-carrier effect. Different aspects should be considered when the device is generally hardened against these two effects. 展开更多
关键词 sub-micro total dose irradiation hot-carrier effect
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Degradation of the front and back channels in a deep submicron partially depleted SOI NMOSFET under off-state stress 被引量:2
13
作者 郑齐文 余学峰 +6 位作者 崔江维 郭旗 丛忠超 张兴尧 邓伟 张孝富 吴正新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第7期91-96,共6页
The hot-carrier effect charactenstic in a deep submicron partially depleted SOI NMOSFET is investigated. Obvious hot-carrier degradation is observed under off-state stress.The hot-carrier damage is supposed to be indu... The hot-carrier effect charactenstic in a deep submicron partially depleted SOI NMOSFET is investigated. Obvious hot-carrier degradation is observed under off-state stress.The hot-carrier damage is supposed to be induced by the parasitic bipolar effects of a float SOI device.The back channel also suffers degradation from the hot carrier in the drain depletion region as well as the front channel.At low gate voltage,there is a hump in the sub-threshold curve of the back gate transistor,and it does not shift in the same way as the main transistor under stress.While under the same condition,there is a more severe hot-carrier effect with a shorter channel transistor. The reasons for those phenomena are discussed in detail. 展开更多
关键词 SILICON-ON-INSULATOR hot-carrier effect HUMP back gate
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深亚微米CMOS集成电路抗热载流子效应设计 被引量:2
14
作者 陈曦 庄奕琪 +1 位作者 杜磊 胡净 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期509-512,共4页
 热载流子效应(HCE)、电介质击穿、静电放电,以及电迁移等失效机理,已经对VLSI电路的长期可靠性造成了极大的威胁。其中,热载流子效应是最主要的失效机理之一。影响CMOS电路热载流子效应的因素有:晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电...  热载流子效应(HCE)、电介质击穿、静电放电,以及电迁移等失效机理,已经对VLSI电路的长期可靠性造成了极大的威胁。其中,热载流子效应是最主要的失效机理之一。影响CMOS电路热载流子效应的因素有:晶体管的几何尺寸、开关频率、负载电容、输入速率以及晶体管在电路中的位置。通过对这些因素的研究,提出了CMOS电路热载流子可靠性设计的通用准则。 展开更多
关键词 深亚微米 CMOS集成电路 热载流子效应 可靠性设计
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NMOS短沟DD结构热载流子效应的研究 被引量:2
15
作者 杨肇敏 徐葭生 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第7期489-496,共8页
本文描述制作和研究有效沟长为1μm的砷-磷双注入NMOS管(简称DD管).用工艺模拟和器件模拟程序计算和优化了工艺.实验结果与模拟结果完全一致,说明在相同有效沟道长度下DD结构比普通NMOS管的热载流子效应小.
关键词 短沟 MOS管 热载流子效应 NMOS
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N型槽栅金属-氧化物-半导体场效应晶体管抗热载流子效应的研究 被引量:3
16
作者 任红霞 郝跃 许冬岗 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期1241-1248,共8页
用二维器件仿真软件MEDICI模拟分析了N型槽栅金属 氧化物 半导体场效应晶体管的热载流子特性及其对器件性能所造成的损伤 ,并与相应常规平面器件进行了比较 ,同时用器件内部物理量的分布对造成两种结构器件特性不同的原因进行了解释 ... 用二维器件仿真软件MEDICI模拟分析了N型槽栅金属 氧化物 半导体场效应晶体管的热载流子特性及其对器件性能所造成的损伤 ,并与相应常规平面器件进行了比较 ,同时用器件内部物理量的分布对造成两种结构器件特性不同的原因进行了解释 .结果表明槽栅器件对热载流子效应有明显的抑制作用 ,但槽栅器件对热载流子损伤的反应较平面器件敏感 . 展开更多
关键词 槽栅MOSFET 热载流子效应 N型
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Suppressing the hot carrier injection degradation rate in total ionizing dose effect hardened nMOSFETs 被引量:1
17
作者 陈建军 陈书明 +3 位作者 梁斌 何益百 池雅庆 邓科峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第11期346-352,共7页
Annular gate nMOSFETs are frequently used in spaceborne integrated circuits due to their intrinsic good capability of resisting total ionizing dose (TID) effect. However, their capability of resisting the hot carrie... Annular gate nMOSFETs are frequently used in spaceborne integrated circuits due to their intrinsic good capability of resisting total ionizing dose (TID) effect. However, their capability of resisting the hot carrier effect (HCE) has also been proven to be very weak. In this paper, the reason why the annular gate nMOSFETs have good TID but bad HCE resistance is discussed in detail, and an improved design to locate the source contacts only along one side of the annular gate is used to weaken the HCE degradation. The good TID and HCE hardened capability of the design are verified by the experiments for I/O and core nMOSFETs in a 0.18 μm bulk CMOS technology. In addition, the shortcoming of this design is also discussed and the TID and the HCE characteristics of the replacers (the annular source nMOSFETs) are also studied to provide a possible alternative for the designers. 展开更多
关键词 annular gate nMOSFETs total ionizing dose effect hot carrier effect annular sourcenMOSFETs
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深亚微米SOI MOSFET低压热载流子效应研究 被引量:2
18
作者 颜志英 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期90-93,共4页
 当器件尺寸进入深亚微米后,SOIMOS集成电路中的N沟和P沟器件的热载流子效应引起的器件退化已不能忽视。通过分别测量这两种器件的跨导、阈值电压等参数的退化与应力条件的关系,分析了这两种器件的退化规律,对这两种器件的热载流子退...  当器件尺寸进入深亚微米后,SOIMOS集成电路中的N沟和P沟器件的热载流子效应引起的器件退化已不能忽视。通过分别测量这两种器件的跨导、阈值电压等参数的退化与应力条件的关系,分析了这两种器件的退化规律,对这两种器件的热载流子退化机制提出了合理的解释。并模拟了在最坏应力条件下,最大线性区跨导Gmmax退化与漏偏压应力Vd的关系,说明不同沟长的器件在它们的最大漏偏压以下时,能使Gmmax的退化小于10%。 展开更多
关键词 SOI MOSFET 热载流子效应 器件损伤
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总剂量辐射对65 nm NMOSFET热载流子敏感参数的影响 被引量:2
19
作者 苏丹丹 周航 +6 位作者 郑齐文 崔江维 孙静 马腾 魏莹 余学峰 郭旗 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期126-130,共5页
为了研究总剂量辐射对纳米MOS晶体管热载流子效应的影响,对65nm体硅工艺的NMOS器件进行了总剂量辐射和热载流子试验,对比了辐射前后不同宽长比器件的跨导、栅极泄漏电流、线性饱和电流等电参数。结果表明,MOS器件的沟道宽度越窄,热载流... 为了研究总剂量辐射对纳米MOS晶体管热载流子效应的影响,对65nm体硅工艺的NMOS器件进行了总剂量辐射和热载流子试验,对比了辐射前后不同宽长比器件的跨导、栅极泄漏电流、线性饱和电流等电参数。结果表明,MOS器件的沟道宽度越窄,热载流子效应受辐射的影响越显著,总剂量辐射后热载流子效应对器件的损伤增强。分析认为,辐射在STI中引入的陷阱电荷是导致以上现象的主要原因。该研究结果为辐射环境下器件的可靠性评估提供了依据。 展开更多
关键词 65 NM NMOSFET 总剂量效应 热载流子效应
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抗辐射0.18μm NMOS器件热载流子效应研究 被引量:2
20
作者 谢儒彬 张庆东 +2 位作者 纪旭明 吴建伟 洪根深 《电子与封装》 2017年第4期30-33,48,共5页
基于0.18μm CMOS工艺开发了抗总剂量辐射加固技术,制备的1.8 V NMOS器件常态性能良好,器件在500 krad(Si)剂量点时,阈值电压与关态漏电流无明显变化。研究器件的热载流子效应,采用体电流Isub/漏电流Id模型评估器件的HCI寿命,寿命达到5... 基于0.18μm CMOS工艺开发了抗总剂量辐射加固技术,制备的1.8 V NMOS器件常态性能良好,器件在500 krad(Si)剂量点时,阈值电压与关态漏电流无明显变化。研究器件的热载流子效应,采用体电流Isub/漏电流Id模型评估器件的HCI寿命,寿命达到5.75年,满足在1.1 Vdd电压下工作寿命大于0.2年的规范要求。探索总剂量辐射效应与热载流子效应的耦合作用,对比辐照与非辐照器件的热载流子损伤,器件经辐照并退火后,受到的热载流子影响变弱。评估加固工艺对器件HCI可靠性的影响,结果表明场区总剂量加固工艺并不会造成热载流子损伤加剧的问题。 展开更多
关键词 辐射加固 总剂量效应 热载流子效应 0.18μm
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