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高功率微波系统中弧光效应诊断预警系统设计
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作者 谢在鹏 丁昱凯 +2 位作者 梁剑 何源 李永明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期20-25,共6页
电弧放电效应是高功率微波系统中普遍存在的问题,为了确保微波系统的安全稳定工作,通常需要一种快速且稳定的诊断预警系统对电弧放电效应进行在线监测。利用开源硬件和LabVIEW数据采集软件设计了一套实时监测装置,该装置可以在数十微秒... 电弧放电效应是高功率微波系统中普遍存在的问题,为了确保微波系统的安全稳定工作,通常需要一种快速且稳定的诊断预警系统对电弧放电效应进行在线监测。利用开源硬件和LabVIEW数据采集软件设计了一套实时监测装置,该装置可以在数十微秒量级以内实现对腔体内电弧放电产生响应,从而达到保护高功率微波腔体的目的。该装置安装在耦合器的探测器室,并采用了一种冗余硬件设计方法来提高系统的稳定性。本文主要讨论该微波腔体电弧放电效应诊断预警系统的设计方案、软硬件架构和性能分析,并给出了该系统的初步实验结果。 展开更多
关键词 高功率微波系统 弧光放电效应 实时监测 开源硬件 LABVIEW
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大功率射频板条CO_(2)激光器 被引量：2
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作者 唐霞辉 秦应雄 +5 位作者 彭浩 李玉洁 吴洋 肖龙胜 肖瑜 柳娟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期79-92,共14页
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激... 大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。 展开更多
关键词 激光器 大功率射频板条CO_(2)激光器 扩散冷却 非稳-波导混合腔 光束整形 射频激励 气体放电
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