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He离子注入不锈钢中的温度影响 被引量：2
1
作者 李玉璞 王佩璇 +5 位作者 张国光 马如璋 刘家瑞 朱沛然 杨峰 邱长青 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第4期42-47,共6页
用增强质子背散射、SEM、TEM和显微硬度测量等手段,研究了He离子注入316L型不锈钢中的行为,离子束能量和剂量区域分别为30—170keV和10^(14)-3×10^(17)He^+/cm^2,靶温和后退火的温度区域为77—673K。研究了温度对He捕获、He泡结构... 用增强质子背散射、SEM、TEM和显微硬度测量等手段,研究了He离子注入316L型不锈钢中的行为,离子束能量和剂量区域分别为30—170keV和10^(14)-3×10^(17)He^+/cm^2,靶温和后退火的温度区域为77—673K。研究了温度对He捕获、He泡结构、He泡的生长和合并等特性的影响。测量了注氦层显微硬度的变化。 展开更多
关键词 注入 不锈钢 he 捕获 泡 离子 温度
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H、He离子联合注入单晶Si引起的表面损伤研究进展 被引量：1
2
作者 王卓 刘昌龙 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1996-2000,共5页
H和He离子联合注入单晶Si可以促使其表面产生发泡、剥落和层离等表面损伤,由此引发了一种有效地制备SOI材料的新方法,即智能剥离技术。文章简述了H和He离子注入单晶Si在随后的热处理过程中引起表面损伤的机理,探讨了注入条件变化对表面... H和He离子联合注入单晶Si可以促使其表面产生发泡、剥落和层离等表面损伤,由此引发了一种有效地制备SOI材料的新方法,即智能剥离技术。文章简述了H和He离子注入单晶Si在随后的热处理过程中引起表面损伤的机理,探讨了注入条件变化对表面损伤的影响,提出了该领域存在的关键问题并介绍了智能剥离技术在现代半导体技术中潜在的应用前景。 展开更多
关键词 H和he离子联合注入 表面损伤 智能剥离 单晶Si
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惰性气体离子辅助产生Ca^+、He^+及其注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析 被引量：1
3
作者 郑思孝 罗顺忠 +5 位作者 廖小东 龙兴贵 彭述明 王培禄 刘仲阳 刘宁 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期341-345,共5页
介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析。Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结... 介绍了由弗里曼离子源在惰性气体辅助下产生Ca+、He+的研究及其分别注入钛箔和纳米钛膜的微结构分析。Ca+ 注入Ti箔样品的XPX分析表明:在1×1018/cm2注入剂量下,Ca的含量达到33﹪,注入Ca在钛表面主要形成CaTiO3、CaO和TiO2的化学结合的方式与钛基体连接;He+注入纳米钛样品的XRD的衍射谱在15—40°范围内明显分裂及变得较为尖锐,由谢乐公式计算出的纳米膜样品在(100)(101)晶面晶粒粒度大小分别为20.2nm和19.3nm,表明纳米钛膜注氦后仍保持纳米尺度。而AFM在微米视场下观察到纳米钛膜的表层粒子粒度虽有所长大,但在纳米视场却观察到大量的亚结构,结合AFM观察和XRD的分析结果证明在高剂量注入下,存在纳米钛膜表层粒子同时又被碎化成微晶使注氦纳米钛晶粒仍保持纳米尺度的重要现象。 展开更多
关键词 CA^+ he^+离子注入 纳米钛膜 微观结构
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250keV He^+离子注入钽酸锂改性研究
4
作者 庞立龙 王志光 +8 位作者 姚存峰 崔明焕 孙建荣 申铁龙 魏孔芳 朱亚滨 盛彦斌 李远飞 李锦钰 《原子核物理评论》 CSCD 北大核心 2013年第1期67-71,共5页
室温下,将能量为250 keV He+离子注入z切钽酸锂单晶,注量范围为5.0×1014～5.0×1016He+/cm2,应用三维轮廓仪、X射线衍射(XRD)、紫外可见(UV-Vis)光学吸收谱对未注入和注入样品进行了表征和分析。分析结果表明,在注量达到5.0... 室温下,将能量为250 keV He+离子注入z切钽酸锂单晶,注量范围为5.0×1014～5.0×1016He+/cm2,应用三维轮廓仪、X射线衍射(XRD)、紫外可见(UV-Vis)光学吸收谱对未注入和注入样品进行了表征和分析。分析结果表明,在注量达到5.0×1016He+/cm2时,样品表面出现大量凸起条纹,同时晶格沿着[001]方向出现明显肿胀,吸收边则表现出明显的注量相关性。注入样品在空气中放置60 d后,最高注量的样品表面原来凸起的条纹变为细长的裂纹,晶格应变及光学吸收边均出现较大的恢复。讨论了样品表面形貌、晶格应变和光学吸收边与He行为的关系。 展开更多
关键词 钽酸锂 he+注入 表面形貌 X射线衍射 光学吸收边
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