期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
LaTiO_(3)外延薄膜的显微结构与电学性能研究
1
作者 乔贝贝 姚婷婷 +3 位作者 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期407-412,共6页
本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO_(3)(100)和SrTiO_(3)(100)衬底上生长了LaTiO_(3)薄膜,利用高分辨X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征,利用霍尔效应测量系统对薄膜的电学性能进行了研究。XRD结果表明在两种衬... 本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO_(3)(100)和SrTiO_(3)(100)衬底上生长了LaTiO_(3)薄膜,利用高分辨X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征,利用霍尔效应测量系统对薄膜的电学性能进行了研究。XRD结果表明在两种衬底上生长的LaTiO_(3)薄膜均为单晶薄膜,SrTiO_(3)衬底上的薄膜具有更高的结晶度。透射电镜显微结构表征的结果显示,LaTiO_(3)薄膜在两种衬底上均实现了外延生长,SrTiO_(3)衬底上的薄膜具有更少的晶格缺陷,薄膜与衬底之间的界面也更平直和明锐。薄膜I⁃V曲线测量的结果表明SrTiO_(3)衬底上的LaTiO_(3)薄膜具有更低的电阻率。两种薄膜显微结构和电学性能的优劣主要源自于薄膜与衬底之间的晶格失配大小,更小的界面失配有利于高质量薄膜的外延生长。 展开更多
关键词 LaTiO_(3) 脉冲激光沉积 显微结构 透射电子显微学 电阻率
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部