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题名基于HNA溶液腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展
被引量：1
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作者
郑显泽
唐彬
王月
熊壮
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
北大核心
2020年第3期538-544,共7页
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基金
中物院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZM18005)
新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室开放基金资助项目。
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文摘
基于微电子机械系统(MEMS)加工技术的微半球谐振陀螺在吸收了传统半球陀螺全角测量优势的同时具有体积小,质量轻,成本低以及适合批量化生产的特点。在使用牺牲层法来制备微半球壳层结构的过程中,如何在单晶硅上制作一个表面光滑的、结构整体对称性高的半球型模具对于半球谐振子的性能有决定性的影响。在HNA(氢氟酸、硝酸、醋酸)各向同性腐蚀液制作微半球谐振子模具的原理基础上,介绍基于HNA溶液各向同性腐蚀的微半球谐振陀螺研究进展,指出了各向同性腐蚀工艺目前所面临的主要技术问题,并对此提出了一些可能的解决途径。
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关键词
微半球谐振陀螺
各向同性腐蚀
hna溶液
单晶硅
半球谐振子
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Keywords
Micro Hemispherical Resonator Gyroscopes
isotropic etching
hna solution
single crystal silicon
hemispherical shell resonators
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名基于SiO2掩膜层的硅基微半球谐振子模具加工工艺
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作者
郑显泽
李严军
王月
唐彬
熊壮
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机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2020年第4期312-319,332,共9页
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基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZM18005)
新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室开发基金资助项目。
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文摘
微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响。提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀溶液制作微半球陀螺谐振子模具的过程中加快纵向腐蚀速率及实现半球模具三维对称的目的。详细研究了不同腐蚀窗初始半径下HNA腐蚀溶液对〈111〉单晶硅进行纵向和侧向腐蚀时,其腐蚀深度和腐蚀速率的演化规律,并在此基础上通过设置适当的腐蚀窗初始半径(5μm)以及腐蚀时间(15 min),成功制作出了半径为38.937 7μm的三维对称半球谐振子模具,通过球度拟合证明该模具整体半径方差为0.789 3μm,球度偏差为2%,为半球谐振子三维对称性的提升奠定了基础。
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关键词
微半球谐振陀螺
各向同性腐蚀
hna腐蚀溶液
单晶硅
半球谐振子
SIO2
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Keywords
micro-hemispherical resonator gyroscope
isotropic etching
hna etching solution
single crystal silicon
hemispherical resonator
SiO2
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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