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在硅衬底上用HFCVD法生长的纳米SiC薄膜及其室温光致发光 被引量:13
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作者 余明斌 马剑平 +1 位作者 罗家骏 陈治明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期673-676,共4页
用热丝化学汽相淀积 (HFCVD)法在硅衬底上生长具有纳米晶粒结构的碳化硅薄膜 .用X射线光电子谱仪 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、傅里叶红外吸收光谱 (FTIR)、紫外光 Raman散射谱和高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)对薄膜样品进行了结构和组分分... 用热丝化学汽相淀积 (HFCVD)法在硅衬底上生长具有纳米晶粒结构的碳化硅薄膜 .用X射线光电子谱仪 (XPS)、X射线衍射 (XRD)、傅里叶红外吸收光谱 (FTIR)、紫外光 Raman散射谱和高分辨透射电子显微镜 (HRTEM)对薄膜样品进行了结构和组分分析 ,并在室温条件下观察到了薄膜的高强度可见光发射 . 展开更多
关键词 纳米材料 碳化硅 薄膜 光致发光 hfcvd
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热丝CVD生长SiCN薄膜的研究 被引量:11
2
作者 牛晓滨 廖源 +2 位作者 常超 余庆选 方容川 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期397-403,共7页
在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的.进一步的SAED和XRD分析说明SiCN纳米晶粒具有类... 在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的.进一步的SAED和XRD分析说明SiCN纳米晶粒具有类似于α-Si3N4的结构.XPS和FTIR分析表明薄膜中含有Si、C、N和O几种元素以及C=N、Si-N和C-N等共价键,但是并没有观察到C-Si的存在.由实验得出结论,SiCN晶体的生长包括两个步骤:α-Si3N4团簇的生长和C取代其中Si的过程. 展开更多
关键词 hfcvd SiCN薄膜 α-Si3N4 化学气相沉积 纳米晶粒 薄膜生长
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CVD金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用 被引量:18
3
作者 沈彬 孙方宏 +2 位作者 张志明 沈荷生 郭松寿 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2011年第1期1-5,共5页
化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament c... 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD),在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜,并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示,在硬质合金整体式铣刀表面沉积一层CVD金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性,从而提高硬质铣刀的寿命。 展开更多
关键词 CVD金刚石薄膜 热丝CVD法 金刚石薄膜涂层刀具 石墨 碳化硅铝基增强复合材料
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金刚石薄膜制备方法与应用的研究现状 被引量:12
4
作者 吴玉程 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1-16,共16页
金刚石薄膜由于具有良好的耐磨性能以及极高的硬度,其制备与应用受到研究者广泛关注。目前,金刚石的制备方法总体分为两个部分,其一为高温高压法,另一个则为化学气相沉积法。而目前金刚石薄膜所面临的重大问题是镀膜过程中生长速度较慢... 金刚石薄膜由于具有良好的耐磨性能以及极高的硬度,其制备与应用受到研究者广泛关注。目前,金刚石的制备方法总体分为两个部分,其一为高温高压法,另一个则为化学气相沉积法。而目前金刚石薄膜所面临的重大问题是镀膜过程中生长速度较慢,不利于批量生产,另一方面薄膜与基板的附着力较差,其摩擦系数在恶劣的工业环境中较大,这些问题亟待研究解决。本文综述了国内外有关金刚石薄膜化学气相沉积法的各种制备方法,重点讨论了采用热丝化学气相沉积法以及微波化学气相沉积法制备金刚石薄膜的研究现状,并论述了金刚石薄膜的应用优势以及未来金刚石薄膜的制备以及应用的方向和前景。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 hfcvd MPCVD DC PLASMA JET CVD 应用
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N离子注入对金刚石膜场发射特性的影响 被引量:9
5
作者 李俊杰 吴汉华 +3 位作者 龙北玉 吕宪义 胡超权 金曾孙 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期1447-1451,共5页
不同剂量的N离子被注入到化学气相沉积金刚石膜内 ,研究了表面结构及场发射特性的变化 .Raman谱和x射线光电子能谱分析表明 ,N离子的注入破坏了金刚石膜表面原有的sp3结构 ,并在膜内形成大量的sp2 C—C和sp2C—N键 .样品的场发射测试显... 不同剂量的N离子被注入到化学气相沉积金刚石膜内 ,研究了表面结构及场发射特性的变化 .Raman谱和x射线光电子能谱分析表明 ,N离子的注入破坏了金刚石膜表面原有的sp3结构 ,并在膜内形成大量的sp2 C—C和sp2C—N键 .样品的场发射测试显示N离子的注入显著提高了金刚石膜场发射特性 ,膜的场发射阈值电场从注入前的18V μm下降到注入后的 4V μm .金刚石膜场发射特性的提高归因于N离子注入后膜内sp2 C键含量的增加和体内缺陷带的形成 ,这些变化能改变膜的表面功函数 ,提高Feimi能级 ,降低电子隧穿表面的能量势垒 . 展开更多
关键词 金刚石膜 场发射特性 离子注入 RAMAN谱 能级 表面 势垒 注入 功函数 电子隧穿
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热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素 被引量:5
6
作者 李建国 刘实 +3 位作者 李依依 胡东平 李军 周德惠 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第1期41-44,共4页
由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好、设备简单、成本低而得到广泛应用。本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理,并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:预处理技术、碳源浓度、温... 由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好、设备简单、成本低而得到广泛应用。本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理,并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:预处理技术、碳源浓度、温度和气压,在金刚石的形核时期和生长时期这些因素的作用是不同的,同时这些因素又相互影响。根据影响因素制定出了最优的工艺参数,最后在硬质合金上得到了均匀而致密的金刚石薄膜,经XRD分析,由(111)和(220)晶面组成,主要是(111)面,晶粒尺寸平均为113.5nm,这些探索为金刚石沉积技术在工具上的大规模应用打下了基础。 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 影响因素 硬质合金 hfcvd
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热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析 被引量:8
7
作者 李建国 刘实 +4 位作者 李依依 胡东平 季锡林 梅军 周德惠 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期437-443,共7页
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场 的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处 的温度... 根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场 的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处 的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度 的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比 较适宜的热丝几何参数. 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积 耦合模型 空间场 模拟计算
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钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响 被引量:5
8
作者 王传新 汪建华 +5 位作者 满卫东 傅朝坤 李克林 马志斌 王升高 康志成 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第3期10-13,共4页
以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在热丝化学气相沉积装置中 ,制备金刚石薄膜。研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着... 以WC -6%Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在原始试样、酸腐蚀试样以及酸蚀后进行氢等离子体脱碳处理的试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在热丝化学气相沉积装置中 ,制备金刚石薄膜。研究三种不同试样上的金刚石薄膜与基体的附着力。结果表明 ,在原始试样上的金刚石薄膜在冷却过程中自动脱落 ;在经等离子体处理后的试样上 ,金刚石薄膜与基体间附着力高于在经酸蚀处理的试样上的金刚石薄膜与基体附着力。造成这种现象的主要原因可能是等离子体脱碳还原处理降低WC晶粒表面能 ,增强Ti与WC间的结合强度 ,导致TiC过渡层与WC基体结合强度增加 ,从而增加金刚石薄膜附着力。 展开更多
关键词 YG6硬质合金 hfcvd 金刚石薄膜 Ti过渡层
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(100)定向CVD金刚石薄膜的制备及其电学性能 被引量:5
9
作者 苏青峰 夏义本 +4 位作者 王林军 张明龙 楼燕燕 顾蓓蓓 史伟民 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期947-951,共5页
报道了采用HFCVD制备金刚石薄膜的方法,以乙醇为碳源,氢气为载气,在适当的衬底温度下,合成出具有(100)晶面取向均匀生长的金刚石薄膜.SEM,XRD和Raman分析表明,所合成的金刚石薄膜是高质量的多晶(100)取向膜,厚度均匀、化学性能稳定,结... 报道了采用HFCVD制备金刚石薄膜的方法,以乙醇为碳源,氢气为载气,在适当的衬底温度下,合成出具有(100)晶面取向均匀生长的金刚石薄膜.SEM,XRD和Raman分析表明,所合成的金刚石薄膜是高质量的多晶(100)取向膜,厚度均匀、化学性能稳定,结构和性能与天然金刚石相接近.研究了室温下(100)取向金刚石薄膜的暗电流电压特性、稳态55Fe 5. 9keV X射线辐照下的响应和电容频率特性.结果表明,退火后(100)取向多晶金刚石薄膜具有较低的暗电流和较高的X射线响应;高频下,电容和介电损耗都很小且趋于稳定,不随频率的变化而变化. 展开更多
关键词 金刚石薄膜 hfcvd (100)定向生长 电学特性
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HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析 被引量:7
10
作者 杨春 卢文壮 +2 位作者 左敦稳 徐锋 任卫涛 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期434-439,共6页
探讨了典型气氛中热丝辐射、气体热传导与对流、化学反应生热等因素对衬底温度的影响,建立了三维热丝辐射和二维热流耦合有限元模型,研究了各工艺参数对衬底温度场及气相空间场的影响。结果表明H2占主导地位的气氛中衬底表面的氢原子重... 探讨了典型气氛中热丝辐射、气体热传导与对流、化学反应生热等因素对衬底温度的影响,建立了三维热丝辐射和二维热流耦合有限元模型,研究了各工艺参数对衬底温度场及气相空间场的影响。结果表明H2占主导地位的气氛中衬底表面的氢原子重组放热对衬底温度有较大影响,氩气气氛中原子重组放热对衬底温度影响很小;热丝温度对衬底温度的影响最大;进气口到衬底的距离及进气口气体流速对衬底附近的流场影响最大,适当提高进气口到衬底的距离有助于提高衬底附近流场均匀性,增大进气速度有助于突破热障提高衬底表面流速,但同时加剧了衬底附近流场的不均匀性。 展开更多
关键词 金刚石膜 hfcvd 温度场 气相空间场 数值分析
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热丝CVD系统内衬底温度分布的数值研究 被引量:5
11
作者 戚学贵 陈则韶 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2001年第3期29-33,共5页
热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内 ,衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数。本文根据传热学基本原理 ,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布 ,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响 ,探讨了如何改善衬底温度... 热丝法化学气相沉积金刚石薄膜系统内 ,衬底温度和碳源气体浓度是金刚石薄膜生长最为重要的参数。本文根据传热学基本原理 ,数值模拟了衬底表面辐照度、温度分布 ,讨论了衬底热传导等因素对衬底温度分布的影响 ,探讨了如何改善衬底温度均匀性。结果表明 ,考虑衬底横向热传导后 ,衬底表面温度分布均匀性明显优于基于辐射热平衡得到的温度分布 ,在一定程度上有利于生长大面积薄膜。 展开更多
关键词 热丝法化学气相沉积 金刚石薄膜 辐照度 热传导 温度场 数值模拟 衬底温度 温度分布
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BDD污水处理电极对染料废水降解脱色的研究
12
作者 张天颖 万方 +2 位作者 邹西壮 张韬 薛喆 《广州化工》 CAS 2024年第9期108-113,147,共7页
染料废水是典型的高浓度、难降解的有机废水。实验以提高脱色效率及降低降解能耗为目的,依托电化学高级氧化法,利用硼掺杂金刚石薄膜电极对活性艳红X-3B模拟染料废水的降解工艺进行优化研究。实验采用偏压增强热丝化学气相沉积法设备以... 染料废水是典型的高浓度、难降解的有机废水。实验以提高脱色效率及降低降解能耗为目的,依托电化学高级氧化法,利用硼掺杂金刚石薄膜电极对活性艳红X-3B模拟染料废水的降解工艺进行优化研究。实验采用偏压增强热丝化学气相沉积法设备以及动态掺硼工艺,以面积40 cm^(2)Ti为衬底,进行BDD薄膜的合成实验。并通过改变电解时的电压、电解质浓度、pH值、支持电解质参数进行脱色工艺研究,最终获得与Ti基BDD电极适配的较优电解参数。 展开更多
关键词 Ti基BDD电极 hfcvd 染料废水 活性艳红X-3B
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热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算 被引量:6
13
作者 汪爱英 孙超 +3 位作者 王冰 宫骏 黄荣芳 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1217-1222,共6页
对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算.结果表明,通过优化参数,用80mm ×80mm的热丝阵列可以获得76mm × 76 mm面积的均匀衬... 对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算.结果表明,通过优化参数,用80mm ×80mm的热丝阵列可以获得76mm × 76 mm面积的均匀衬底温度区,进一步利用辅助热丝则可将均温区面积扩大到 100mm×100mm.这些结果可以为沉积高质量、大面积金刚石膜的工艺参数提供理论依据. 展开更多
关键词 热丝化学沉积 金刚石膜 温度场 模拟计算 hfcvd
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微米及纳米WC-Co基BDD污水处理电极的制备研究 被引量:2
14
作者 张韬 薛喆 +3 位作者 万方 张天颖 彭广盼 黄国栋 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第2期354-362,共9页
硼掺杂金刚石(BDD)是高级氧化法污水处理领域的一种电极材料,其衬底材料的选择是电极涂层制备的核心问题之一,良好的衬底材料可提高膜基结合力,从而延长电极的使用寿命。本文提出以热膨胀系数较小的WC-Co为衬底,采用热丝化学气相沉积(HF... 硼掺杂金刚石(BDD)是高级氧化法污水处理领域的一种电极材料,其衬底材料的选择是电极涂层制备的核心问题之一,良好的衬底材料可提高膜基结合力,从而延长电极的使用寿命。本文提出以热膨胀系数较小的WC-Co为衬底,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备微米、纳米两种表面形貌的BDD电极,并利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、拉曼光谱、X射线光电子能谱(XPS)、循环伏安法对两种电极的物理性能、表面状态及电化学性能进行表征,研究结果表明:在沉积速率方面,微米薄膜是纳米薄膜的1.5倍,但纳米薄膜具有更小的残余应力,仅为-0.6 GPa;两种电极在0.5 mol/L的H_(2)SO_(4)溶液中均展现较宽的电化学窗口(约为3.7~3.9 V)和极小的背景电流,在K_(3)[Fe(CN)_(6)]氧化还原系统中表现出良好的准可逆特性,这些特性均与常规Si、Nb、Ti基BDD电极相似。在此基础上,本文对两种电极开展了苯酚模拟废水处理和加速寿命试验(ALT),结果显示:相同参数下,纳米电极在ALT中使用寿命约为423 h,明显优于微米电极的310 h;在苯酚氧化实验中,两种电极对苯酚均展现了较好的矿化效果,化学需氧量(COD)处理的电流效率为88%~94%,与标准BDD电极相接近。因此,WC-Co或可作为BDD污水处理电极的良好衬底材料。 展开更多
关键词 BDD电极 WC-CO hfcvd 电化学 难降解有机废水
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Co evolutions for WC-Co with different Co contents during pretreatment and HFCVD diamond film growth processes 被引量:6
15
作者 Xin-chang WANG Cheng-chuan WANG +1 位作者 Wei-kai HE Fang-hong SUN 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期469-486,共18页
Systematical researches were accomplished on WC-Co with different Co contents(6%,10%and 12%,mass fraction).Based on the XPS and EDX,from orthogonal pretreatment experiments,it is indicated that the acid concentration,... Systematical researches were accomplished on WC-Co with different Co contents(6%,10%and 12%,mass fraction).Based on the XPS and EDX,from orthogonal pretreatment experiments,it is indicated that the acid concentration,the time of the acid pretreatment and the original Co content have significant influences on the Co-removal depth(D).Moreover,the specimen temperature,original Co content and Co-removal depth dependences of the Co evolution in nucleation,heating(in pure H2 atmosphere)and growth experiments were discussed,and mechanisms of Co evolutions were summarized,providing sufficient theoretical bases for the deposition of high-quality diamond films on WC-Co substrates,especially Co-rich WC-Co substrates.It is proven that the Co-rich substrate often presents rapid Co diffusion.The high substrate temperature can promote the Co diffusion in the pretreated substrate,while acts as a Co-etching process for the untreated substrates.It is finally found that the appropriate Co-removal depth for the WC-12%Co substrate is 8-9μm. 展开更多
关键词 hfcvd diamond film WC-CO Murakami-acid pretreatment Co content Co evolution
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基于模型复制法的金刚石微结构制备研究 被引量:6
16
作者 袁佳晶 卢文壮 +2 位作者 王红军 徐锋 左敦稳 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1141-1145,共5页
CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉... CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构。Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法。 展开更多
关键词 CVD金刚石 模型 微结构 hfcvd
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金刚石薄膜合成技术 被引量:2
17
作者 向军 饶丽 《四川工业学院学报》 1999年第3期47-52,共6页
作者对金刚石薄膜气相合成的历史,金刚石薄膜的沉积方法以及金刚石薄膜沉积技术的发展方向和应用前景进行了论述。
关键词 金刚石薄膜 气相沉积 合成 hfcvd
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HFCVD系统中衬底接触热阻的研究 被引量:6
18
作者 李磊 左敦稳 +2 位作者 徐锋 黎向锋 卢文壮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期27-31,51,共6页
建立了热丝CVD大面积金刚石膜沉积的衬底温度场模型,对影响衬底温度场的接触热阻及其他相关沉积参数进行了模拟计算。根据实验结果,对接触热阻的计算公式进行了修正。当ζ=0.75时,计算结果和实验结果基本上吻合。在仿真条件下,考虑衬底... 建立了热丝CVD大面积金刚石膜沉积的衬底温度场模型,对影响衬底温度场的接触热阻及其他相关沉积参数进行了模拟计算。根据实验结果,对接触热阻的计算公式进行了修正。当ζ=0.75时,计算结果和实验结果基本上吻合。在仿真条件下,考虑衬底三维热传导以及热丝温度的不均匀分布使衬底温度场的均匀性明显优于纯热辐射下的温度场。这些计算结果为制备大面积高质量的金刚石薄膜提供了理论基础。 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积法 接触热阻 有限元 温度场 金刚石膜
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热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应 被引量:5
19
作者 刘德义 黄荣芳 +2 位作者 于杰 闻立时 师昌绪 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1996年第3期279-284,共6页
对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明,在样品平面沿X,Y方向均匀辐照度(温度)区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Z方向均匀辐照度(温度)区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度... 对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明,在样品平面沿X,Y方向均匀辐照度(温度)区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Z方向均匀辐照度(温度)区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度(温度)的大小可通过改变加热丝间距得到控制. 展开更多
关键词 辐照场 金刚石膜 hfcvd 薄膜生长
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HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究 被引量:4
20
作者 汪爱英 孙超 +2 位作者 邹友生 黄荣芳 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1228-1232,共5页
热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000K恒... 热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底表面辐照度和衬底温度的空间分布进行了模拟计算,探讨了衬底横向热传导对衬底温度分布的影响.结果表明,在绝热边界和1000K恒温边界条件下,热传导都使衬底温度的空间分布均匀性明显优于纯热辐射下的温度分布.这些计算结果为大面积高质量金刚石膜的生长进一步提供了理论基础. 展开更多
关键词 hfcvd 金刚石薄膜 温度场 数值研究 热传导 热丝化学气相沉积
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