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题名新型石墨舟等离子体清洗设备的工艺效果与优势
被引量：2
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作者
许烁烁
杨彬
张威
彭宜昌
唐电
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机构
湖南红太阳光电科技有限公司
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第2期6-9,共4页
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文摘
新型石墨舟等离子体清洗设备能有效减少清洗时间,减少了非晶硅沉积工艺中磷烷的用量,提高了隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池转换效率,具有很大的竞争优势。研究了等离子体清洗工艺参数对电池转换效率的影响,得到了最佳的石墨舟等离子体清洗工艺参数,即:石墨舟温度300℃、清洗时间150 min,将非晶硅沉积工艺中磷烷的流量减半,制备的TOPCon电池转换效率达24.154%,比湿法设备高0.033%。
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关键词
隧穿氧化层钝化接触电池
掺杂非晶硅
石墨舟清洗
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Keywords
TOPCon solar cell
Doped amorphous silicon
graphite boat cleaning
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名石墨舟清洁等离子电源设计与控制
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作者
薛家祥
王一统
马财钰
金礼
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机构
华南理工大学机械与汽车工程学院
贵州民族大学物理与机电工程学院
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出处
《自动化与仪表》
2024年第6期21-24,30,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51875213)
广东省自然科学基金项目(2214050007061)
+1 种基金
贵州省省级科技计划项目(ZK[2022]198)
贵州省高等学校教学内容和课程体系改革项目(2021083)。
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文摘
针对现有的石墨舟清洁等离子体电源控制系统动态响应不及时,无法适应大功率调节范围和系统稳定性差的问题,提出了一种等离子体电源设计与控制方法,根据等离子电源的工作原理与负载特性,通过PFM&PSPWM混合调制的控制策略,改变执行频率和移相角,实现了对于多种等离子负载宽功率范围的适应性和全桥逆变的软开关,提高了系统的适应性和稳定性。基于TMS280049研制样机验证了方案的可行性,表明本设计具有实际应用价值。
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关键词
等离子体电源
石墨舟清洁
DSP
PFM&PSPWM混合调制
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Keywords
plasma power supply
graphite boat cleaning
DSP
PFM&PSPWM hybrid modulatin
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分类号
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
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