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基于条件生成式对抗网络的数据增强方法 被引量:38
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作者 陈文兵 管正雄 陈允杰 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2018年第11期3305-3311,共7页
深度卷积神经网络(CNN)在大规模带有标签的数据集训练下,训练后模型能够取得高的识别率或好的分类效果,而利用较小规模数据集训练CNN模型则通常出现过拟合现象。针对这一问题,提出了一种集成高斯混合模型(GMM)及条件生成式对抗网络(CGAN... 深度卷积神经网络(CNN)在大规模带有标签的数据集训练下,训练后模型能够取得高的识别率或好的分类效果,而利用较小规模数据集训练CNN模型则通常出现过拟合现象。针对这一问题,提出了一种集成高斯混合模型(GMM)及条件生成式对抗网络(CGAN)的数据增强方法并记作GMM-CGAN。首先,通过围绕核心区域随机滑动采样的方法增加数据集样本数量;其次,假定噪声随机向量服从GMM描述的分布,将它作为CGAN生成器的初始输入,图像标签作为CGAN条件,训练CGAN以及GMM模型的参数;最后,利用已训练CGAN生成符合样本真实分布的新数据集。对包含12种雾型386个样本的天气形势图基准集利用GMM-CGAN方法进行数据增强,增强后的数据集样本数多达38600个,将该数据集训练的CNN模型与仅使用仿射变换增强的数据集及CGAN方法增强的数据集训练的CNN模型相比,实验结果表明,前者的平均分类正确率相较于后两个模型分别提高了18.2%及14.1%,达到89.1%。 展开更多
关键词 图像分类 深度卷积神经网络 高斯混合模型 有条件对抗神经网络 数据增强算法
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基于GrabCut改进的图像分割算法 被引量:37
2
作者 周良芬 何建农 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2013年第1期49-52,共4页
针对GrabCut算法对于局部噪声敏感、耗时且提取边缘不理想等缺点,提出一种基于GrabCut改进的图像分割新算法。采用多尺度分水岭对梯度图像平滑去噪;对新梯度图像再次进行分水岭运算,不仅增强了图像的边缘点,还减少了后续处理的计算量;... 针对GrabCut算法对于局部噪声敏感、耗时且提取边缘不理想等缺点,提出一种基于GrabCut改进的图像分割新算法。采用多尺度分水岭对梯度图像平滑去噪;对新梯度图像再次进行分水岭运算,不仅增强了图像的边缘点,还减少了后续处理的计算量;再用熵惩罚因子优化分割能量函数,抑制了目标信息的损失。实验结果表明,所提算法同传统算法的分割结果相比较,降低了错误率,增大了Kappa系数,提高了运行效率,并且,提取的边缘也更完整、平滑,适用于不同类型的图像分割。 展开更多
关键词 GrabCut算法 高斯混合模型 二次分水岭分割 熵惩罚
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基于MFCC和短时能量混合的异常声音识别算法 被引量:29
3
作者 吕霄云 王宏霞 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2010年第3期796-798,共3页
针对现行异常声音识别算法复杂度高和特征识别率低的问题,将梅尔频率倒谱系数(MFCC)与短时能量混合特征应用到异常声音识别系统中。该混合特征使得高斯混合模型(GMM)分类器可获得比使用MFCC特征及其差分MFCC更好的分类性能。给出了系统... 针对现行异常声音识别算法复杂度高和特征识别率低的问题,将梅尔频率倒谱系数(MFCC)与短时能量混合特征应用到异常声音识别系统中。该混合特征使得高斯混合模型(GMM)分类器可获得比使用MFCC特征及其差分MFCC更好的分类性能。给出了系统实现的具体步骤,并通过仿真实验证明了该算法的有效性,分类器的平均识别率可达到90%以上,并且计算复杂度小。 展开更多
关键词 异常声音识别 梅尔倒谱系数 短时能量 高斯混合模型
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基于滑动窗的混合高斯模型运动目标检测方法 被引量:28
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作者 周建英 吴小培 +1 位作者 张超 吕钊 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第7期1650-1656,共7页
在复杂场景下,传统混合高斯模型能较好地检测出运动目标,但随着时间的推移,模型参数收敛缓慢且难以适应场景中真实背景的实时变化,从而导致运动目标的错误检测率增加。该文利用滑动窗技术的短时历史记忆特性,提出一种新颖的基于滑动窗... 在复杂场景下,传统混合高斯模型能较好地检测出运动目标,但随着时间的推移,模型参数收敛缓慢且难以适应场景中真实背景的实时变化,从而导致运动目标的错误检测率增加。该文利用滑动窗技术的短时历史记忆特性,提出一种新颖的基于滑动窗的混合高斯模型运动目标检测方法,该方法弥补了传统混合高斯背景模型不能及时形成新背景的缺点,提高了运动检测的完整性,并进一步降低了算法对场景光照变化的敏感性。多场景下的对比实验结果表明,该方法能更准确、完整地检测出运动目标并具有更好的环境适应性。 展开更多
关键词 运动目标检测 滑动窗 混合高斯模型 背景模型
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基于图像片马尔科夫随机场的脑MR图像分割算法 被引量:26
5
作者 宋艳涛 纪则轩 孙权森 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期1754-1763,共10页
传统的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM)算法在图像分割中未考虑像素的空间信息,导致其对于噪声十分敏感.马尔科夫随机场(Markov random field,MRF)模型通过像素类别标记的Gibbs分布先验概率引入了图像的空间信息,能较好地分... 传统的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM)算法在图像分割中未考虑像素的空间信息,导致其对于噪声十分敏感.马尔科夫随机场(Markov random field,MRF)模型通过像素类别标记的Gibbs分布先验概率引入了图像的空间信息,能较好地分割含有噪声的图像,然而MRF模型的分割结果容易出现过平滑现象.为了解决上述缺陷,提出了一种新的基于图像片权重方法的马尔科夫随机场图像分割模型,对邻域内的不同图像片根据相似度赋予不同的权重,使其在克服噪声影响的同时能保持图像细节信息.同时,采用KL距离引入先验概率与后验概率关于熵的惩罚项,并对该惩罚项进行平滑,得到最终的分割结果.实验结果表明,算法具有较强的自适应性,能够有效克服噪声对于分割结果的影响,并获得较高的分割精度. 展开更多
关键词 脑MR图像 图像分割 图像片 高斯混合模型 马尔科夫随机场
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基于混合高斯模型的阴影去除算法 被引量:23
6
作者 张红颖 李鸿 孙毅刚 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2013年第1期31-34,共4页
阴影去除是智能视频领域中运动目标识别的一项重要内容,其结果直接影响目标识别的准确性。针对当前基于纹理特征的阴影去除算法的不足,提出一种结合YCbCr颜色空间和混合高斯模型(GMM)的阴影去除算法。首先利用混合高斯模型提取出运动区... 阴影去除是智能视频领域中运动目标识别的一项重要内容,其结果直接影响目标识别的准确性。针对当前基于纹理特征的阴影去除算法的不足,提出一种结合YCbCr颜色空间和混合高斯模型(GMM)的阴影去除算法。首先利用混合高斯模型提取出运动区域;然后通过分析运动区域的前景和背景在YCbCr颜色空间的差值统计特性,建立混合高斯阴影模型;最后根据高斯分布的概率分布规律,得到阴影分布特性,从而实现对阴影的去除。对于实验中的序列图像,所提算法有70%以上的阴影检测率。实验结果表明,所提方法能够在不同的场合快速有效地去除阴影,准确地提取运动目标。 展开更多
关键词 阴影模型 YCBCR颜色空间 混合高斯模型 阴影去除 颜色统计特性
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基于混合高斯和HOG+SVM的行人检测模型 被引量:21
7
作者 龚露鸣 徐美华 +1 位作者 刘冬军 张发宇 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期341-351,共11页
为了提高行人检测系统的检测率,提出了一种基于混合高斯背景建模结合方向梯度直方图(histogram of oriented gradient,HOG)+支持向量机(support vector machine,SVM)的行人检测模型.首先,采用混合高斯模型进行前景分割,有效提取出运动... 为了提高行人检测系统的检测率,提出了一种基于混合高斯背景建模结合方向梯度直方图(histogram of oriented gradient,HOG)+支持向量机(support vector machine,SVM)的行人检测模型.首先,采用混合高斯模型进行前景分割,有效提取出运动目标区域;然后,在行人识别部分通过缩小检测窗口尺寸来降低HOG特征维数;另外,利用误识别区域,对样本库的信息进行二次更新,以优化SVM分类器;最后,以随机视频帧为测试样本进行模型性能验证.结果表明,在保证检测率和检测速率的情况下,该混合高斯结合HOG+SVM模型的误检率仅为4%,说明该模型能够在复杂场景下实时准确地进行行人检测. 展开更多
关键词 行人检测 混合高斯模型 区域提取 梯度方向直方图 降维
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可变类空间约束高斯混合模型遥感图像分割 被引量:21
8
作者 赵泉华 石雪 +1 位作者 王玉 李玉 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期34-43,共10页
针对传统高斯混合模型(GMM,Gaussian mixture model)难以自动获取类属数和对噪声敏感问题,提出了一种基于可变类空间约束GMM的遥感图像分割方法。首先在构建的GMM中,将像素类属性建模为马尔可夫随机场(MRF,Markov random field),并在此... 针对传统高斯混合模型(GMM,Gaussian mixture model)难以自动获取类属数和对噪声敏感问题,提出了一种基于可变类空间约束GMM的遥感图像分割方法。首先在构建的GMM中,将像素类属性建模为马尔可夫随机场(MRF,Markov random field),并在此基础上定义其先验概率;结合邻域像素类属性的后验概率和先验概率,定义噪声平滑因子,以提高算法的抗噪性;在参数求解过程中,分别采用可逆跳变马尔可夫链蒙特卡罗(RJMCMC,reversible jump Markov chain Monte Carlo)方法和最大似然(ML,maximum likelihood)方法估计类属数和模型参数;最后以最小化噪声平滑因子为准则获取最终分割结果。为了验证提出的分割方法,分别对模拟图像和全色遥感图像进行了可变类分割实验。实验结果表明提出方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 高斯混合模型 空间约束 最大似然估计 可逆跳变马尔可夫链蒙特卡罗 遥感图像分割
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基于混合高斯模型的行人检测方法 被引量:20
9
作者 李娟 邵春福 杨励雅 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期41-45,共5页
针对道路交通中行人的特点,从参数更新、背景估计和前景分割三个方面改进传统的混合高斯模型,提出一种有效的行人检测方法。首先,利用基于图像分割的参数更新模型,减少将静止前景判定为背景的可能性;其次,采用前景融合时间调整机制,控... 针对道路交通中行人的特点,从参数更新、背景估计和前景分割三个方面改进传统的混合高斯模型,提出一种有效的行人检测方法。首先,利用基于图像分割的参数更新模型,减少将静止前景判定为背景的可能性;其次,采用前景融合时间调整机制,控制前景融入背景的时间;最后,引入均值权值的概念,优化前景分割的条件。试验结果表明,改进的算法优于传统的混合高斯模型,具有良好的鲁棒性和自适应性,可正确检测出移动速度缓慢或静止的行人。 展开更多
关键词 交通运输系统工程 智能交通系统 行人检测 背景提取 混合高斯模型
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基于记忆的混合高斯背景建模 被引量:19
10
作者 齐玉娟 王延江 李永平 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第11期1520-1526,共7页
混合高斯模型(Gaussian mixture model,GMM)可对存在渐变及重复性运动的场景进行建模,被认为是最好的背景模型之一.然而,它不能解决场景中存在的突变,如门的打开/关闭等.为解决此类问题,受人类认知环境方式的启发,本文将人类记忆机制引... 混合高斯模型(Gaussian mixture model,GMM)可对存在渐变及重复性运动的场景进行建模,被认为是最好的背景模型之一.然而,它不能解决场景中存在的突变,如门的打开/关闭等.为解决此类问题,受人类认知环境方式的启发,本文将人类记忆机制引入到背景建模,提出一种基于记忆的混合高斯模型(Memory-based GMM,MGMM).每个像素都要经过瞬时记忆、短时记忆和长时记忆三个空间的传输和处理.本文提出的基于记忆的背景模型能够记住曾经出现的背景,从而能更快地适应场景的变化. 展开更多
关键词 背景建模 混合高斯模型 记忆 基于记忆的混合高斯模型 运动目标分割 背景减除
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基于梅尔频率倒谱系数与翻转梅尔频率倒谱系数的说话人识别方法 被引量:19
11
作者 胡峰松 张璇 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2012年第9期2542-2544,共3页
为提高说话人识别系统的识别率,提出了基于梅尔频率倒谱系数(MFCC)与翻转梅尔频率倒谱系数(IMFCC)为特征参数的特征提取新方法。该方法利用Fisher准则将MFCC和IMFCC相结合,构造了一种混合特征参数。实验结果表明,新的混合特征参数与MFC... 为提高说话人识别系统的识别率,提出了基于梅尔频率倒谱系数(MFCC)与翻转梅尔频率倒谱系数(IMFCC)为特征参数的特征提取新方法。该方法利用Fisher准则将MFCC和IMFCC相结合,构造了一种混合特征参数。实验结果表明,新的混合特征参数与MFCC相比,在纯净语音库及噪声环境中均具有较好的识别性能。 展开更多
关键词 说话人识别 梅尔频率倒谱系数 翻转梅尔频率倒谱系数 FISHER准则 高斯混合模型
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基于分水岭变换和图割的彩色图像快速分割 被引量:18
12
作者 徐秋平 郭敏 王亚荣 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第19期210-212,215,共4页
基于图割理论的图像分割具有结合多种知识的统一图像分割框架,可获取全局最优解,但海量的像素级处理单元以及为达到一定分割精度而采用的迭代求解模式,导致算法分割效率不高。以GrabCut算法为基础,通过分水岭变换,将图像划分成区域内颜... 基于图割理论的图像分割具有结合多种知识的统一图像分割框架,可获取全局最优解,但海量的像素级处理单元以及为达到一定分割精度而采用的迭代求解模式,导致算法分割效率不高。以GrabCut算法为基础,通过分水岭变换,将图像划分成区域内颜色相似的若干分块,以各个块内像素的RGB均值代表所在分块的全部像素点来估计高斯混合模型参数,使问题规模减小,算法效率得到提高。 展开更多
关键词 图割 分水岭变换 高斯混合模型
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基于数据的风电机组发电机健康状况评估 被引量:18
13
作者 张静 李柠 +1 位作者 李少远 黄猛 《信息与控制》 CSCD 北大核心 2018年第6期694-701,712,共9页
发电机是风电机组中的关键部件,然而由于运行环境恶劣、内部结构复杂,发电机发生故障的概率较高且维修困难.针对此问题,提出了一种基于SCADA(supervisory control and data acquisition)数据的发电机健康状况的评估方法.首先结合专家经... 发电机是风电机组中的关键部件,然而由于运行环境恶劣、内部结构复杂,发电机发生故障的概率较高且维修困难.针对此问题,提出了一种基于SCADA(supervisory control and data acquisition)数据的发电机健康状况的评估方法.首先结合专家经验并分析状态变量间的相关性,识别出与发电机运行状态具有较强关系的变量和冗余变量,在此基础上进行合理的特征选择.然后利用历史多维状态信息,采用发电机健康运行时的数据建立基于高斯混合模型(GMM)的健康基准模型.最后设计一种基于马氏距离的健康衰退指标(HDI)用于评判发电机的健康状况.利用上海电气某风场2016年的SCADA数据对本文方法进行验证,结果表明,该方法可以准确地跟踪发电机运行状态的变化过程,起到了很好的故障早期识别作用且具有普适性. 展开更多
关键词 发电机 相关性分析 高斯混合模型 在线健康评估 健康衰退指标
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融合K-means与高斯混合模型的驾驶风格聚类研究 被引量:16
14
作者 刘通 付锐 +1 位作者 张名芳 田顺 《中国安全科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第12期40-45,共6页
为研究驾驶员的跟车特性,探究驾驶员风格划分方法,采集50名驾驶员的实车试验数据,选取平均跟车时距和平均制动时距为二维向量,建立基于K-means聚类结果的高斯混合模型(GMM)并分析不同风格驾驶员的聚类结果。研究表明:样本数据聚为3类时... 为研究驾驶员的跟车特性,探究驾驶员风格划分方法,采集50名驾驶员的实车试验数据,选取平均跟车时距和平均制动时距为二维向量,建立基于K-means聚类结果的高斯混合模型(GMM)并分析不同风格驾驶员的聚类结果。研究表明:样本数据聚为3类时的平均轮廓系数为0. 45,将驾驶员划分为冒进型、平稳型、保守型3类时聚类效果较好;冒进型驾驶员倾向于选择较小的跟车时距和制动时距,保守型驾驶员的跟车及制动时距则普遍较大,模型聚类结果更加柔性,样本区分度更高。 展开更多
关键词 驾驶风格 K-MEANS聚类 高斯混合模型(gmm) 跟车特性 制动特点
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基于MFCC和GMM的昆虫声音自动识别 被引量:16
15
作者 竺乐庆 张真 《昆虫学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期466-471,共6页
昆虫的运动、取食、鸣叫都会发出声音,这些声音存在种内相似性和种间差异性,因此可用来识别昆虫的种类。基于昆虫声音的昆虫种类自动检测技术对协助农业和林业从业人员方便地识别昆虫种类非常有意义。本研究采用了语音识别领域里的声音... 昆虫的运动、取食、鸣叫都会发出声音,这些声音存在种内相似性和种间差异性,因此可用来识别昆虫的种类。基于昆虫声音的昆虫种类自动检测技术对协助农业和林业从业人员方便地识别昆虫种类非常有意义。本研究采用了语音识别领域里的声音参数化技术来实现昆虫的声音自动鉴别。声音样本经预处理后,提取梅尔倒谱系数(Mel-frequency cepstrum coefficient,MFCC)作为特征,并用这些样本提取的MFCC特征集训练混合高斯模型(Gaussian mixturemodel,GMM)。最后用训练所得到的GMM对未知类别的昆虫声音样本进行分类。该方法在包含58种昆虫声音的样本库中进行了评估,取得了较高的识别正确率(平均精度为98.95%)和较理想的时间性能。该测试结果证明了基于MFCC和GMM的语音参数化技术可以用来有效地识别昆虫种类。 展开更多
关键词 昆虫 种类鉴定 声音处理 自动识别 梅尔倒谱系数 混合高斯模型
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基于GMM的间歇过程故障检测 被引量:16
16
作者 王静 胡益 侍洪波 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第5期899-905,共7页
对间歇过程的多操作阶段进行划分时,往往会被离群点和噪声干扰,影响建模的精确性,针对此问题提出一种新的方法:主元分析–多方向高斯混合模型(Principal component analysis-multiple Gaussian mixture model,PCA-MGMM)建模方法.首先用... 对间歇过程的多操作阶段进行划分时,往往会被离群点和噪声干扰,影响建模的精确性,针对此问题提出一种新的方法:主元分析–多方向高斯混合模型(Principal component analysis-multiple Gaussian mixture model,PCA-MGMM)建模方法.首先用最短长度法对数据进行等长处理,融合不同展开方法相结合的处理方式消除数据预估问题;利用主元分析方法将数据转换到对故障较为敏感的低维子空间中,得到主元的同时消除了离群点和噪声的干扰;通过改进的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM)算法对各阶段主元进行聚类,减少了运算量的同时自动得到最佳高斯成分和对应的统计分布参数;最后将局部指标融合为全局概率监控指标,实现了连续的在线监控.通过一个实际的半导体制造过程的仿真研究验证了所提方法的有效性. 展开更多
关键词 间歇过程 多阶段操作 故障检测 高斯混合模型 全局概率指标
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基于统计模型和活动轮廓的运动目标检测与跟踪 被引量:8
17
作者 王长军 朱善安 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期249-253,共5页
提出了一种静止背景视频序列中运动目标的检测与跟踪方法.对连续两帧图像序列作差分计算,对差分图像的灰度分布建立混和高斯模型(GMM),采用期望最大化(EM)算法估计模型参数,并引入基于GMM模型的边界检测算子,进而构造运动边界图像.改进... 提出了一种静止背景视频序列中运动目标的检测与跟踪方法.对连续两帧图像序列作差分计算,对差分图像的灰度分布建立混和高斯模型(GMM),采用期望最大化(EM)算法估计模型参数,并引入基于GMM模型的边界检测算子,进而构造运动边界图像.改进静态图像轮廓提取算法GVF-Snake,利用运动边界图像修改GVF-Snake的能量项,使其能够提取视频序列中运动目标的轮廓.采用一种根据目标区域自动初始化轮廓的方法解决Snake初始轮廓需要手工设定的问题,采用一阶差分预测算法加快轮廓收敛速度.利用改进的GVF-Snake算法对运动目标进行检测与跟踪,结果表明,该算法对刚性和非刚性两类目标都具有较好的检测与跟踪效果. 展开更多
关键词 运动边界检测 目标跟踪 GVF-Snaket混和高斯模型
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复杂条件下高斯混合模型的自适应背景更新 被引量:15
18
作者 李明之 马志强 +1 位作者 单勇 张晓燕 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2011年第7期1831-1834,共4页
针对高斯混合模型背景更新中面临的光照突变和目标与背景相互转化的问题,提出一种分情况分区域的背景自适应更新算法。首先根据当前检测目标的面积大小判别是否发生光照突变情况,采取针对性更新策略,对于未发生光照突变情况再分背景区... 针对高斯混合模型背景更新中面临的光照突变和目标与背景相互转化的问题,提出一种分情况分区域的背景自适应更新算法。首先根据当前检测目标的面积大小判别是否发生光照突变情况,采取针对性更新策略,对于未发生光照突变情况再分背景区域和目标区域分别进行背景自适应更新。其中,重点讨论了目标区域的背景更新问题,提出根据目标尺寸、运动速度和匹配次数等特征参数来调整目标区域的背景更新速率。仿真结果表明,该算法在保证了目标检测完整性的同时,提高了模型对背景变化的适应能力。 展开更多
关键词 高斯混合模型 背景更新 运动目标检测
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基于ARM的智能视频监控人脸检测系统的设计 被引量:16
19
作者 梁光胜 曾华荣 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2017年第A02期301-305,共5页
针对传统视频监控系统存在的不足,提出了一个基于人脸检测的智能视频监控系统。首先,简述了人脸检测的发展历史和传统人脸检测算法在特征表达与分类器中存在的不足;随后,利用新兴的深度学习网络设计了人脸检测算法。该算法首先使用高斯... 针对传统视频监控系统存在的不足,提出了一个基于人脸检测的智能视频监控系统。首先,简述了人脸检测的发展历史和传统人脸检测算法在特征表达与分类器中存在的不足;随后,利用新兴的深度学习网络设计了人脸检测算法。该算法首先使用高斯混合模型提取干净的背景图像,其次采用Goog Le Net网络提取图像的特征,利用长短时记忆网络(LSTMN)对序列的处理能力从特征矢量得到人脸位置及大小。系统运行在基于ARM的树莓派开发板上,采用香港中文大学Mall Street监控数据集对系统进行定性与定量测试,测试性能以查全率和查准率度量,其实验结果分别为55.4%和90.3%,表明该系统具有较强的人脸检测性能。 展开更多
关键词 人脸检测 树莓派 高斯混合模型 特征提取 长短时记忆网络
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基于局部与非局部线性判别分析和高斯混合模型动态集成的晶圆表面缺陷探测与识别 被引量:16
20
作者 余建波 卢笑蕾 宗卫周 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期47-59,共13页
在复杂的半导体制造过程中,晶圆生产经过薄膜沉积、蚀刻、抛光等多项复杂的工序,制造过程中的异常波动都可能导致晶圆缺陷产生.晶圆表面的缺陷模式通常反映了半导体制造过程的各种异常问题,生产线上通过探测和识别晶圆表面缺陷,可及时... 在复杂的半导体制造过程中,晶圆生产经过薄膜沉积、蚀刻、抛光等多项复杂的工序,制造过程中的异常波动都可能导致晶圆缺陷产生.晶圆表面的缺陷模式通常反映了半导体制造过程的各种异常问题,生产线上通过探测和识别晶圆表面缺陷,可及时判断制造过程故障源并进行在线调整,降低晶圆成品率损失.本文提出了基于一种流形学习算法与高斯混合模型动态集成的晶圆表面缺陷在线探测与识别模型.首先该模型开发了一种新型流形学习算法—局部与非局部线性判别分析法(Local and nonlocal linear discriminant analysis,LNLDA),通过融合数据局部/非局部信息以及局部/非局部惩罚信息,有效地提取高维晶圆特征数据的内在流形结构信息,以最大化数据不同簇样本的低维映射距离,保持特征数据中相同簇的低维几何结构.针对线上晶圆缺陷产生的随机性和复杂性,该模型对每种晶圆缺陷模式构建相应的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM),提出了基于高斯混合模型动态集成的晶圆缺陷在线探测与识别方法.本文提出的模型成功地应用到实际半导体制造过程的晶圆表面缺陷在线探测与识别,在WM-811K晶圆数据库的实验结果验证了该模型的有效性与实用性. 展开更多
关键词 半导体制造 晶圆缺陷 模式识别 流形学习 高斯混合模型
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