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一种新型的a-Si:H静电感应晶体管
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作者 林璇英 林揆训 +1 位作者 王德和 陈志全 《汕头大学学报(自然科学版)》 1990年第1期36-42,共7页
我们提出一种新型的表面肖特基栅的a-Si∶H静电感应晶体管.这种管子制备工艺简单,界面特性良好.计算机模拟结果表明,隙态密度和沟道宽度是影响管子性能的主要参量,当隙态密度为10^(16)cm^(-3)ev^(-1)时,电流开关效应达10~8,工作频率为... 我们提出一种新型的表面肖特基栅的a-Si∶H静电感应晶体管.这种管子制备工艺简单,界面特性良好.计算机模拟结果表明,隙态密度和沟道宽度是影响管子性能的主要参量,当隙态密度为10^(16)cm^(-3)ev^(-1)时,电流开关效应达10~8,工作频率为几兆周. 展开更多
关键词 晶体管 静电感应 肖特基结 A-SI:H
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薄膜晶体管a-Si:H/a-SiN_x界面研究 被引量:3
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作者 胡宇飞 孙剑 +2 位作者 钟伯强 黄慈祥 潘惠英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期183-187,共5页
对比a-Si:H/a-SiNx界面附近a-Si:H和体材料a-Si:H的光致发光谱(PL)发现:随着SiNx中x的增大,PL峰值向低能方向移动,相对发光强度减小。这是因为由于氮含量的增加,界面晶格不匹配加剧,导致悬挂... 对比a-Si:H/a-SiNx界面附近a-Si:H和体材料a-Si:H的光致发光谱(PL)发现:随着SiNx中x的增大,PL峰值向低能方向移动,相对发光强度减小。这是因为由于氮含量的增加,界面晶格不匹配加剧,导致悬挂键密度增多和深能级隙态密度增加。该观点得到C-V测试结果的证实。 展开更多
关键词 界面 薄膜晶体管 非晶硅 氮化硅
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ZC36微电流测试仪测量非晶硅有效隙态密度
3
作者 唐元洪 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1997年第3期17-20,共4页
首次报告了用国产的廉价的ZC36型微电流测试仪测量非晶硅有效隙态密度的原理和结果,其结果与美国生产的昂贵的4061A型半导体综合测试仪测量结果相一致。
关键词 非晶硅 隙态密度 半导体 微电流测试仪
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用温度调制空间电荷限制电流法研究GD-a-Sic∶H膜的隙态密度
4
作者 王印月 王辉耀 张仿清 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1990年第3期37-41,共5页
本文用温度调制空间电荷限制电流法测得了 GD-a-Si_(1-x)C_x∶H 膜不同碳含量 x 时的隙态密度,得到了光处理前后隙态密度的变化情况,发现强光照后存在有光诱导缺陷态效应,文中还就该方法本身的优越性进行了讨论.
关键词 非晶硅膜 隙态密度 温度调制 薄膜
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SCLC法测量非晶硅有效隙态密度
5
作者 唐元洪 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期329-332,共4页
提出了用空间电荷限制电流(SCLC)法测量非晶硅材料的有效隙态密度的新方法,并且报告了用4061A型半导体综合测试仪测量有效隙态密度的结果。测量结果发现与用低频电容法所得结果相符。
关键词 非晶硅 测量方法 隙态密度 SCLC法 半导体材料
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用光学方法研究掺硼 a-Si_(1-x)C_x∶H 膜的隙态密度
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作者 王印月 吴现成 陈光华 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期343-346,共4页
用光透射法测得了 p-a-Si_(1-x)C_x∶H 膜的隙态密度。对于与隙态有关的弱吸收区,利用 Mott-Davis 近似和隙态为高斯分布的假设,得到了远离平衡费米能级处的隙态分布。对于未掺杂和轻掺杂样品,隙态高斯分布的峰值 N(E_t)约为10^(18)/cm^... 用光透射法测得了 p-a-Si_(1-x)C_x∶H 膜的隙态密度。对于与隙态有关的弱吸收区,利用 Mott-Davis 近似和隙态为高斯分布的假设,得到了远离平衡费米能级处的隙态分布。对于未掺杂和轻掺杂样品,隙态高斯分布的峰值 N(E_t)约为10^(18)/cm^3·eV 的数量级,随着掺 B 量的增加 N(E_t)也增大。 展开更多
关键词 P型 非晶硅碳氢膜 隙态密度 光吸收
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金属/非晶硅势垒低频电容中等价的隙态密度分布
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作者 唐元洪 《湖南大学学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期35-41,共7页
本文证明:在一定条件下,描述非晶硅隙态密度分布的三种基本函数,即均匀分布、指数分布和双曲分布,在计算金属/非晶硅势垒低频电容时也是等价的.并通过测量室温时低频势垒电容,得到了隙态密度分布函数模型等价的标准.
关键词 非晶硅 半导体 电容 测量 隙态密度
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