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GaP LPE半导体材料的扫描电子显微镜研究
1
作者 李永良 杨锡震 +1 位作者 李桂英 王亚非 《现代仪器使用与维修》 1998年第3期18-20,共3页
本文论述了用扫描电子显微镜研究GaP LPE半导体材料,二次电子像用于分析样品的表面形貌,电子束感生电流像(EBIC)用于显示p-n结的位置,定量EBIC用以确定少子扩散长度和表面复合速度等重要参量。
关键词 二次电子像 电子束感生电流 磷化镓 SEM 半导体
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