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Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究
被引量：
8
1
作者
隋妍萍
姜元建
+4 位作者
蔡宏琨
陶科
王林申
赵静芳
张德贤
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1018-1020,共3页
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒...
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒度减小,电阻率基本不变。在可见光范围内,绒面ZGO的反射率比平面ZGO的反射率下降了10%左右。将绒面ZGO薄膜应用于p-i-n型非晶Si薄膜太阳电池中,有效提高了太阳电池性能,使得电池的短路电流提高到17.79 mA/cm2,电池的转换效率增加到7.23%。
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关键词
ga
掺杂
zno
(
zgo
)
绒面
zgo
对靶磁控溅射
太阳电池
原文传递
题名
Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究
被引量：
8
1
作者
隋妍萍
姜元建
蔡宏琨
陶科
王林申
赵静芳
张德贤
机构
南开大学信息技术科学学院电子科学与技术系
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1018-1020,共3页
基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z422)
天津市科技攻关计划资助项目(06YFGPGX08000)
天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC13100)
文摘
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒度减小,电阻率基本不变。在可见光范围内,绒面ZGO的反射率比平面ZGO的反射率下降了10%左右。将绒面ZGO薄膜应用于p-i-n型非晶Si薄膜太阳电池中,有效提高了太阳电池性能,使得电池的短路电流提高到17.79 mA/cm2,电池的转换效率增加到7.23%。
关键词
ga
掺杂
zno
(
zgo
)
绒面
zgo
对靶磁控溅射
太阳电池
Keywords
ga
-doped
zno
（
zgo
）
textured films
facing targets magnetron sputtering
solar cells
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si基薄膜太阳电池绒面ZGO透明导电膜的研究
隋妍萍
姜元建
蔡宏琨
陶科
王林申
赵静芳
张德贤
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
8
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