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Ga液滴沉积量对GaAs/GaAs(001)同心量子双环形貌的影响
被引量：
1
1
作者
李志宏
汤佳伟
+6 位作者
郭祥
王一
罗子江
马明明
黄延彬
张振东
丁召
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2020年第2期261-266,共6页
通过液滴外延法制备了GaAs/GaAs(001)同心量子双环(Concentric Quantum Double Rings,CQDRs),研究了Ga液滴沉积量对CQDRs的影响.研究结果发现:随着Ga液滴沉积量的增加,CQDRs密度降低,内环高度增高,外环高度降低,中心孔洞深度增加.CQDRs...
通过液滴外延法制备了GaAs/GaAs(001)同心量子双环(Concentric Quantum Double Rings,CQDRs),研究了Ga液滴沉积量对CQDRs的影响.研究结果发现:随着Ga液滴沉积量的增加,CQDRs密度降低,内环高度增高,外环高度降低,中心孔洞深度增加.CQDRs内环拟合结果表明,Ga液滴沉积量少于0.92ML(Monolayer,ML)时无法成环;外环拟合结果显示,在本实验条件下,形成外环的最小Ga液滴沉积量为3.1ML.拟合结果与实验结果一致,相关研究结果对液滴外延法制备GaAs同心量子双环具有指导意义.
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关键词
ga
液滴沉积量
同心量子双环
液滴外延
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职称材料
题名
Ga液滴沉积量对GaAs/GaAs(001)同心量子双环形貌的影响
被引量：
1
1
作者
李志宏
汤佳伟
郭祥
王一
罗子江
马明明
黄延彬
张振东
丁召
机构
贵州大学大数据与信息工程学院
贵州财经大学信息学院
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2020年第2期261-266,共6页
基金
国家自然科学基金(61564002,11664005)。
文摘
通过液滴外延法制备了GaAs/GaAs(001)同心量子双环(Concentric Quantum Double Rings,CQDRs),研究了Ga液滴沉积量对CQDRs的影响.研究结果发现:随着Ga液滴沉积量的增加,CQDRs密度降低,内环高度增高,外环高度降低,中心孔洞深度增加.CQDRs内环拟合结果表明,Ga液滴沉积量少于0.92ML(Monolayer,ML)时无法成环;外环拟合结果显示,在本实验条件下,形成外环的最小Ga液滴沉积量为3.1ML.拟合结果与实验结果一致,相关研究结果对液滴外延法制备GaAs同心量子双环具有指导意义.
关键词
ga
液滴沉积量
同心量子双环
液滴外延
Keywords
ga
droplet
deposition
CQDRs
droplet
epitaxy
分类号
O47 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ga液滴沉积量对GaAs/GaAs(001)同心量子双环形貌的影响
李志宏
汤佳伟
郭祥
王一
罗子江
马明明
黄延彬
张振东
丁召
《原子与分子物理学报》
CAS
北大核心
2020
1
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