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电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片 被引量:6
1
作者 王德强 曹磊峰 +1 位作者 谢常青 叶甜春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期1147-1150,共4页
在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最外环为150nm的阴图形微波带片,得到可以应用于ICF诊断技术中的... 在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最外环为150nm的阴图形微波带片,得到可以应用于ICF诊断技术中的微波带片. 展开更多
关键词 电子束 X射线光刻 微波带片 菲涅耳波带片
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基于半波带分析法的菲涅耳波带片衍射特性的讨论 被引量:4
2
作者 李平 《物理与工程》 2003年第4期23-26,共4页
基于半波带的分析方法简单明了地分析了平行光经菲涅耳波带片衍射后的多焦点特性以及各焦点的光强变化规律
关键词 半波带分析法 菲涅耳波带片 衍射特性 多焦点特性 光强 平行光
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硬X射线光子筛波导效应研究 被引量:2
3
作者 谢常青 朱效立 贾佳 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期8062-8066,共5页
基于快速傅里叶变换光束传播法,研究了硬X射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应,确定了硬X射线光子筛的物理边界条件,采用角谱法计算了硬X射线光子筛的点扩展函数,并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影响.研究结果表明波导效应一定程度... 基于快速傅里叶变换光束传播法,研究了硬X射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应,确定了硬X射线光子筛的物理边界条件,采用角谱法计算了硬X射线光子筛的点扩展函数,并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影响.研究结果表明波导效应一定程度上有利于抑制光子筛高级衍射的产生,提高聚焦性能.在同样的特征尺寸下,硬X射线光子筛的空间分辨率优于菲涅尔波带片,其缺点是衍射效率的下降.吸收体厚度的提高有利于提高光子筛的聚焦性能和衍射效率,但是相应的纳米加工工艺难度会增加. 展开更多
关键词 菲涅尔波带片 硬X射线光子筛 光束传播法 角谱法
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基于菲涅耳二元相位整形的啁啾脉冲压缩 被引量:1
4
作者 李百宏 夏志广 +3 位作者 赵鹏达 项晓 董瑞芳 张涛 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第19期310-315,共6页
相位补偿是脉冲压缩和产生超短激光脉冲的关键技术之一。首先通过类比菲涅耳波带片在空间中的相位函数,理论上证明菲涅耳二元相位整形方案可以实现类似透镜的功能,可以在频域中引入负二次光谱相位(负色散)。然后利用所提方案补偿啁啾脉... 相位补偿是脉冲压缩和产生超短激光脉冲的关键技术之一。首先通过类比菲涅耳波带片在空间中的相位函数,理论上证明菲涅耳二元相位整形方案可以实现类似透镜的功能,可以在频域中引入负二次光谱相位(负色散)。然后利用所提方案补偿啁啾脉冲的色散,从而将其变为变换受限脉冲,使其脉宽压缩到变换受限的时间宽度。所提方案仅与二次相位有关,不依赖于光谱振幅,因此对具有对称性分布的各种脉冲形状均适用。最后给出常见的高斯脉冲与方波脉冲的数值计算结果,在理论上验证所提方案的正确性。所提方案为啁啾脉冲压缩提供一种新的思路和方法,并可以拓展到有关色散补偿的其他领域中。 展开更多
关键词 超快光学 脉冲压缩 二元相位整形 菲涅耳波带片 负色散 相位补偿
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位相型自聚焦微分滤波器 被引量:1
5
作者 纪宪明 周进 +1 位作者 李桂祥 高文琦 《光电工程》 CAS CSCD 1996年第4期45-49,共5页
介绍一种用二元光学方法制作的光学图象微分滤波器,它是由两个频率相近的位相型Ronchi光栅和离轴型位相菲涅耳波带片的组合而成的。称之为位相型自聚焦滤波器。它具有衍射效率高,光路简单。
关键词 相位型光栅 微分滤波器 菲涅耳波带片 二元光学
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一种新型微分滤波器
6
作者 纪宪明 《南京师大学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1997年第1期40-44,共5页
用二元光学的方法将具有滤波功能的交叉光栅和具有聚焦功能的菲涅耳波带片组合成一个复合位相型元件,用它对光学图像微分,具有光路简单、调节方便、衍射效率高、效果良好等优点.用菲涅耳衍射理论讨论这种新型微分滤波器的图像微分原... 用二元光学的方法将具有滤波功能的交叉光栅和具有聚焦功能的菲涅耳波带片组合成一个复合位相型元件,用它对光学图像微分,具有光路简单、调节方便、衍射效率高、效果良好等优点.用菲涅耳衍射理论讨论这种新型微分滤波器的图像微分原理,介绍这种新型滤波元件的制作方法。 展开更多
关键词 光栅 微分滤波器 菲涅耳波带片 光学微分
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随机电磁光束经菲涅耳波带片衍射后的传输特性
7
作者 舒建华 陈子阳 +1 位作者 蒲继雄 孙希 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第6期618-622,共5页
基于相干偏振统一理论,以电磁高斯-谢尔模型光束为例,研究随机电磁光束经菲涅耳波带片衍射后的传输特性,以及入射光的相干长度、偏振度和菲涅耳波带片的最大半径数对光强和偏振度的影响.研究表明:光束的相干特性及菲涅耳波带片的最大半... 基于相干偏振统一理论,以电磁高斯-谢尔模型光束为例,研究随机电磁光束经菲涅耳波带片衍射后的传输特性,以及入射光的相干长度、偏振度和菲涅耳波带片的最大半径数对光强和偏振度的影响.研究表明:光束的相干特性及菲涅耳波带片的最大半径数对聚焦光强会产生影响;偏振度极值的位置在焦点及次焦点附近,并且偏振度极值的位置随波带片最大半径数的变化而变化. 展开更多
关键词 菲涅尔波带片 偏振 随机电磁光束 衍射 聚焦光强
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基于优化探测窗口的光斑质心探测方法 被引量:14
8
作者 王薇 陈怀新 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1249-1252,共4页
哈特曼-夏克波前传感器进行波前探测时,用子孔径光斑强度的一阶矩来计算光斑质心位置,子孔径窗口作为探测窗口,但探测时子孔径窗口内噪声对一阶矩有很大的影响,会使质心探测精度产生很大的误差。因此在计算质心位置时探测窗口的选取对... 哈特曼-夏克波前传感器进行波前探测时,用子孔径光斑强度的一阶矩来计算光斑质心位置,子孔径窗口作为探测窗口,但探测时子孔径窗口内噪声对一阶矩有很大的影响,会使质心探测精度产生很大的误差。因此在计算质心位置时探测窗口的选取对探测精度有重要影响,必须选取合适的探测窗口来提高光斑质心探测精度。为此,在传统算法的基础上提出优化探测窗口的方法来提高质心探测精度,仿真和实验结果表明新方法提高了质心探测的精度,未经处理的高噪声恢复波前的波前残差峰谷值是2.851 4λ,均方根值是0.606 3λ,优化探测窗口后波前残差的峰谷值是1.636 2λ,均方根值是0.367 1λ,重构误差减小了40%。证明了算法的可行性和稳定性。 展开更多
关键词 Hartmann—Shack波前传感器 质心探测 优化探测窗口 探测精度 阵列菲涅耳波带片
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利用Zernike法进行激光小尺度畸变波前的重构 被引量:6
9
作者 罗智锋 陈怀新 丁磊 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期35-36,共2页
提出利用阵列菲涅耳波带片作为波前分割传感,采用Zernike模式法进行高功率系统激光束小尺度相位畸变波前重构方法。通过数值模拟讨论了畸变波前的纹波尺寸因子、畸变波前的幅度大小对波前探测重构的精度影响,并得到小尺度畸变波前重构的... 提出利用阵列菲涅耳波带片作为波前分割传感,采用Zernike模式法进行高功率系统激光束小尺度相位畸变波前重构方法。通过数值模拟讨论了畸变波前的纹波尺寸因子、畸变波前的幅度大小对波前探测重构的精度影响,并得到小尺度畸变波前重构的Zernike的优化阶数。 展开更多
关键词 高功率激光 小尺度相位畸变 波前重构 阵列菲涅耳波带片 Zernike模式法
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阵列菲涅耳波带片波前探测性能研究
10
作者 王薇 谢宇 伍波 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期276-280,共5页
在高功率激光系统中,激光束小尺度畸变波前探测是实现激光束中频段波前补偿与控制的重要前提.采用阵列菲涅耳波带片作为激光束波前传感的子孔径分割器,研究其聚焦性能,讨论了波带片的结构如阵列数目和阵列尺寸对波前探测精度的影响。仿... 在高功率激光系统中,激光束小尺度畸变波前探测是实现激光束中频段波前补偿与控制的重要前提.采用阵列菲涅耳波带片作为激光束波前传感的子孔径分割器,研究其聚焦性能,讨论了波带片的结构如阵列数目和阵列尺寸对波前探测精度的影响。仿真结果表明,选取合适的波带片结构参数可以使小尺度畸变波前的重构误差小于十分之一个波长。为了检测阵列菲涅耳波带片作为波前传感器检测波前畸变的性能,实现小尺度波前畸变检测的目的,构建了激光波前畸变检测光路系统。实验结果表明了阵列菲涅耳波带片检测波前畸变的可行性和准确性。 展开更多
关键词 激光技术 波前探测性能 阵列菲涅耳波带片 波前传感器 小尺度相位畸变
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基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法 被引量:9
11
作者 李建军 梁利利 张福泉 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期717-726,共10页
为了提高密文的安全性,设计了基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法。基于Logistic映射,利用明文像素对其迭代,生成一个随机相位掩码,引入Fresnel波带与Hilbert相位函数,获取二者对应的相位掩码,通过对这三个相位掩码... 为了提高密文的安全性,设计了基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法。基于Logistic映射,利用明文像素对其迭代,生成一个随机相位掩码,引入Fresnel波带与Hilbert相位函数,获取二者对应的相位掩码,通过对这三个相位掩码进行组合,形成一个混合相位掩码,对输入明文进行调制处理;联合Gyrator变换与小波变换,构建Gyrator小波变换机制,根据明文像素迭代Logistic映射所输出的混沌序列来计算其旋转角度,获取明文Gyrator频谱对应的4个子带;对这些子带进行位置复用,借助幅度-相位截断技术,获取相应的密文与相位信息,而相位信息则视为解密密钥,以准确复原明文。实验数据表明:与当前非对称光学加密机制相比,所提算法具有更高的密文安全性与抗明文攻击能力。 展开更多
关键词 光学图像加密 混合相位掩码 Gyrator小波变换 Logisitic映射 fresnel波带
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菲涅耳波带板应用于聚变靶的高分辨X射线成像分析 被引量:7
12
作者 王晓方 王晶宇 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期489-495,共7页
在惯性约束核聚变研究中,为了实现1μm高空间分辨keV-X射线成像,文中发展了菲涅耳波带板(FZP)直接成像的分析方法,并通过数值计算研究了FZP的成像特性.针对钛Kα线(光子能量4.51keV,波长0.275nm),提出了FZP参数,对制作技术的要求较低.... 在惯性约束核聚变研究中,为了实现1μm高空间分辨keV-X射线成像,文中发展了菲涅耳波带板(FZP)直接成像的分析方法,并通过数值计算研究了FZP的成像特性.针对钛Kα线(光子能量4.51keV,波长0.275nm),提出了FZP参数,对制作技术的要求较低.研究了靶尺度的影响.FZP的有效视场使它能够对数毫米大尺度靶实现高分辨成像.还研究了入射光的光谱带宽对成像的影响.FZP的色差有助于单色成像,但是带宽超过限度会导致像的反衬度降低.这些结果表明FZP应用于聚变点火靶的高空间分辨X射线成像的能力,也为应用提出了要求. 展开更多
关键词 X射线成像 惯性约束核聚变 菲涅耳波带板
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激光波带片衍射性质的数值模拟 被引量:5
13
作者 付文羽 刘正岐 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1756-1760,共5页
根据亥姆霍兹-基尔霍夫积分,对菲涅尔波带片的高斯激光场在轴向、径向强度分布进行了理论分析,研究了高斯激光束照射下波带片的衍射场规律.数值计算表明:沿轴向光场呈系列焦点,各焦点附近光强分布有振荡现象,随焦点级次的增大光强迅速增... 根据亥姆霍兹-基尔霍夫积分,对菲涅尔波带片的高斯激光场在轴向、径向强度分布进行了理论分析,研究了高斯激光束照射下波带片的衍射场规律.数值计算表明:沿轴向光场呈系列焦点,各焦点附近光强分布有振荡现象,随焦点级次的增大光强迅速增大;有焦移现象,焦移量随焦点级次的增大而增大;焦深随焦点级次的升高按平方反比律减小,随波带数减小或焦距增大而增大.在焦平面上,光斑大小与最外环宽度成正比,与焦点级次成反比. 展开更多
关键词 亥姆霍兹-基尔霍夫积分 高斯激光束 菲涅尔波带片 数值模拟
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微聚焦菲涅尔波带板聚焦特性研究 被引量:6
14
作者 董建军 曹磊峰 +2 位作者 陈铭 谢常青 杜华冰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期3044-3047,共4页
通过激光轰击Ti平面靶,用微聚焦菲涅尔波带板做成像器,测到了在放大倍数为6.6倍时X射线焦斑图像.利用Fresnel-Kirchhoff衍射积分公式数值模拟了微聚焦菲涅尔波带板的点扩展函数,模拟结果表明该微聚焦菲涅尔波带板在两倍焦距处强聚焦.改... 通过激光轰击Ti平面靶,用微聚焦菲涅尔波带板做成像器,测到了在放大倍数为6.6倍时X射线焦斑图像.利用Fresnel-Kirchhoff衍射积分公式数值模拟了微聚焦菲涅尔波带板的点扩展函数,模拟结果表明该微聚焦菲涅尔波带板在两倍焦距处强聚焦.改变物距和像距但保持透镜的物像距公式,也可得到类似的结果.模拟和实验表明微聚焦波带板可以应用于X射线点对点成像,实现激光等离子体X射线高空间分辨成像. 展开更多
关键词 菲涅尔波带板 fresnel-Kirchhoff衍射 数值模拟 点扩展函数
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基于压缩感知的菲涅尔孔径编码无透镜成像(特邀) 被引量:5
15
作者 吴佳琛 曹良才 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期261-270,共10页
为了降低菲涅尔孔径编码成像的传输带宽,改善小尺寸像感器拼接成像质量,提出菲涅尔孔径编码成像的压缩感知重建算法。基于压缩感知理论框架对部分采样的编码图像重建可行性进行分析,指出压缩感知重建误差随波带片常数缩小而降低。根据... 为了降低菲涅尔孔径编码成像的传输带宽,改善小尺寸像感器拼接成像质量,提出菲涅尔孔径编码成像的压缩感知重建算法。基于压缩感知理论框架对部分采样的编码图像重建可行性进行分析,指出压缩感知重建误差随波带片常数缩小而降低。根据重建图像中孪生像和原始像在梯度域稀疏性的差异,引入全变差正则化实现抑制孪生像的效果。建立压缩感知理论框架下图像重建目标函数,利用交替方向乘子法进行求解。结合编码图像的能量分布和采样模式的可实现性,测试了矩形采样和辐射线采样两种模式,对不同采样数据量下重建图像质量进行分析。结果表明,辐射线采样模式相比矩形采样模式具有更高的图像采样效率,且仅通过7.3%的实验测量数据就可以获得质量良好的图像,为多块小尺寸像感器拼接成像提供了理论基础,有利于拓展编码掩膜无透镜成像的应用领域。 展开更多
关键词 无透镜成像 压缩感知 菲涅尔波带片 编码掩膜 图像重建
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基于混合相位的多平面全息显示
16
作者 丁宇鑫 沈川 +4 位作者 王安临 潘俊俏 章权兵 张成 韦穗 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期909-918,共10页
在计算全息术中,基于层析法实现多平面全息显示是最常用的方法之一。针对层析法中多个平面之间存在串扰的问题,本文结合随机相位和二次相位的优点,提出了一种基于混合相位的多平面全息显示方法。首先,选择合适的权重因子生成混合相位代... 在计算全息术中,基于层析法实现多平面全息显示是最常用的方法之一。针对层析法中多个平面之间存在串扰的问题,本文结合随机相位和二次相位的优点,提出了一种基于混合相位的多平面全息显示方法。首先,选择合适的权重因子生成混合相位代替随机相位作为初始相位。利用迭代傅里叶变换算法进行迭代后,将获得的每个子全息图与具有不同重建距离的菲涅尔波带片叠加,接着将每个全息图以复振幅叠加,获取相位后得到纯相位全息图,从而将分层图像重构于指定的平面上。利用硅基液晶空间光调制器搭建多平面全息显示系统开展了相关的光学实验。实验结果表明,与基于随机相位的方法相比,本文方法提高了结构相似性参数(最高可达4.6%),减弱了多个全息重构平面之间的串扰,提高了多平面全息显示的再现质量。 展开更多
关键词 多平面显示 层析法 混合相位 纯相位全息图 菲涅尔波带片
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基于角谱法的振幅型光子筛的设计和分析 被引量:5
17
作者 姜骥 付强 +4 位作者 朱效立 刘兴华 徐熙平 谢常青 刘明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1734-1738,共5页
对光子筛的聚焦成像原理作了分析,并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟.模拟结果表明,光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点.在理论分析和计算机模拟的基础上,设计并制作了Fresnel波带片、未平滑处理和平滑处理... 对光子筛的聚焦成像原理作了分析,并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟.模拟结果表明,光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点.在理论分析和计算机模拟的基础上,设计并制作了Fresnel波带片、未平滑处理和平滑处理后的光子筛.用波长为532nm激光光源对波带片和光子筛聚焦光斑进行检测.结果表明,光波通过光子筛聚焦后的光斑比波带片的光斑更细,成像对比度更高. 展开更多
关键词 衍射光学 微光学设计 光子筛 fresnel波带片 角谱法
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3-D成像新技术——光学外差扫描全息术(英文) 被引量:5
18
作者 孙萍 谢敬辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第5期502-507,共6页
介绍了一种新的3 D成像技术—光学外差扫描全息术的基本原理,以及基于光学外差扫描全息术基本原理的环形光栅光学扫描全息术,描述了其与传统的光学外差扫描全息术相比具有的优势。最后,以光学外差扫描全息术在三维空间滤波、遥感和三维... 介绍了一种新的3 D成像技术—光学外差扫描全息术的基本原理,以及基于光学外差扫描全息术基本原理的环形光栅光学扫描全息术,描述了其与传统的光学外差扫描全息术相比具有的优势。最后,以光学外差扫描全息术在三维空间滤波、遥感和三维混浊液体中成像应用为例,阐述了这一新技术的应用前景。 展开更多
关键词 光学外差扫描全息术 菲涅耳波带板 环形光栅扫描全息术 三维成像 遥感 三维空间滤波
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Fresnel区板天线辐射特性的矢量场分析 被引量:3
19
作者 叶春飞 章文勋 《电波科学学报》 EI CSCD 1995年第1期57-62,46,共7页
本文利用矢量场统射理论分析研究Fresnel区板天线的辐射特性,并统一考虑馈源对天线增益、副瓣电平和交叉极化等参数的影响,所做工作适用于透射型和反射型Fresnel区板天线。天线远场方向图的计算和实测结果吻合较好。
关键词 fresnel区板 天线 辐射 矢量场分析 天线增益
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毫米波衍射天线 被引量:2
20
作者 樊仲维 卢振武 +2 位作者 廖江红 张俊荣 陈芳允 《微波学报》 CSCD 北大核心 1997年第2期153-159,共7页
衍射天线是一种新型天线,具有重量轻、体积小等特点,有广泛的应用。本文叙述了以标量衍射理论为基础的毫米彼衍射天线的设计和制作方法,报道了最近有关的研究成果.分析并评价了几种主要型式的透射式和反射式衍射天线。
关键词 毫米波 衍射天线 fresnel波带板 天线阵
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