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冷冻卡盘及应用
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作者 董海军 苑伟政 张春江 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 1996年第5期769-772,共4页
说明了冷冻卡盘的工作原理，论述了冷冻卡盘的使用特点及使用中的有关问题。
关键词 冷冻 卡盘 半导体致冷 加工
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