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光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 被引量:22
1
作者 赵磊 巩岩 赵阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1425-1433,共9页
针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔... 针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析。分析结果表明:该机构X,Y方向的刚度值为1.99μm/N和1.96μm/N,X,Y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,Y方向运动的原理误差分别为实际量的8.22%和6.68%。最后,将研制的X-Y微动调整机构用于光刻投影物镜验证模型中,给出了X-Y调整机构补偿前后的系统波像差。结果显示:模型补偿前后的系统波像差RMS分别为50.864nm和25.933nm。由此表明,本文设计的柔性微动调整机构补偿效果明显,能够满足光刻投影物镜高精度X-Y调整补偿要求。 展开更多
关键词 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差
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两级对称式柔性铰链位移放大机构的设计与分析 被引量:13
2
作者 周志平 王隆太 马志新 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2006年第5期62-64,共3页
介绍一种新型柔性铰链位移放大机构;对该机构进行了应力分析和位移损失分析,建立了位移放大数学模型,并用有限元分析软件进行了试验验证;计算出位移放大机构所允许的最大输入位移,指出对称式位移放大机构存在着较大的内部约束反力,指出... 介绍一种新型柔性铰链位移放大机构;对该机构进行了应力分析和位移损失分析,建立了位移放大数学模型,并用有限元分析软件进行了试验验证;计算出位移放大机构所允许的最大输入位移,指出对称式位移放大机构存在着较大的内部约束反力,指出其位移损失与外部负载呈线性关系。 展开更多
关键词 柔性铰链 位移放大机构 位移损失
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单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差分析 被引量:15
3
作者 沈剑英 杨世锡 +2 位作者 周庆华 严拱标 曹坚 《机床与液压》 北大核心 2004年第3期27-28,116,共3页
本文建立了单平行四杆柔性铰链机构的输出位移和耦合误差的公式 ,并用有限元法分析其主要参数对输出位移和耦合误差的不同影响 ,指出耦合误差的存在对纳米级工作台的定位精度和分辨率有较大的影响。
关键词 柔性铰链机构 单平行四杆机构 输出位移 耦合误差
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基于柔顺机构的两自由度微动精密定位平台的分析与设计 被引量:14
4
作者 田俊 张宪民 《机械设计与制造》 北大核心 2009年第5期205-207,共3页
基于柔性铰链变形原理设计了一种压电驱动的两自由度柔顺机构微动精密定位平台。首先建立了平台的刚度、固有频率和强度的分析模型,通过优化设计得出了平台的最优结构尺寸。利用有限元软件仿真分析验证了设计模型和优化结果的正确性。... 基于柔性铰链变形原理设计了一种压电驱动的两自由度柔顺机构微动精密定位平台。首先建立了平台的刚度、固有频率和强度的分析模型,通过优化设计得出了平台的最优结构尺寸。利用有限元软件仿真分析验证了设计模型和优化结果的正确性。最后制造了原型样机,进行了实验,对平台进行了标定并分析了平台的定位误差。 展开更多
关键词 柔性铰链 精密定位 机构优化
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全柔性机器人机构的结构构型研究 被引量:8
5
作者 于靖军 宗光华 毕树生 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期367-372,377,共7页
本文对全柔性机器人机构的结构构型问题进行了系统的讨论 :首先从应用层面上对全柔性机器人机构进行了分类 ,着重讨论了并联机构与全柔性机器人机构之间存在的有机联系 .通过对并联机构的结构及柔性铰链的几何模型进行系统的总结 ,为全... 本文对全柔性机器人机构的结构构型问题进行了系统的讨论 :首先从应用层面上对全柔性机器人机构进行了分类 ,着重讨论了并联机构与全柔性机器人机构之间存在的有机联系 .通过对并联机构的结构及柔性铰链的几何模型进行系统的总结 ,为全柔性机器人机构“型”的选择与构筑提供了丰富的素材 .此外 ,还重点讨论了对全柔性机器人机构的性能产生较为显著影响的结构布局问题 . 展开更多
关键词 全柔性机构 柔性铰链 结构构型 并联机构 机器人
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磁致伸缩换能器辐射板位移放大机构设计 被引量:11
6
作者 汪建新 刘曜宁 +1 位作者 张玲聪 尹潇靓 《机械设计与制造》 北大核心 2015年第3期201-203,207,共4页
磁致伸缩换能器是一种将电磁能转换成机械能或声能的器件,具有分辨率和响应频率高、性能稳定、机械强度好等优点,在声学领域得到了广泛的应用。但由于其产生的位移小,不能很好地满足现代设备对换能器大功率、小体积、高声强声源的需求... 磁致伸缩换能器是一种将电磁能转换成机械能或声能的器件,具有分辨率和响应频率高、性能稳定、机械强度好等优点,在声学领域得到了广泛的应用。但由于其产生的位移小,不能很好地满足现代设备对换能器大功率、小体积、高声强声源的需求。针对这一问题,利用柔性铰链的无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高的特点,设计基于柔性铰链的磁致伸缩换能器辐射板位移放大机构,并运用有限元软件对微位移放大机构的整体放大倍数进行有限元分析。 展开更多
关键词 磁致伸缩换能器 辐射板 柔性铰链 位移放大机构
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直角切口柔性铰链平行四杆机构的屈曲分析 被引量:6
7
作者 宗光华 余志伟 +1 位作者 毕树生 于靖军 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期729-734,共6页
介绍了研究柔性铰链机构屈曲特性的重要意义。利用材料力学弯曲变形理论的挠曲线近似微分方程建立了计算直角切口柔性铰链平行四杆机构屈曲临界力的数学模型。在简单可靠的实验装置上测试了实际样件的屈曲临界力,并利用商用有限元软件AN... 介绍了研究柔性铰链机构屈曲特性的重要意义。利用材料力学弯曲变形理论的挠曲线近似微分方程建立了计算直角切口柔性铰链平行四杆机构屈曲临界力的数学模型。在简单可靠的实验装置上测试了实际样件的屈曲临界力,并利用商用有限元软件ANSYS8.0对相应的四杆机构模型进行了非线性屈曲分析。最终结果表明:理论值、实验值以及仿真值都十分接近,但仍存在一定的误差,通过原因分析,证实了存在这种误差的合理性,从而验证了所建数学模型具有较高的参考价值,可以作为柔性铰链平行四杆机构屈曲优化设计的指导理论。 展开更多
关键词 屈曲 临界力 柔性铰链 柔性机构 有限元
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椭圆横断截面新型双轴柔性铰链设计及分析
8
作者 魏华贤 赵永杰 +2 位作者 杨楠 王奉涛 牛小东 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1348-1357,共10页
现有同位正交复合缺口双轴柔铰存在矩形横断截面锐边结构,增大了应力集中效应,且无法通过优化纵向缺口轮廓来消除。为此,提出一类椭圆横断截面新型双轴柔铰。首先以圆弧缺口为对象,构建该类柔铰的参数化结构模型;然后基于卡氏第二定理... 现有同位正交复合缺口双轴柔铰存在矩形横断截面锐边结构,增大了应力集中效应,且无法通过优化纵向缺口轮廓来消除。为此,提出一类椭圆横断截面新型双轴柔铰。首先以圆弧缺口为对象,构建该类柔铰的参数化结构模型;然后基于卡氏第二定理建立其柔度及最大应力理论模型,通过有限元分析验证模型的有效性,基于此,实现了柔度及应力集中特性分析;最后通过实验测试验证了柔铰的柔度性能。结果表明,椭圆横断截面型双轴柔铰具备两向各异柔度,可从本质上避免锋利锐边结构,降低应力集中效应,与具有相同缺口结构的矩形横断截面型双轴柔铰相比,工作能力可提高47.9%,该类柔铰结构拓展了现有缺口型柔铰的基本类型。 展开更多
关键词 柔性铰链 柔性机构 椭圆横断截面 双轴柔性铰链
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加工误差影响柔性铰链机构位移性能的有限元分析 被引量:8
9
作者 沈剑英 杨世锡 +1 位作者 周庆华 严拱标 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期133-136,124,共5页
提出一种柔性铰链机构的参数化有限元建模方法,利用有限元软件ANSYS提供的参数化程序设计语言APDL编制程序,在ANSYS中自动生成有限元分析模型。采用该方法分析了柔性铰链最小厚度,切割半径、宽度的加工误差,以及切割圆弧轴心线绕x轴、y... 提出一种柔性铰链机构的参数化有限元建模方法,利用有限元软件ANSYS提供的参数化程序设计语言APDL编制程序,在ANSYS中自动生成有限元分析模型。采用该方法分析了柔性铰链最小厚度,切割半径、宽度的加工误差,以及切割圆弧轴心线绕x轴、y轴、z轴的转角误差对柔性铰链机构位移性能的影响情况。分析结果表明,柔性铰链最小厚度的加工误差是对柔性铰链机构位移性能影响最大的因素。 展开更多
关键词 柔性铰链机构 加工误差 有限元分析
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压电作动器在微力微位移装置中的应用 被引量:3
10
作者 王海容 赵则祥 蒋庄德 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期101-103,共3页
在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动... 在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度 ,计算出加载力大小。 展开更多
关键词 压电作动器 微力微位移装置 闭环控制 柔性铰链 加载机构
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基于柔性铰链结构的大口径压电快摆镜
11
作者 王强 时运来 +2 位作者 孙海超 李兴 刘伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期73-78,共6页
为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实... 为了解决压电作动器驱动的快速反射镜因压电作动器伸长量较小,导致快速反射镜偏转角过小的问题,该文提出了一款新型快速反射镜设计方案。采用三级杠杆式柔性铰链放大机构实现压电作动器位移的放大,采用柔性轴承作为快摆镜的运动关节实现快摆镜的大角度定轴偏转。通过理论推导和有限元仿真对快摆镜的最大偏转角度、等效应力、谐振频率以及振型进行分析。实验结果表明,所设计的快摆镜可以实现大于2 mrad的镜面偏转,满足大范围、高精度的光束定位要求。 展开更多
关键词 柔性铰链 逆压电效应 压电作动器 大口径压电快摆镜 位移放大机构
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平面柔性铰链导向机构刚度分析与实验测试 被引量:5
12
作者 王洪喜 王艳波 白朝辉 《西安工业大学学报》 CAS 2012年第8期631-635,共5页
柔性导向机构是精密仪器设计中的一种重要的导向形式,其在导向方向的刚度计算是机构设计的关键技术.基于材料力学的弯矩方程,推导出平面柔性铰链的抗弯刚度解析式,并采用能量法求解出平面柔性铰链导向机构的刚度解析式.为验证解析公式... 柔性导向机构是精密仪器设计中的一种重要的导向形式,其在导向方向的刚度计算是机构设计的关键技术.基于材料力学的弯矩方程,推导出平面柔性铰链的抗弯刚度解析式,并采用能量法求解出平面柔性铰链导向机构的刚度解析式.为验证解析公式的正确性,设计并加工了平面柔性铰链导向机构,在精密弹簧拉压实验仪上进行刚度测试,实验结果与理论计算结果进行对比,二者的相对误差为4.7%,证实了解析公式的正确性. 展开更多
关键词 平面柔性铰链 刚度 导向机构 簧片
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基于APDL语言的柔性铰链机构参数化实体建模 被引量:2
13
作者 沈剑英 杨世锡 +1 位作者 周庆华 严拱标 《组合机床与自动化加工技术》 2005年第3期27-28,共2页
柔性铰链机构是一种新型的微位移机构 ,具有无机械摩擦、无间隙、无热源、运动连续、不需润滑及分辨率高等优点 ,因而在许多领域得到了广泛应用。为了分析柔性铰链机构的输出位移 ,采用大型通用有限元分析软件ANSYS进行参数化有限元分析... 柔性铰链机构是一种新型的微位移机构 ,具有无机械摩擦、无间隙、无热源、运动连续、不需润滑及分辨率高等优点 ,因而在许多领域得到了广泛应用。为了分析柔性铰链机构的输出位移 ,采用大型通用有限元分析软件ANSYS进行参数化有限元分析 ,APDL语言 (ANSYSParameterDesignLanguage)是ANSYS软件提供的参数化程序设计语言 ,采用该语言可以分别地建立柔性铰链机构的几何实体模型。文章首先介绍了参数化编程语言APDL ,再提出了用该语言进行编程实现参数化实体建模的一种方法 ,最后 ,以单平行四杆柔性铰链机构为例证明这是一种方便、快速的实体建模方法。 展开更多
关键词 APDL 柔性铰链机构 参数化实体建模
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基于概率的柔性铰链机构的优化设计 被引量:2
14
作者 崔明涛 陈建军 +1 位作者 马孝松 拓耀飞 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期725-729,共5页
研究了具有随机参数的平面柔性铰链机构的位移放大和刚度性能的优化问题.从概率统计角度出发,将各设计参数看作随机变量,建立了基于概率的柔性铰链机构优化设计模型,并用Monte Carlo模拟法得到了柔性机构性能及一些约束函数的均值和方差... 研究了具有随机参数的平面柔性铰链机构的位移放大和刚度性能的优化问题.从概率统计角度出发,将各设计参数看作随机变量,建立了基于概率的柔性铰链机构优化设计模型,并用Monte Carlo模拟法得到了柔性机构性能及一些约束函数的均值和方差.优化设计求解采用Lagrange乘子法,利用分布函数法将模型中的可靠性约束等价处理为常规约束形式.通过优化设计得到了优化设计向量.根据所得优化设计向量分别得到了机构性能的计算结果.结果表明,当设计参数分散性变大时,优化设计结果偏于保守. 展开更多
关键词 随机参数 弯曲铰链 柔性机构 MONTE CARLO模拟
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基于三角原理的压电驱动微位移定位机构的设计与分析 被引量:4
15
作者 杜习波 陈西平 +1 位作者 张斌 毛慧珍 《航空精密制造技术》 2009年第6期10-12,23,共4页
设计了一种基于三角原理的精密柔性定位机构,机构由压电叠堆作为驱动元件,经由柔顺机构输出缩小的位移。进行了理论计算和有限元分析并在样机上进行了静态特性的实验,结果表明该柔顺机构可以实现预期的运动。
关键词 三角放大原理 柔性铰链 定位机构 有限元
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大行程微点胶机构的设计与分析 被引量:3
16
作者 李玄 丁冰晓 +1 位作者 周双武 李杨民 《重庆大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期37-51,共15页
针对传统点胶系统精度低、点胶速度慢等问题,采用柔性机构设计了基于压电陶瓷驱动的一体化微点胶机构。为补偿压电陶瓷驱动器的行程,采用三级混合放大机构,并分析了位移放大倍数的理论值,得到了机构的位移行程。应用拉格朗日定理对机构... 针对传统点胶系统精度低、点胶速度慢等问题,采用柔性机构设计了基于压电陶瓷驱动的一体化微点胶机构。为补偿压电陶瓷驱动器的行程,采用三级混合放大机构,并分析了位移放大倍数的理论值,得到了机构的位移行程。应用拉格朗日定理对机构的刚度建模,求解理论刚度值,得到了机构的固有频率解析表达式。有限元仿真结果表明,机构放大倍数和刚度的理论值与仿真结果的相对误差分别为8.5%和7.2%,验证了理论模型的正确性。该机构为微量液体自动分配系统的设计提供了一定的思路与技术支持。 展开更多
关键词 微点胶机构 柔性铰链 混合放大机构 大行程 高精度
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集中柔度全柔性机构变形分析及仿真 被引量:2
17
作者 邱丽芳 柳林 南铁玲 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第7期49-51,共3页
柔性铰链四杆机构在精密机械中的应用日益广泛。采用伪刚体模型法对具有集中柔度的全柔性铰链四杆机构进行了分析,利用MATLAB编写了外载荷与杆件转角关系的Newton迭代法程序。同时用有限元方法建立了全柔性铰链四杆机构模型,并用ANSYS... 柔性铰链四杆机构在精密机械中的应用日益广泛。采用伪刚体模型法对具有集中柔度的全柔性铰链四杆机构进行了分析,利用MATLAB编写了外载荷与杆件转角关系的Newton迭代法程序。同时用有限元方法建立了全柔性铰链四杆机构模型,并用ANSYS进行了仿真。给出了两种方法的计算实例,对所得结果进行了讨论,分析了误差产生的原因。 展开更多
关键词 柔性铰链 四杆机构 伪刚体模型 ANSYS仿真
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箝位机构柔性铰链的转动刚度计算及其设计参数选择研究
18
作者 叶子申 李翠红 孟永钢 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期844-846,共3页
柔性铰链由于其特殊的性能在精密机械及微纳米等技术领域有着广泛的应用。为较好满足蠕动式微进给工作台箝位机构响应快速、定位准确的工作要求,设计轴对称型柔性铰链,并依据材料力学理论给出其转动刚度的理论分析和计算方法;根据材料... 柔性铰链由于其特殊的性能在精密机械及微纳米等技术领域有着广泛的应用。为较好满足蠕动式微进给工作台箝位机构响应快速、定位准确的工作要求,设计轴对称型柔性铰链,并依据材料力学理论给出其转动刚度的理论分析和计算方法;根据材料力学理论和结构分析给出针对该结构柔性铰链的尺寸参数设计方法,综合分析认为壁厚是影响其工作性能的最主要的参数。 展开更多
关键词 柔性铰链 转动刚度 箝位机构
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曲梁柔性铰链性能分析及应用机构设计 被引量:2
19
作者 陈应舒 朱淳逸 《机械设计与制造》 北大核心 2018年第11期183-185,189,共4页
基于线弹性和小变形以及欧拉伯努利梁理论,对圆弧曲梁柔性铰链的柔度以及精度进行了分析,得到了柔度与精度公式。使用ANSYS对柔度公式进行了验证。该公式在细长曲梁的情况之下有足够的精确性。设计了一种基于圆弧曲梁柔性铰链的多环平... 基于线弹性和小变形以及欧拉伯努利梁理论,对圆弧曲梁柔性铰链的柔度以及精度进行了分析,得到了柔度与精度公式。使用ANSYS对柔度公式进行了验证。该公式在细长曲梁的情况之下有足够的精确性。设计了一种基于圆弧曲梁柔性铰链的多环平行导向机构,并对此机构分别在水平作用和竖直作用下的平行导向性能进行了有限元分析,有限元结果表明:此机构能够满足对水平方向和竖直方向上的导向功能。为柔性铰链的研究以及柔顺机构的设计均提供了一定的参考和借鉴。 展开更多
关键词 曲梁 柔性铰链 柔度 机构设计
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A closed-form nonlinear model for spatial Timoshenko beam flexure hinge with circular cross-section
20
作者 Dan WANG Jie ZHANG +1 位作者 Jiangzhen GUO Rui FAN 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第11期2526-2537,共12页
Beam flexure hinges can achieve accurate motion and force control through the elastic deformation. This paper presents a nonlinear model for uniform and circular cross-section spatial beam flexure hinges which are com... Beam flexure hinges can achieve accurate motion and force control through the elastic deformation. This paper presents a nonlinear model for uniform and circular cross-section spatial beam flexure hinges which are commonly employed in compliant parallel mechanisms. The proposed beam model takes shear deformations into consideration and hence is applicable to both slender and thick beam flexure hinges. Starting from the first principles, the nonlinear strain measure is derived using beam kinematics and expressed in terms of translational displacements and rotational angles. Second-order approximation is employed in order to make the nonlinear strain within acceptable accuracy. The natural boundary conditions and nonlinear governing equations are derived in terms of rotational Euler angles and subsequently solved for combined end loads. The resulting end load-displacement model, which is compact and closed-form, is proved to be accurate for both slender and thick beam flexure using nonlinear finite element analysis. This beam model can provide designers with more design insight of the spatial beam flexure and thus will benefit the structural design and optimization of compliant manipulators. 展开更多
关键词 Compliant mechanism Load-displacement model Nonlinear analysis Spatial beam flexure hinge(SBFH) Timoshenko beam
原文传递
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