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MIM结构薄膜应变栅的工艺研究 被引量：1
1
作者 于映 陈跃 《电子工艺技术》 2000年第5期222-224,共3页
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法 ,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法 ,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试。
关键词 MIM结构 薄膜应变栅 直接沉积法 传感器
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